ZEISS 3DSM

Analysieren Sie topografische Proben in 3D

 Keramikoberfläche, Darstellung mit 3DSM
Keramikoberfläche, Darstellung mit 3DSM
Schraubengewinde, Darstellung mit 3DSM
Schraubengewinde, Darstellung mit 3DSM
Forensische Untersuchung des Schlagbolzeneindrucks in einer Patronenhülse, Darstellung mit 3DSM
Forensische Untersuchung des Schlagbolzeneindrucks in einer Patronenhülse, Darstellung mit 3DSM

3DSM

Nutzen Sie Ihr SEM zur Rekonstruktion Ihrer Probenoberflächen

Ihr Rasterelektronenmikroskop misst und analysiert alle Arten von Proben in 2D: Zur Analyse Ihrer Probenoberfläche in 3D verwenden Sie 3DSM, das optionale Softwarepaket von ZEISS. Erhalten Sie topographische Informationen, indem Sie ein komplettes 3D-Modell Ihrer Probe rekonstruieren und dazu die Signale des aBSD oder des AsB-Detektors verwenden.

Typische Anwendungsfälle sind Profilhöhenmessungen. Sie werden in der Regel mit einem Profilometer oder einem AFM in einem industriellen Forschungs- oder Qualitätslabor durchgeführt, z. B. zur schnellen Beurteilung von bearbeiteten Oberflächen oder Prägeprozessen. Beiden Techniken fehlt die komfortable Lokalisierung der ROIs, die ein SEM liefert. Auf Wunsch wird die Messgenauigkeit durch ein Kalibriernormal mit definierten Stufenhöhen speziell für Ihr Gerät eingestellt.

Highlights

3DSM

  • Führen Sie eine 3D-Oberflächenrekonstruktion geeigneter Proben durch. Geeignet sind Bilder, die mit ZEISS FE-SEMs aufgenommen wurden, die mit einem aBSD- (ringförmiger Rückstreudetektor) oder einem AsB-Detektor (winkelselektiver Rückstreudetektor, nur GeminiSEM Familie) ausgestattet sind.
  • Kombinieren Sie 3DSM mit SmartSEM, der Software, die das SEM betreibt, für Echtzeit- oder sequenzielle 3D-Bildgebung oder betreiben Sie es im Stand-alone-Modus, um archivierte Projektdateien zu visualisieren.
  • Profitieren Sie von Echtzeitbetrieb und Rekonstruktionszeiten < 2s mit GeminiSEM; Sigma liefert Ihnen die Bilder sequenziell.
  • Der zugrunde liegende "Shape-from-Shading"-Algorithmus übernimmt die Rekonstruktion.
  • Führen Sie grundlegende Messungen wie Profilabmessungen sowie 2D- und 3D-Rauheitsbewertungen direkt am resultierenden 3D-Modell durch - mit nur wenigen Mausklicks.
  • 3DSM verfügt jetzt über eine neue Benutzeroberfläche, die sich an den Arbeitsschritten Positionieren, Erfassen und Korrigieren orientiert.
  • Profitieren Sie von neuen Standard-Rauheitswerten (Ra, Sa) und neuen Filtern zur Welligkeits- und Rauschkorrektur.

3DSM Metrology

  • Rüsten Sie Ihr ZEISS FE-SEM mit dem optionalen Paket 3DSM Metrology auf, um automatische Messungen und Dokumentationen gemäß ISO 25178, DIN und ASME und anderen Normen für Routineprüfungen zu erhalten.
  • Analysieren Sie Oberflächen in 3D und erzeugen Sie vollständige Messprotokolle.
  • Charakterisieren Sie Oberflächen und Profile einschließlich Parametern wie Stufenhöhe, Abstand, nanometerskalierte Kontur, Rauheit und Welligkeit, Partikel- und Korngröße.
  • Erstellen Sie vollständig rückführbare messtechnische Berichte.
3D quantitative surface model
3D quantitative surface model

Downloads

3DSM

3D Surface Modelling

Seiten: 6
Dateigröße: 426 kB

Technical Note

The Real Time 3DSM Solution for the ZEISS GeminiSEM Family

Seiten: 6
Dateigröße: 2130 kB

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