Ihr FIB-SEM für 3D-Analysen und Probenvorbereitung mit hohem Durchsatz
Ihr FIB-SEM für 3D-Analysen und Proben- vorbereitung mit hohem Durchsatz

ZEISS Crossbeam-Produktfamilie

Entdecken und gestalten Sie Neue Materialien

Mit ZEISS Crossbeam profitieren Sie von einer 3D-Nano-Workstation:

Verbinden Sie die Imaging- und Analyseleistung eines Feldemissions-Rasterelektronenmikroskops mit den Bearbeitungsfunktionen eines fokussierten Ionenstrahls (FIB).

Beim Abtragen, Imaging oder bei der 3D-Analyse beschleunigt ZEISS Crossbeam Ihre FIB-Anwendungen. Schöpfen Sie mit dem neuen EDS-Modul die Möglichkeiten für Ihre 3D-Analysen voll aus.

Nutzen Sie den variablen Druckmodus mit ZEISS Crossbeam 340. Oder verwenden Sie ZEISS Crossbeam 550 für besonders anspruchsvolle Charakterisierungen.

Profitieren Sie jetzt dank der großen Kammer von mehr Optionen.

Vorteile im Bereich FIB-SEM

ZEISS Crossbeam mit Gemini-Optik

Gewinnen Sie wertvollere Ergebnisse mit dem SEM

Profitieren Sie von einer um bis zu 30% besseren SEM-Auflösung bei geringer Spannung.

Verlassen Sie sich auf die SEM-Leistung Ihres ZEISS Crossbeam für oberflächenempfindliche Bilder in 2D oder bei der Durchführung einer 3D-Tomografie. Erhalten Sie ausgezeichnete Bilder von jeder Probe dank Gemini-Optik. Mithilfe des Tandem-decel-Modus, bei dem eine Spannung an die Probe angelegt wird, erzielen Sie Auflösungen von bis zu 1,4 nm bei einer Beschleunigungsspannung von 1 kV. Charakterisieren Sie Ihre Probe umfassend mit verschiedenen Detektoren. Erhalten Sie einen reinen Materialkontrast mit dem einzigartigen Inlens EsB Detector. Untersuchen Sie nichtleitende Proben, ohne eine Beeinträchtigung Ihrer Bildqualität durch Aufladungen hinnehmen zu müssen.

SEM Leistung
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Fokussierte Ionenstrahlsäule (FIB) des ZEISS Crossbeam

Erhöhen Sie den Durchsatz Ihrer FIB-Proben

Profitieren Sie durch die Einführung intelligenter FIB-Bearbeitungsstrategien von einem um bis zu 40% schnelleren Materialabtrag.

Arbeiten Sie mit dem höchstmöglichen Ionenstrahlstrom, der für Gallium-FIB-SEMs erhältlich ist. Sparen Sie Zeit und erzielen Sie exzellente Ergebnisse beim Materialabtrag: selbst bei Verwendung der höchstmöglichen FIB-Stromstärke von 100 nA erzielen Sie bei gleichzeitigem Erhalt Ihrer FIB-Auflösung exzellente Profile. Profitieren Sie von der Geschwindigkeit und Präzision intelligenter FIB-Scanstrategien für den Materialabtrag. Präparieren Sie Probensätze wie Querschnitte, TEM-Lamellen oder beliebige benutzerdefinierte Muster automatisch.

Ionenstrahlstrom
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EDS-Analysen in 3D mit ZEISS Crossbeam

Erleben Sie die beste 3D-Auflösung in Ihren FIB-SEM-Analysen

Genießen Sie die Vorteile einer integrierten 3D-EDS-Analyse.

Erweitern Sie die Kapazität Ihres Crossbeam mit ZEISS Atlas 5, dem marktführenden Paket für eine schnelle und präzise Tomografie. Führen Sie während der Tomografieabläufe EDS-Analysen mit dem integrierten 3D-Analysemodul von ZEISS Atlas 5 durch. ZEISS Crossbeam kombiniert Gemini-Optik mit einer FIB, die für präzises und schnelles Arbeiten designt wurde. Profitieren Sie von bester 3D-Auflösung und führender, isotroper Voxelgröße in der FIB-SEM-Tomografie. Führen Sie Untersuchungen in weniger als 3 nm Tiefe durch und erstellen Sie oberflächenempfindliche Materialkontrastbilder mit dem Inlens EsB Detector.

Erweitern Sie Ihr Crossbeam
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360° Ansicht des Crossbeam 550
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Die Technologie hinter ZEISS Crossbeam

SEM-Elektronenoptik

Wählen Sie aus zwei Säulen aus

Die FE-SEM-Säule von ZEISS Crossbeam basiert wie alle ZEISS FE-SEMs auf der Gemini-Elektronenoptik. Entscheiden Sie sich für die Gemini VP-Säule von Crossbeam 340 oder die Gemini II-Säule von Crossbeam 550.

