ZEISS EVO-Produktfamilie
Modulare REM-Plattform mit intuitiver Bedienung für Routine- und Forschungsanwendungen
Die Instrumente der EVO-Produktfamilie kombinieren leistungsstarke Rasterelektronenmikroskopie mit einem intuitiven Bedienkonzept, das für erfahrene Anwender und Neulinge gleichermaßen gut geeignet ist. EVO kann dank seiner umfangreichen Optionen präzise auf Ihre Anforderungen abgestimmt werden, unabhängig davon, ob Sie im Bereich Biowissenschaften oder Materialwissenschaften oder in der routinemäßigen industriellen Qualitätskontrolle und Fehleranalyse tätig sind.
- Vielseitige Lösung für zentrale Mikroskopieeinrichtungen oder Labors für die industrielle Qualitätskontrolle
- Verschiedene Kammergrößen und Probentischoptionen für alle Anforderungen – auch für große Industrieteile und Proben
- Optimale Bildqualität mit dem Lanthanhexaborid-Emitter (LaB6)
- Herausragendes Imaging und Analysen von nichtleitenden und unbeschichteten Proben
- Verschiedene Analysedetektoren für anspruchsvolle Mikroanalyseanwendungen
Ihre Vorteile
Mit SmartSEM Touch kontrollieren Sie Workflows interaktiv mit Ihren Fingerspitzen.
Überlegene Benutzerfreundlichkeit
Mit SmartSEM Touch kontrollieren Sie Workflows interaktiv mit Ihren Fingerspitzen. Die Bedienung ist einfach zu erlernen, was den Schulungs- und Kostenaufwand deutlich reduziert. Selbst unerfahrene Nutzer können in Minutenschnelle fantastische Bilder erfassen. Diese Benutzeroberfläche unterstützt außerdem industrielle Anwender, die automatisierte Workflows für wiederkehrende Inspektionsaufgaben benötigen.
EVO erbringt Spitzenleistungen, wenn es um die Erfassung hochwertiger Daten aus unbeschichteten und unveränderten Proben geht.
Ausgezeichnete Bildqualität
EVO erbringt Spitzenleistungen, wenn es um die Erfassung hochwertiger Daten aus unbeschichteten und unveränderten Proben geht. Die Lösung stellt außerdem die Datenqualität hydrierter und stark verschmutzter Proben sicher, da diese Proben in ihrem nativen Zustand belassen werden können. Zusätzlich optimiert der LaB6-Emitter die Auflösung, den Kontrast und das Signal-Rausch-Verhältnis, was bei anspruchsvollen Imaging- und Mikroanalyseaufgaben extrem wichtig ist.
EVO kann als Teil eines halbautomatisierten, multimodalen Workflows konfiguriert werden.
Stark im Zusammenspiel
EVO kann als Teil eines halbautomatisierten, multimodalen Workflows konfiguriert werden. Dies wird ermöglicht durch das halbautomatisierte Wiederauffinden von relevanten Bereichen und das Sicherstellen der Integrität von Daten, die mithilfe mehrerer Verfahren erfasst wurden. Kombinieren Sie Daten aus der Licht- und Elektronenmikroskopie für die Materialcharakterisierung oder Teileprüfung. Oder kombinieren Sie EVO mit ZEISS Lichtmikroskopen für die korrelative Partikelanalyse.
Für Multi-User-Umgebungen
Einfache Bedienung für erfahrene und unerfahrene Nutzer
Je nach Laborumgebung kann die Bedienung des REM die alleinige Aufgabe erfahrener Elektronenmikroskopiker sein. Es kann aber auch die Notwendigkeit bestehen, dass unerfahrene Nutzer wie Studenten, Auszubildende oder Qualitätsingenieure Daten von einem REM benötigen. EVO berücksichtigt beide Gruppen mit Benutzeroberflächen, die auf die Nutzeranforderungen von erfahrenen Mikroskopikern und Neulingen gleichermaßen eingehen.
Erfahrene Nutzer
Bevorzugtes UI: SmartSEM
Erfahrene Nutzer haben Zugriff auf erweiterte Imaging-Parameter und Analysefunktionen.
SmartSEM: Benutzeroberfläche und Controller für erfahrene Nutzer
SmartSEM: Benutzeroberfläche und Controller für erfahrene Nutzer
Unerfahrene Nutzer
Bevorzugtes UI: SmartSEM Touch
Unerfahrene Nutzer haben Zugriff auf vordefinierte Workflows und die am häufigsten verwendeten Parameter – ideal für Anfänger.
