Gitterherstellung Gitterherstellung
Holographische Belichtung
Carl Zeiss fertigt holographisch hergestellte, Plan- und Konkavgitter für den Spektralbereich von 110 nm bis 4 µm und mit Furchenzahlen von 40 bis 6400 L/mm.

Vorteile
Holographische Belichtung

Holographische Gitter zeichnen sich durch geringes Streulicht und vollkommene Freiheit von Teilungsfehlern aus. Sie haben weiterhin den Vorzug, dass sich besondere optische Abbildungseigenschaften erzielen lassen, die mechanisch nicht erreichbar sind, z. B. die Korrektur von Abbildungsfehlern bei Konkavgittern.

Außerdem ist die Herstellung holographischer Gitter auch dann noch verhältnismäßig einfach, wenn die mechanische Teilung sehr viel Aufwand erfordert, etwa bei großen Gitterformaten und bei hohen Furchendichten.

Carl Zeiss gelang es, das Furchenprofil holographischer Gitter so zu optimieren, dass auch die 0. Ordnung weitgehend unterdruckt wird. Diese Gitter weisen deshalb einen ungewöhnlich hohen Wirkungsgrad auf, der dem von geteilten Echelettegittern gleichwertig ist, bzw. ihn bei Verwendung von polarisiertem Licht deutlich übertrifft.

Die Vorteile der h. G. gegenüber mechanisch geteilten Gittern sind die folgenden: Ihre Herstellungszeiten sind kürzer. Sie sind frei von Gittergeistern. Sie zeigen ein um den Faktor 10 schwächeres Streulicht.

Da extreme Streulichtfreiheit nicht immer erforderlich ist und eine gute Kopiertechnik die Art der Herstellung in den Hintergrund treten lässt, werden mechanisch geteilte und interferentiell geteilte Gitter nebeneinander eingesetzt. Die Erzeugung langer gerader Blazeflanken für Echellegitter mit z. B. 60 Linien pro mm (L/mm) ist rein interferentiell außerordentlich schwierig und sollte den mechanischen Teilmaschinen vorbehalten bleiben. Mit Teilungsfrequenzen oberhalb von 200 L/mm sind verschiedenste Profilformen hergestellt worden und kommerziell verfügbar.

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