Elektronenoptik
 

Neuartige Gemini-Optik

Profitieren Sie von oberflächenempfindlichem Imaging

Für strahlenempfindliche, nichtleitende Proben ist hochauflösendes Imaging bei geringer Auftrittsenergie erforderlich. Ein zweistufiger Abbremsungsmodus, der Tandem decel, wird jetzt mit dem ZEISS Crossbeam 550 vorgestellt.

Neuerungen in der Gemini-Technologie
 

FIB-SEM-Technologie

Entdecken Sie die einzige FIB mit einer Stromstärke von 100 nA

Die Ionenquelle von ZEISS Crossbeam erzeugt einen fokussierten Ionenstrahl mit 100 nA. Hohe wie niedrige Stromstärken haben ihre Vorteile.

FIB-SEM-Technologie

Erkennen Sie den Unterschied

Verschieben Sie den Slider zwischen hochauflösendem Imaging mit und ohne Tandem decel.

Verschieben Sie den Slider zwischen hochauflösendem Imaging mit und ohne Tandem decel. ZEISS Crossbeam Referenzprobe mit Tandem decel
Bessere SEM-Auflösung mit Tandem decel und hochauflösendem Quellenmodus:

Referenzprobe mit Goldnanopartikeln auf Kohlenstoff; abgebildet ohne (links) und mit (rechts) Tandem decel bei einer Auftrittsenergie von 1 kV und einem Arbeitsabstand von 5 mm; der Koinzidenzpunkt, an dem FIB-Abtrag und gleichzeitiges SEM-Imaging stattfinden.

ZEISS Crossbeam-Produktfamilie

ZEISS Crossbeam 550: Standardkammer

ZEISS Crossbeam 550: Standardkammer

ZEISS Crossbeam 550: Standardkammer
ZEISS Crossbeam 550 mit Standardkammer

ZEISS Crossbeam 550: große Kammer

ZEISS Crossbeam 550: große Kammer

ZEISS Crossbeam 550: große Kammer
ZEISS Crossbeam 550 mit große Kammer

Innerhalb der ZEISS Crossbeam-Produktfamilie haben Sie die Wahl zwischen Crossbeam 340 oder Crossbeam 550. Nutzen Sie den variablen Druckmodus von Crossbeam 340. Oder verwenden Sie Crossbeam 550 für besonders anspruchsvolle Charakterisierungen und wählen Sie die Kammergröße (Standard oder groß) aus, die für Ihre Probe am besten geeignet ist.

  ZEISS Crossbeam 340 ZEISS Crossbeam 550
SEM Gemini I VP-Optik
               - 
Gemini II-Optik
Tandem decel-Option
Kammergröße
und Anschlüsse
Standard mit 18 Anschlüssen
Standard mit 18 konfigurierbaren Anschlüssen oder groß mit 22 konfigurierbaren Anschlüssen
Tisch
100-mm-Verfahrweg in x/y-Richtung
Standard mit 100-mm-Verfahrweg oder groß mit 153-mm-Verfahrweg in x/y-Richtung
Ladungskontrolle
Flood Gun
Lokale Aufladungskompensation
Variabler Druck
Flood Gun
Lokale Aufladungskompensation
                  -
Beispieloptionen
Inlens Duo für sequenzielles
SE/EsB*-Imaging
VPSE-Detektor
 
Inlens SE und Inlens EsB* für simultanes Imaging SE/EsB*-Imaging
Große Schleuse für 8 Zoll große Wafer
Konfiguration von drei pneumatisch angetriebenen Zubehörgeräten gleichzeitig in der großen Kammer, z. B. STEM, Backscatter-Detektor mit 4 Quadranten und lokaler Aufladungskompensation
Vorteile
Maximale Probenvielfalt aufgrund des variablen Druckmodus; verschiedene Möglichkeiten für In-situ-Experimente; sequenzielles Inlens-SE/EsB-*Imaging möglich.
Hoher Durchsatz bei Analysen und Imaging, hohe Auflösung unter sämtlichen Bedingungen, simultanes Inlens SE- und Inlens EsB*-Imaging.
    * SE: Sekundärelektron, EsB: energieselektive Rückstreuung

Anwendungsbeispiele

  • Bilder
    Aluminiumoxid-Nanosphären, abgebildet mit Tandem decel mit Crossbeam 550

    Aluminiumoxid-Nanosphären,
    abgebildet mit Tandem decel mit Crossbeam 550

    Öffnung im Material, abgetragen mit einem Strahlstrom von 100 nA mit Crossbeam 550

    Öffnung im Material, abgetragen mit einem Strahlstrom von 100 nA

    Vergleich von Materialabtragsstrategien auf Crossbeam 550

    Vergleich von Materialabtragsstrategien auf Crossbeam 550

    TEM-Lamellen in Ag-Ni-Cu-Legierung, präpariert mit Crossbeam 550

    TEM-Lamellen in Ag-Ni-Cu-Legierung, präpariert mit Crossbeam 550

    Satz mit 35 TEM-Lamellen, präpariert mit Crossbeam 550

    Satz mit 35 TEM-Lamellen, präpariert mit Crossbeam 550

    STEM-Bild und EDS-Elementaufnahme von Cr-Abreicherung in Stahl

    STEM-Bild und EDS-Elementaufnahme von Cr-Abreicherung in Stahl

    Nanopatterning:
    Nanofluidische Kanäle, gefertigt mit der FIB in einem Masterstempel aus Silizium (links)
    Detail: mäanderförmige Kanäle (Mitte) Ein- und Auslässe in Trichterform (rechts)
    Mit freundlicher Genehmigung: I. Fernández-Cuesta, INF Hamburg, Deutschland.