SmartSEM Touch: vereinfachte Benutzeroberfläche, die von einem Touchscreen-PC ausgeführt wird
SmartSEM Touch: vereinfachte Benutzeroberfläche, die von einem Touchscreen-PC ausgeführt wird
Intelligente Navigation und Bilderfassung
Verbessern Sie Ihren Probendurchsatz und steigern Sie Produktivität und Leistung
ZEISS Navigationskamera
Eine Kamera kann entweder an der Kammer montiert werden (Chamberscope), um die Position der Proben zu überwachen, die senkrecht zum am Polstück montierten Rückstreuelektronendetektor verlaufen, oder auf der Klappe der Vakuumkammer (Navigationskamera), um die Anordnung der Proben oder Werkstücke auf dem Probenhalter aus erhöhter Perspektive zu betrachten. Diese Ansicht bietet sich an, um relevante Bereiche zu definieren, die auf einem Lichtmikroskop-Bild identifiziert wurden, und um während der gesamten Probenuntersuchung einfach navigieren zu können.
Automatisiertes intelligentes Imaging
Automatisiertes intelligentes Imaging
EVO ermöglicht die automatisierte, unbeaufsichtigte Bilderfassung für mehrere Probenchargen. ZEISS Automated Intelligent Imaging ist perfekt für routinemäßige Untersuchungen geeignet. Je nach erforderlichem Bildausschnitt oder der gewünschten Vergrößerung können Nutzer Bereiche von Interesse festlegen und mit der automatisierten Erfassung beginnen. Das automatisierte intelligente Imaging verbessert Ihren Probendurchsatz, steigert die Produktivität und die Leistung.
Eine neue Qualität beim Untersuchen Ihrer Proben.
Bessere Daten mit dem Lanthanhexaborid-Emitter (LaB6)
Anstelle eines herkömmlichen Wolfram-Glühfadens sorgt die Elektronenemission einer Lanthanhexaborid-Kathode dafür, dass Sie jederzeit hochwertige Bilder erzeugen können. Diesen Vorteil können Sie auf zweierlei Arten nutzen:
- Bei äquivalenten Elektronensondengrößen (d. h. Auflösungen) steht ein höherer Sondenstrom zur Verfügung, der die Bildnavigation und -optimierung deutlich einfacher macht.
- Bei äquivalenten Sondenströmen (Signal-Rausch-Verhältnis) ist der Strahldurchmesser deutlich geringer, was die Bildauflösung verbessert.
Katalysatorpartikel, abgebildet mit hoher Vergrößerung und geringem kV-Wert (links Wolfram, rechts LaB6).
Bei schwierigen Imaging-Bedingungen profitieren LaB6-Nutzer von einem 10-mal helleren Elektronenstrahl, der für eine verbesserte Bildauflösung und höheren Kontrast sorgt.
EVO ist stark im Zusammenspiel.
Profitieren Sie von Workflow-Automatisierung und korrelativer Mikroskopie.
Shuttle & Find integriert EVO, zusammengesetzte Lichtmikroskope und digitale Mikroskope in einen korrelativen, multimodalen Workflow
Shuttle & Find integriert EVO, zusammengesetzte Lichtmikroskope und digitale Mikroskope in einen korrelativen, multimodalen Workflow
Da ZEISS der führende Anbieter verschiedenster Mikroskopie- und Metrologiesysteme ist, können Sie davon ausgehen, dass EVO sehr gut mit anderen ZEISS Lösungen zusammenarbeitet.
Mit Shuttle & Find, der ZEISS Hardware- und Softwareschnittstelle für korrelative Mikroskopie, können Sie einen hochproduktiven, multimodalen Workflow zwischen (digitalen) Lichtmikroskopen und EVO erstellen. Kombinieren Sie die spezifischen optischen Kontrastmethoden Ihres Lichtmikroskops mit den ebenfalls spezifischen Imaging- und Analysemethoden des REM, um komplementäre Daten und somit aussagekräftigere Informationen über die Materialqualität oder die Fehlerquelle Ihrer Probe zu erhalten.
