Fußballfeld auf Photomaske

Wussten Sie, dass …

… ZEISS Zwergen das Fußballspielen ermöglicht?


Auch die Zwerge aus dem Märchen können jetzt Fußball spielen: Mitarbeiter von ZEISS haben auf einer Photomaske ein 800 mal 600 Nanometer großes Fußballfeld „geschrieben“.

Nano leitet sich vom griechischen Wort „nanos“ (= Zwerg) ab und bezeichnet als Vorsilbe das Milliardstel einer Maßeinheit, ein Nanometer ist also ein Milliardstel Meter. Unvorstellbar? Das Fußballfeld passt rund 15 Billiarden Mal in ein echtes Fußballfeld.

Photomasken sind Projektionsvorlagen aus Quarzglas, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Mit einem Elektronenstrahlgerät haben Mitarbeiter von ZEISS, passend zur Europameisterschaft, das kleinste Fußballfeld der Welt auf eine Photomaske „geschrieben“. Das Gerät MeRiT®, mit dem das Fußballfeld erzeugt wurde, ist eigentlich ein Maskenreparaturgerät und nicht zur Förderung des Zwergensports vorgesehen. Mit MeRiT® werden normalerweise Defekte auf Photomasken im Nanometerbereich repariert, indem gezielt fehlendes Material aufgetragen bzw. überschüssiges Material weggeätzt wird.

Public Viewing ist aber leider nicht möglich, denn die Zwerge wären – proportional zu der Größe des Fußballfeldes – nur knapp 15 Nanometer hoch und der Fußball hätte einen Durchmesser von rund 20 Atomen. Somit sind Feld und Spiel nur durch ein Elektronenmikroskop sichtbar – aber auch diese hochauflösenden Mikroskope stellt ZEISS her.

16. Juni 2008

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