Carl Zeiss und die Fertigung von Mikrochips

Wussten Sie, dass …

… ZEISS mit der Fertigung von Mikrochips zu tun hat?


Ob im Computer, im Auto oder im Handy, Mikrochips finden sich mittlerweile in fast allen Geräten des täglichen Lebens. Um diese Chips herzustellen, benötigt man Siliziumscheiben, auch Wafer genannt, verschiedene Chemikalien und Metalle, Licht und eine Maske, die als „Schablone“ für die Schaltkreise fungiert. Das klingt einfach, ist es aber nicht. Denn die Strukturen, die auf die Wafer „geschrieben“ werden, sind winzig klein.

Doch wie kommt die Struktur des Schaltkreises auf den Wafer? Eine lichtempfindliche Schicht auf dem Wafer, der Fotolack, wird in einem „Stepper“ oder „Scanner“ ultraviolettem Licht ausgesetzt und so wird der Wafer sukzessive belichtet. Und das mit einer Genauigkeit von wenigen Millionstel Millimetern (Nanometer). Der Vorteil: je kurzwelliger die Lichtstrahlen, desto präziser kann man arbeiten. Und desto kleiner werden am Ende die Chips, ebenso wie die Endgeräte. Bei der Belichtung kommt nun ZEISS ins Spiel, denn die meisten Maschinen weltweit, mit denen die Schaltkreisstrukturen auf die Wafer projiziert werden – dieser Vorgang wird auch als Lithographie bezeichnet – sind mit Objektiven von ZEISS ausgestattet.

Um noch kleinere Schaltkreise abbilden zu können, arbeitet ZEISS derzeit an einem neuen Verfahren: Statt 193 Nanometer Wellenlänge wird extrem ultraviolettes Licht (EUV) verwendet: Damit können Mikrochips ohne Leistungsverlust noch kleiner und billiger werden, und mit ihnen die gesamte Elektronik – egal ob in Ihrem Handy, Ihrer Kamera oder an Ihrem Arbeitsplatz. Das nächste Mal wenn Sie ein elektronisches Gerät bedienen, wissen Sie, was ZEISS damit zu tun hat.

8. September 2008

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