ZEISS SmartEDX
Integrierte REM/EDS-Lösung für Mikroanalyse-Routineanwendungen
Wenn die REM-Bilderfassung allein nicht ausreicht, um Proben und Bauteile vollständig zu charakterisieren, greifen REM-Anwender zur Energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDS), um räumlich aufgelöste Informationen zur chemischen Elementzusammensetzung zu gewinnen.
ZEISS SmartEDX
Embedded EDS Solution for Routine SEM Microanalysis Applications
- Für Routine-Mikroanalyse optimiert
Die Kombination aus REM und EDS muss mit Blick auf den Verwendungszweck sorgsam bedacht werden. SmartEDX für EVO eignet sich besonders für Routine-Mikroanalysen mit hoher Anforderung an die Reproduzierbarkeit der Daten. Mit höchstem Durchsatz bei 129 eV und 1-5 nA Strahlstrom passt SmartEDX ideal zu den typischen Betriebsbedingungen von EVO. Dank der überlegenen Durchlässigkeit des Silizium-Nitrid-Fensters ist das System bestens geeignet, um die schwache Strahlung leichter Elemente zu erfassen.
Workflow-guided graphical user interface
- An Arbeitsabläufen orientiert
SmartEDX wurde für eine leichte Benutzung und die Wiederholbarkeit von Arbeitsabläufen in Mehrbenutzerumgebungen ausgelegt. Genau wie andere workflow-orientierte Software-Lösungen von ZEISS – z.B. SmartSEM Touch, ZEN core oder Shuttle & Find – ist SmartEDX leicht zu erlernen und intuitiv in der Bedienung. Davon profitieren insbesondere wiederkehrende Analyseaufgaben am REM in Laborumgebungen mit mehreren Systemanwendern.
Total ZEISS service and system support
- Umfassender Support aus einer Hand
Da ZEISS einen vollständigen System-Support anbietet, ist SmartEDX ideal für Anwender, die hohen Wert darauf legen, die Anzahl ihrer Zulieferer von Analysegeräten möglichst gering zu halten. ZEISS bietet sämtliche Dienstleistungen aus einer Hand – von der Installation über vorbeugende Wartung, Garantie, Diagnose, Reparatur und Ersatzteillieferung, bis hin zu integrierten Service-Verträgen. Der Betrieb von Elektronenmikroskopen zur chemischen Elementanalyse wird dadurch erheblich erleichtert.
Die EVO-Produktfamilie
Verschiedene Vakuumkammergrößen
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ZEISS EVO 10 |
ZEISS EVO 15 |
ZEISS EVO 25 |
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Wählen Sie EVO 10 mit dem optionalen Rückstreudetektor und dem Element EDS-System zu einem außergewöhnlich erschwinglichen Preis für Ihren Einstieg in die Elektronenmikroskopie. Selbst diese kleinste der EVO-Vakuumkammern unterscheidet sich deutlich von Tisch-REMs. Mit dieser Investition sind Sie schon jetzt für zukünftige Anwendungen gerüstet, die mehr Platz und mehr Anschlüsse erfordern. |
EVO 15 steht beispielhaft für das Flexibilitätskonzept der EVO-Produktfamilie und erbringt bei Analyseanwendungen Spitzenleistungen. Entscheiden Sie sich für die größere Vakuumkammer des EVO 15 und fügen Sie den VP-Modus für Bilderfassung und Analyse nichtleitender Proben hinzu. Erhalten Sie eine vielseitige Lösung für zentrale Mikroskopieeinrichtungen oder Labors für die industrielle Qualitätskontrolle. |
EVO 25 ist die robuste Lösung für die Industrie, die ausreichend Platz für sehr große Werkstücke und Baugruppen bietet. Erweitern Sie EVO 25 optional mit einem Tisch mit 80 mm Z-Fahrweg, der selbst im gekippten Zustand ein Gewicht von bis zu 2 kg trägt. Die große Kammer bietet zudem Platz für mehrere Analysedetektoren zur Unterstützung anspruchsvollster Mikroanalyseanwendungen. |
Maximale Probenhöhe |
100 mm |
145 mm |
210 mm |
Maximaler Probendurchmesser |
230 mm |
250 mm |
300 mm |
Motorisierter Tisch mit XYZ-Fahrweg |
80 x 100 x 35 mm |
125 x 125 x 50 mm |
130 x 130 x 50 (or 80) mm |
High-Vacuum-(HV-)Modus Erstklassiges Imaging und Analysen von leitfähigen Proben |
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Variable-Pressure-(VP-)Modus Hochwertiges Imaging und Analysen von unbeschichteten, nichtleitenden Proben |
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Extended-Pressure-(EP-)-Modus Imaging von hydrierten oder verschmutzten Proben in ihrem natürlichen Zustand |
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ZEISS EVO in der Anwendung
Anwendungsbeispiele
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Fertigung und Montage
Fertigung und Montage
- Qualitätsanalyse/Qualitätskontrolle
- Fehleranalyse/Metallografie
- Prüfung auf Sauberkeit
- Morphologische und chemische Analyse von Partikeln gemäß den Normen ISO 16232 und VDA 19 Teil 1 und 2
- Analyse nichtmetallischer Einschlüsse
Zinkphosphatbeschichtung, abgebildet mit SE-Detektor im Hochvakuum.
