Die ZEISS Sparte SMT deckt wichtige Schlüsselprozesse bei der Herstellung von Mikrochips ab. Gemeinsam mit dem niederländischen Partner ASML ist ZEISS der weltweit einzige Hersteller für EUV-Lithographie-Maschinen für die Chipherstellung. Die Optik, das Kernstück solcher Anlagen, entwickelt und fertigt ZEISS in Oberkochen.
Beim Gang durch die Reinräume, in denen die innovativen Extreme Ultra Violet (EUV)-Lithographiesysteme produziert werden, zeigten sich Ministerpräsident Kretschmann und seine Delegation von der Komplexität und Präzision der Technologien und deren Herstellungsprozesse beeindruckt.
Da EUV-Licht von allen Materialien und sogar von Luft absorbiert wird, hat ZEISS ein vollständig aus Spiegeln aufgebautes, im Hochvakuum betriebenes optisches System entwickelt. Die Anforderungen an die EUV-Spiegel und damit ihre Herstellung und Vermessung sind extrem: Sie müssen mit atomarer Präzision gefertigt und beschichtet werden. Derartige Genauigkeiten erfordern äußerst akkurate Messtechnik, die Spiegel für die neueste Optik werden in Vakuumkammern mit fünf Metern Durchmesser vermessen und es dauert länger als ein Jahr, um einen dieser Spiegel herzustellen.
„Einen Einblick in die Herzkammer von ZEISS zu bekommen, war ein sehr beeindruckendes Erlebnis. Die EUV-Technologie, die hier entwickelt wird, macht die Digitalisierung von heute und morgen erst möglich“, betonte Ministerpräsident Kretschmann bei seinem Besuch. „ZEISS leistet mit dieser Forschung und Entwicklung einen enormen Beitrag, um Anwendungen wie Autonomes Fahren, den neuen Mobilfunkstandard 5G, Künstliche Intelligenz und weitere künftige Innovationen zu ermöglichen.“ Damit habe das Unternehmen weltweit eine Vorreiterrolle bei der Ausrüstung von Fabriken, die modernste Mikrochips herstellen, so Kretschmann: „Wir können glücklich sein, ein solch innovatives Unternehmen im Land zu haben. Der Wirtschaftsstandort Baden-Württemberg braucht gemeinsame Forschungsprojekte und Innovationstreiber, um wettbewerbsfähig zu bleiben und auch in Zukunft eine führende Rolle spielen zu können.“
Der Rundgang bot zudem Gelegenheit, die Rolle der Halbleiterindustrie als eine wichtige strategische Säule für die Wirtschaft in Deutschland und Europa zu diskutieren. Die Industrie mit hoher Innovationskraft liefert einen signifikanten Beitrag für Deutschland als Hoch-Technologiestandort und zeigt eine enorme Wachstumsdynamik.