Produkt

ZEISS Axio Imager Vario

Aufrechtes Mikroskop für große Proben

Analysieren Sie kleinste MEMS-Sensoren oder ganze Flachbildschirme mit ZEISS Axio Imager Vario. Das Säulendesign macht es möglich, extrem große Proben bei gleichzeitig hoher Stabilität zu untersuchen. Darüber hinaus ist Axio Imager Vario für die Anwendung in Reinräumen zertifiziert.

Untersuchen Sie große Proben
Zertifiziert für Reinräume
Jederzeit im Fokus

Für die Untersuchung großer Proben

Wählen Sie zwischen einer manuellen und einer motorischen Säule und untersuchen Sie Proben mit einer maximalen Größe von bis zu 300 × 300 mm, sowie einer maximalen Höhe von bis zu 254 mm. Ganz gleich, ob Sie schwere Proben untersuchen oder das konfokale Laser-Scanning-Mikroskop ZEISS LSM für die Materialforschung benötigen – die robuste Säulenbauform sorgt zuverlässig für eine hohe Stabilität ohne Vibrationen.

Zertifiziert für Reinraumanwendungen

Die Prüfung von Wafer und Fotomasken unterliegt strengen Anforderungen an die Sauberkeit. Darum wird sie in Reinräumen durchgeführt. Reinräume sind nach DIN EN ISO 14644-1 entsprechend der Anzahl und Größe der Partikel pro Kubikmeter klassifiziert. Axio Imager Vario ist entsprechend dieser Norm zertifiziert und erfüllt die Anforderungen der Reinraumklasse 5. Reinraumklasse ISO 5 entspricht Klasse 100 der alten Norm FED STD 209E (1992).

Jederzeit im Fokus

Zur Untersuchung reflektierender Oberflächen mit geringem Kontrast können Sie Ihr Axio Imager Vario mit dem effizienten Hardware Auto Focus ausstatten. Das Fokussystem bietet höchste Präzision unter Auflicht und Durchlicht. Änderungen der Fokusposition werden durch den Sensor registriert und etwaige Abweichungen automatisch kompensiert. Selbst große Proben bleiben bei diesem Verfahren exakt fokussiert.

TFT-Display, Hellfeld, Durchlicht, rote, grüne und blaue Subpixel

Hardware Auto Focus

In der Materialforschung und der industriellen Fertigung ist eine präzise Fokussierung nötig. Dabei muss die maximal 0,3-fache Tiefenschärfe des Objektivs sicherstellt werden. Mit ZEISS Axio Imager Vario profitieren Sie von einem Fokussystem, das einen Rastbereich von bis zu 12.000 µm bietet. Sie können den Autofokus für Anwendungen in Auf- und Durchlicht, Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisationskontrast, Differentialinterferenzkontrast und Schrägbeleuchtung einsetzen.

Anwendungen

Eine Auswahl an metallografischen Anwendungen mit Axio Imager Vario für die Materialforschung.

Holz

Auflicht, Dunkelfeld, EC Epiplan-APOCHROMAT 10×/0,30

Holz. Auflicht, Dunkelfeld, EC Epiplan-APOCHROMAT 10×/0,30
Platine

Auflicht-Hellfeld, EC Epiplan-NEOFLUAR 5×/0,13

Platine. Auflicht-Hellfeld, EC Epiplan-NEOFLUAR 5×/0,13
Wafer

Auflicht, Dunkelfeld, EC Epiplan-APOCHROMAT 50×/0,95

Wafer. Auflicht, Dunkelfeld, EC Epiplan-APOCHROMAT 50×/0,95
Monokristalline Silizium-Solarzelle

Auflicht, C-DIC, EC Epiplan-APOCHROMAT 50×/0,95

Monokristalline Silizium-Solarzelle. Auflicht, C-DIC, EC Epiplan-APOCHROMAT 50×/0,95

Weitere Anwendungen

Downloads

ZEISS Axio Imager Vario

Untersuchen Sie große Proben – automatisiert und reinraumtauglich.

Dateigröße: 7 MB

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