Zinkphosphatbeschichtung, abgebildet mit SE-Detektor im Hochvakuum.
Autositz-Schaumpolster, abgebildet ohne Beschichtung im variablen Druckmodus mit dem BSE-Detektor.
Autositz-Schaumpolster, abgebildet ohne Beschichtung im variablen Druckmodus mit dem BSE-Detektor.
Bruchfläche von Edelstahl, abgebildet mit Sekundärelektronen im Hochvakuum.
Autositz-Schaumpolster, abgebildet ohne Beschichtung im variablen Druckmodus mit dem BSE-Detektor.
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Halbleiter und Elektronik
Halbleiter und Elektronik
- Sichtprüfung von elektronischen Komponenten, integrierten Schaltungen, MEMS und Solarzellen
- Untersuchung von Kupferdrahtoberflächen und Kristallstrukturen
- Untersuchung von Metallkorrosion
- Querschnittsfehleranalysen
- Bondfuß-Untersuchungen
- Imaging von Kondensatoroberflächen
Untersuchung der Drahtverbindung mit Sekundärelektronen-Imaging im Hochvakuum oder variablen Druckmodus.
Untersuchung der Drahtverbindung mit Sekundärelektronen-Imaging im Hochvakuum oder variablen Druckmodus.
Korrodierte Nickelschicht, abgebildet mit Sekundärelektronen
Korrodierte Nickelschicht, abgebildet mit Sekundärelektronen
SE-Bild, das die Entstehung eines Haarkristalls auf einem elektronischen Gerät zeigt.
SE-Bild, das die Entstehung eines Haarkristalls auf einem elektronischen Gerät zeigt.
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Stahl und andere Metalle
Stahl und andere Metalle
- Imaging und Analyse der Struktur, chemischen Zusammensetzung und Kristallografie von metallischen Proben und Einschlüssen
- Analyse von Phasen, Partikeln, Schweißnähten und Fehlstellen
Querschnitt von verzinktem Weichstahl, abgebildet mit dem SE-Detektor auf EVO 15.
Querschnitt von verzinktem Weichstahl, abgebildet mit dem SE-Detektor auf EVO 15.
Oberfläche von S355-Stahl nach dem Strahlen mit Edelkorund F80.
Oberfläche von S355-Stahl nach dem Strahlen mit Edelkorund F80.
Imaged with the BSE detector on EVO 15. Sample: courtesy of TWI Ltd, UK
Oberfläche einer Titanlegierung (Ti-6Al-4V), additiv gefertigt durch selektives Laserschmelzen, zeigt vollständig geschmolzene Bereiche neben ungeschmolzenen Ti-6Al-4V-Partikeln und anderen Materialien.
Oberfläche einer Titanlegierung (Ti-6Al-4V), additiv gefertigt durch selektives Laserschmelzen
zeigt vollständig geschmolzene Bereiche neben ungeschmolzenen Ti-6Al-4V-Partikeln und anderen Materialien.