    Nanofluidische Kanäle, Masterstempel

    Nanofluidische Kanäle, Masterstempel

    Nanofluidische Kanäle, mäanderförmige Kanäle

    Nanofluidische Kanäle, mäanderförmige Kanäle

    Nanofluidische Kanäle, trichterförmige Ein- und Auslässe

    Nanofluidische Kanäle, trichterförmige Ein- und Auslässe

  • Videos

    Live-Imaging des FIB beim Abtragen einer Spirale in Silizium

    Abgebildet mit dem SEM und einem Inlens SE Detector.

    Ein Probenhalter, der für ZEISS FIB-SEMs zur TEM-Lamellen -Präparation konzipiert wurde

    Die patentierte X²-Präparationsmethode wird verwendet, um ultradünne, stabile TEM-Lamellen mit einer homogenen Dicke von weniger als 10 nm anzufertigen, ohne die Probe zu schädigen.

    Untersuchung von bleifreiem Lot, das Cu- und Ag-Partikel in einer Sn-Matrix enthält

    Tomografiedaten von SEM-Bildern, die mit 1,8 kV aufgenommen wurden.
    Mit freundlicher Genehmigung: M. Cantoni, EPFL Lausanne, Schweiz.

    Element-Mapping: EDS-Aufnahmen wurden bei 6 kV mit dem Analysemodul von ZEISS Atlas 5 erfasst.
    Mit freundlicher Genehmigung: M. Cantoni, EPFL Lausanne, Schweiz.

Software

FIB-SEM-Mikroskop

ZEISS Atlas 5 – Meistern Sie Ihre multi-dimensionale Herausforderung

Mit Atlas 5 erstellen Sie multi-dimensionale Bilder. Das leistungsstarke Paket aus Hardware und Software ergänzt Ihr ZEISS Rasterelektronenmikroskop mit fokussiertem Ionenstrahl (FIB-REM).

Korrelieren Sie Röntgenmikroskopie und FIB-REM: nutzen Sie 3D Volumendatensätze aus der Röntgenmikroskopie um tiefliegende Stellen zu lokalisieren und präzise mit dem FIB-REM anzusteuern.

Profitieren Sie von zwei Modulen, die speziell für FIB-REM Applikationen entwickelt wurden: Erstellen Sie automatisch 3D Datensätze mit dem 3D Tomographie Modul. Lösen Sie komplexe Anforderungen an Nanostrukturierung und Nanoprototypisierung mit dem Modul NPVE Advanced (Advanced Nanopatterning & Visualization Engine).

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Visualization and Analysis Software

Visualisierungs- und Analyse-Software

ZEISS empfiehlt Dragonfly Pro von Object Research Systems (ORS)

Die erweiterte Analyse-und Visualisierungs-Software für Ihre 3D Datensätze aus verschiedensten Technologien einschließlich Röntgenmikroskopie, FIB-REM, REM und Helium-Ionen-Mikroskopie.

Dragonfly Pro, ehemals Visual SI Advanced benannt, bietet eine High-Definition Visualisierungstechnik und branchenführende Graphik. Dragonfly Pro unterstützt eine Anpassung durch einfaches Python-Scripting. Anwender haben nun die totale Kontrolle über ihre 3D-Datennachbearbeitung und Workflows.

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Downloads

ZEISS Crossbeam Family

Your FIB-SEM for High Throughput 3D Analysis and Sample Preparation

Seiten: 20
Dateigröße: 11.734 kB

X² STEM Lamella Preparation from Multicomposite Organic Electronic Devices with ZEISS FIB-SEMs

Application Note

Seiten: 6
Dateigröße: 883 kB

Technology Note: ZEISS Focused Ion Beam Column

Enabling Precision and long-term Stability for Cutting Edge Crossbeam Applications

Seiten: 6
Dateigröße: 1.891 kB

ZEISS Crossbeam Family

High Resolution STEM and EDS Study of Chromium Depletion in Stainless Steel

Seiten: 5
Dateigröße: 1.615 kB

ZEISS Crossbeam 550

High Throughput Imaging

Seiten: 5
Dateigröße: 2.045 kB

ZEISS Crossbeam

Reproducible TEM Lamella Thinning by FIB with Real-time Thickness Control and End-point Detection

Seiten: 5
Dateigröße: 1.395 kB

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