Dr. Hübner erklärt das TEM

Wussten Sie schon, dass …

… ZEISS Atome sichtbar macht?


Dies ermöglichen aktuelle Prototypen von Elektronenmikroskopen. Drei davon stehen in einem brandneuen Zentrum für Elektronenmikroskopie am Fraunhofer-Institut für zerstörungsfreie Prüfverfahren (IZFP) in Dresden. Hier arbeitet ZEISS mit dem IZFP zusammen, um diese Elektronenmikroskope weiterzuentwickeln. Neben Dresden gibt es nur noch in Bonn und an der Harvard-Universität vergleichbare Systeme.

In Dresden dienen sie nicht der Grundlagenforschung, sondern der extrem detaillierten Prüfung von Mikrochips. Die Strukturen dieser elektronischen Bauteile für Computer, Mobiltelefone, Autos und viele andere Produkte werden immer kleiner und sind derzeit teilweise nur noch 22 Millionstel Millimeter breit. Zum Vergleich: Ein menschliches Haar ist etwa 2.000 Mal dicker. Das größte Problem ist derzeit nicht die Herstellung der Chips, sondern deren Qualitätskontrolle. Bei etwa 600 Fertigungsschritten für einen Mikroprozessor, die Tage bis Wochen dauern, ist diese sehr wichtig, um rechtzeitig Fehler zu entdecken und zu beheben.

Doch Chips werden nicht nur kleiner, sondern auch komplexer. So arbeiten Entwickler an dreidimensionalen Mikroprozessoren, in denen verschiedene Schichten übereinander liegen. Insbesondere dafür entwickeln und testen die Forscher des Dresdner Instituts neue Analyse- und Prüfverfahren mit Hilfe von Elektronenmikroskopen. Gelingt es, diese Strukturen in der Produktion zu beherrschen, würde das eine technische Revolution bedeuten. Denn dadurch würden vermutlich die Leistungsfähigkeit von Computern oder Handys sowie die Effizienz von Haushaltsgeräten und Produktionsmaschinen deutlich erhöht.

18. Mai 2010

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