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Rohstoffe
Rohstoffe
- Morphologie, Mineralogie und kompositorische Analysen von geologischen Proben
- Imaging und Analyse von Metallstrukturen, Frakturen und nichtmetallischen Einschlüssen
- Morphologische und kompositorische Analysen von chemischen Rohstoffen und Wirkstoffen bei Mikronisierungs- und Granulationsprozessen
Mineralogische Abbildung von Blauschiefer; Probe mit freundlicher Genehmigung von S. Owen
Mineralogische Abbildung von Blauschiefer; Probe mit freundlicher Genehmigung von S. Owen
Kupferschlackepartikel aus großer Kupferhütte in Sambia; Probe mit freundlicher Genehmigung von Petrolab, Großbritannien
Kupferschlackepartikel aus großer Kupferhütte in Sambia; Probe mit freundlicher Genehmigung von Petrolab, Großbritannien
Peralkaliner Granit, Nord-Québec (Kanada) mit Seltene-Erden-Anteilen, einschließlich einer Fluoritader, die die Probe durchschneidet, und abgegrenztem Zirkon.
Peralkaliner Granit, Nord-Québec (Kanada) mit Seltene-Erden-Anteilen, einschließlich einer Fluoritader, die die Probe durchschneidet, und abgegrenztem Zirkon.
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Materialwissenschaft
Materialwissenschaft
- Charakterisierung von leitfähigen und nichtleitenden Materialproben zu Forschungszwecken
Ausdehnung und Risse überspannendes Netzwerk von selbstheilenden Mineralien, abgebildet mit einem SE-Detektor bei 12 kV, zeigt blumenähnliche Hydromagnesitstrukturen.
Ausdehnung und Risse überspannendes Netzwerk von selbstheilenden Mineralien
abgebildet mit einem SE-Detektor bei 12 kV, zeigt blumenähnliche Hydromagnesitstrukturen.
Graphen-Schaum-Struktur eines Batteriesystems, abgebildet im Hochvakuum mit dem SE-Detektor.
Graphen-Schaum-Struktur eines Batteriesystems, abgebildet im Hochvakuum mit dem SE-Detektor.
Verbundwerkstoffe für die Luft- und Raumfahrt, abgebildet mit dem C2D-Detektor bei 10 kV im VP-Modus.
Verbundwerkstoffe für die Luft- und Raumfahrt, abgebildet mit dem C2D-Detektor bei 10 kV im VP-Modus.
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Biowissenschaften
Biowissenschaften
- Erforschung von Pflanzen, Tieren und Mikroorganismen
Falschfarbendarstellung von Mehltau auf der Oberseite eines Blatts, abgebildet mit dem C2DX-Detektor bei 570 Pa, Wasserdampf bei 1 °C, 20 kV.
Falschfarbendarstellung von Mehltau auf der Oberseite eines Blatts, abgebildet mit dem C2DX-Detektor bei 570 Pa, Wasserdampf bei 1 °C, 20 kV.
Detail eines Pseudoskorpions, abgebildet mit dem BSE-Detektor im Hochvakuum bei 20 kV.
Detail eines Pseudoskorpions, abgebildet mit dem BSE-Detektor im Hochvakuum bei 20 kV.
Baumpollen, abgebildet mit dem EP- und C2DX-Detektor bei knapp 100 % relativer Feuchte.
Baumpollen, abgebildet mit dem EP- und C2DX-Detektor bei knapp 100 % relativer Feuchte.
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Forensik
Forensik
- Schmauchspuren
- Analyse von Lack und Glas
- Gefälschte Banknoten und Münzen
- Vergleich von Haaren und Fasern
- Forensische Toxikologie
Geschmolzenes Glas, das auf einer Wolframwendel erstarrt ist, weist darauf hin, dass die Glühbirne zum Zeitpunkt des Vorfalls geleuchtet hat
Geschmolzenes Glas, das auf einer Wolframwendel erstarrt ist
weist darauf hin, dass die Glühbirne zum Zeitpunkt des Vorfalls geleuchtet hat
abgebildet mit dem C2D-Detektor bei 20 kV, 30 Pa.
Der C2D-Detektor erzeugt ausgezeichnete Bilder von unbeschichteten Proben im variablen Druckmodus
Der C2D-Detektor erzeugt ausgezeichnete Bilder von unbeschichteten Proben im variablen Druckmodus
was für forensische Vergleiche von Fasern ideal ist
Spur eines Schlagbolzens auf dem Schusswaffengehäuse
Die Spur eines Schlagbolzens auf dem Schusswaffengehäuse
kann zur Identifizierung der Waffe verwendet werden
Abgebildet mit dem SE-Detektor bei 10 kV.
Downloads
ZEISS EVO-Produktfamilie
Ihre modulare REM-Plattform mit intuitiver Bedienung fur Routine- und Forschungsanwendungen
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