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Bei der Herstellung von Einstellnormalen nutzt man die große Genauigkeit der Gitterkonstante von Strichgittern, die holographisch hergestellt wurden.
Ohne Schwierigkeiten beträgt hier die Genauigkeit der Strichzahl
+/- 0,1 L/mm. Damit besteht die Möglichkeit hochfrequente Strichgitter als Auflösungsnormale anzuwenden. Sie können aber auch als Tiefeneinstellnormale verwendet werden, in denen die holographisch in Photolack hergestellte Struktur durch reaktives Ätzen z.B. in ein Siliziumsubstrat übertragen wird.
Mechanisch hergestellte Gitter finden als Tiefeneinstellnormale Verwendung. Die Tiefe ist einstellbar zwischen 100 nm und 50 µm. Dies bezieht sich auf Sägezahnprofile. Diese Geometrienormale werden u.a. zur Kalibrierung von vertikalen und horizontalen Messsystemen und Profilkomponenten verwendet. Außer dem Sägezahnprofil werden auch Sinusprofile eingesetzt.
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