Die Technologie hinter ZEISS Crossbeam

SEM-Elektronenoptik

Entscheiden Sie sich für eine von zwei Säulen

Feldemissions-SEMs wurden für hochauflösendes Imaging entwickelt. Der Schlüssel zur Leistungsfähigkeit eines Feldemissions-SEM liegt in seiner elektronenoptischen Säule. Die Gemini-Technologie ist in alle ZEISS FE-SEMs und FIB-SEMs integriert: Sie ist optimiert für die herausragende Auflösung jeder Probe, insbesondere bei niedrigen Beschleunigungsspannungen, und sorgt für eine umfassende und effiziente Detektion und Benutzerfreundlichkeit.


Die Gemini-Optik zeichnet sich durch drei Hauptkomponenten aus:

  • Das Gemini-Objektivlinsendesign kombiniert elektrostatische und magnetische Felder, um die optische Performance zu maximieren und gleichzeitig die Feldeinflüsse auf die Probe auf ein Minimum zu reduzieren. Dies ermöglicht ein ausgezeichnetes Imaging auch bei schwierigen Proben wie magnetischen Materialien.
  • Die Gemini-Beambooster-Technologie, eine integrierte Strahlabbremsung, ermöglicht geringe Sondengrößen und ein hohes Signal-Rausch-Verhältnis.
  • Das Gemini-Konzept der Inlens-Detektion gewährleistet eine effiziente Signaldetektion durch parallele Erfassung von Sekundärelektronen (SE) und Rückstreuelektronen (BSE) bei einer verringerten Bilderfassungszeit.

 

Vorteile für Ihre FIB-SEM-Anwendungen:

  • Langfristige Stabilität der SEM-Justage und mühelose Anpassung aller Systemparameter wie Sondenstromstärke und Beschleunigungsspannung
  • Erreichen Sie verzerrungsfreies, hochauflösendes Imaging auch bei großen Sehfeldern mithilfe von nahezu magnetfeldfreier Optik             
  • Neigen Sie die Probe, ohne die elektronenoptische Leistung zu beeinflussen
ZEISS Crossbeam mit Gemini I SEM Säule

ZEISS Crossbeam 340:
Gemini Säule mit Einfach-Kondensor, einem Inlens Detektor und VP Funktionalität.

Crossbeam 340 mit Gemini I VP

  • Maximale Flexibilität bei Proben in Mehrzweckumgebungen
  • In-situ-Experimente mit ausgasenden oder leitfähigen Proben
  • Einmaliger Gemini-Materialkontrast mit dem optionalen Inlens Duo Detektor
     
ZEISS Crossbeam mit Gemini II SEM Säule

ZEISS Crossbeam 550:
Gemini II Säule mit Doppel-Kondensor und zwei Inlens Detektoren.

Crossbeam 550 mit Gemini II

  • Hohe Auflösung selbst bei geringer Spannung und hoher Stromstärke dank Doppelkondensorsystem
  • Erfassung von mehr Informationen in kürzerer Zeit mit hochauflösendem Imaging und schnellen Analysen
  • Einzigartiger Topografie- und Materialkontrast mit simultanem SE- und EsB-Imaging

Gemini Novel Optik

Profit from Surface Sensitive Imaging

Heutige SEM-Anwendungen erfordern standardmäßig hochauflösendes Imaging bei geringer Landeenergie. Das ist wichtig für:

  • strahlenempfindliche Proben
  • nicht leitende Materialien
  • den Erwerb echter Informationen aus der Probenoberfläche ohne unerwünschte Hintergrundsignale von tieferen Probenschichten

Die neuartige Gemini-Optik ist optimiert für Auflösungen bei geringen und sehr geringen Spannungen sowie zur Kontrastverbesserung.
Zu den technologischen Merkmalen zählen der hochauflösende Quellenmodus und die Tandem decel-Option.
Der hochauflösende Quellenmodus führt zu einer verringerten chromatischen Aberration, da die primäre Energiebreite um 30 % reduziert wird.

ZEISS Crossbeam 550 Objektiv mit Tandem decel

Tandem decel, eine zusätzliche externe Vorspannung an der Probe von bis zu 5 kV verbessert die Imaging Qualität bei Niederspannung.

Tandem decel wird jetzt mit ZEISS Crossbeam 550 vorgestellt und kann in zwei verschiedenen Modi verwendet werden:

  • Tandem decel, ein zweistufiger Abbremsungsmodus, kombiniert die Beambooster-Technologie mit einer hohen negativen Vorspannung, die an der Probe angelegt wird: Die Elektronen des primären Elektronenstrahls werden abgebremst, wodurch die Auftrittsenergie effektiv reduziert wird.
  • Legen Sie eine variable negative Vorspannung zwischen 50 und 100 V an. Ein Anwendungsmodus der den Kontrast Ihrer Bilder verbessert.
  • Legen Sie eine negative Vorspannung zwischen 1 und 5 kV an und verbessern Sie die Auflösung Ihrer Bilder bei niedrigen kV-Werten.
ZEISS Crossbeam – Säulenquerschnitt durch SEM- und FIB-Säule

ZEISS Crossbeam 550: Gemini II Säule mit Doppel-Kondensor und zwei Inlens Detektoren und einer FIB-Säule angeordnet unter einem Neigungswinkel von 54°.

FIB-SEM Technologie

Entdecken Sie die einzige FIB mit einer Stromstärke von 100 nA

Die ZEISS Crossbeam-Produktfamilie ist mit einer FIB-Säule ausgestattet, durch die präzise Ergebnisse bei der FIB-SEM-Tomografie mit isotropen Voxelgrößen erreicht werden können.

  • Sie haben Zugriff auf fünf Größenordnungen beim Strahlstrom: von 1 pA bis zu 100 nA.
  • Sie erhalten präzise und reproduzierbare Ergebnisse und maximale Stabilität während der Bildaufnahme.
  • Sie profitieren von einem schnellen und präzisen Materialabtrag dank höherer Strahlstromstärken von bis zu 100 nA.
  • Sie erreichen außergewöhnlich kleine Sondengrößen mit einem Durchmesser von weniger als 3 nm bei Stromstärken von lediglich 1 pA.
  • Die Crossbeam-Produktfamilie ist jetzt zusätzlich mit einer automatisierten Funktion für FIB „emission recovery“ für langfristige Experimente ausgestattet.
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