Interferometrie-Spende.
Carl Zeiss spendet Interferometrie-Ausstattung an Hochschule Aalen
BMBF fördert EUV.
Verbundprojekt zu neuartiger Chipherstelltechnologie – Hauptmeilenstein erfolgreich absolviert
PROVE™ Final Acceptance.
Carl Zeiss System PROVE™ passed Final Acceptance at NuFlare Technology (engl.)
RegC™ Product Launch.
Carl Zeiss launched a new system for photomask registration correction (engl.)