Wer Innovationen treibt, muss diese auch produzieren können. Hierfür entwickeln die Kolleginnen und Kollegen weltweit einmalige Verfahren, um Spezifikationen zu erreichen, die nahe am physikalisch Möglichen sind. Dabei müssen in der Prozesstechnologie ständig neue Produktionsprozesse – in den Bereichen Optikbearbeitung, Reinigung und Beschichtung – in die Serie gebracht und kontinuierlich weiterentwickelt werden.

Die Teams entwickeln Messverfahren und -geräte, die es erst möglich machen, die hochgenauen Lithographie-Optiken herzustellen. Hier entstehen Ideen, Konzepte, Algorithmen, Kalibrierstrategien oder auch messtechnisch relevante Kern-Hardware – im engen Schulterschluss zwischen Wissenschaft und praktischer Umsetzung.