| |
Carl Zeiss fertigt mechanisch geteilte ebene Gitter für den Spektralbereich von 100 nm bis 40 µm mit Furchenzahlen von 3 bis 2600 L/mm.
Dafür stehen zwei Gitterteilmaschinen vom Rowland-Typ zur Verfügung, die in klimatisierten Kabinen schwingungsgedämpft aufgestellt sind.
Ein interferometrisch-elektronisches Steuersystem sorgt für Fertigungssicherheit und größtmögliche Reproduzierbarkeit. Der Arbeitsgang Teilen beinhaltet , dass mit einem Diamanten parallele und äquidistante Furchen (Striche) auf ein ebenes Substrat gezogen werden, welches vorzugsweise eine metallische Spiegelbeschichtung wie Aluminium, Kupfer oder Gold auf einem ebenen Substrat. Seit Jahren werden aber auch mono- und polykristalline Schichten auf kristallinen Substraten geteilt, was die Basis zur Herstellung kristalliner Gitterprismen darstellt.
Da die Intensitätsverteilung des am Gittern gebeugten Lichtes von der Furchenform abhängt, ist es erforderlich, der Spitze des Teildiamanten eine besondere Form zu geben, die zu glatten Furchenflanken und damit zu reduziertem Streulicht führt. Die Folge der Furchen entsteht dadurch, daß der Diamant eine Furche zieht und danach das Substrat um den kleinen Betrag der zu realisierenden Gitterkonstante senkrecht zur Furchenrichtung weitergerückt wird.
Teilungen eines Originals können mehr als eine Woche beanspruchen, so dass erst die Möglichkeit der Herstellung von Gitterkopien kommerziell erträgliche Verhältnisse schafft.
Dabei sind die Furchenlänge auf 110 mm und die Teilungsbreite auf 120 mm begrenzt. | |
|