ULTRA Rasterelektronenmikroskop

MERLIN Compact und SIGMA HD

Ersetzen Sie jetzt ULTRA und SUPRA FE-SEMs

ULTRA

  • Einführung

    Ultrahoch auflösendes FE-SEM für Analysen der Zusammensetzung auf Nanoebene

    Die ULTRA Serie von ZEISS mit einem GEMINI In-lens SE-Detektor für die Aufnahme klarer topographischer Bilder und einem EsB-Detektor für  die Darstellung von Materialkontrasten ermöglicht gleichzeitiges Echtzeit-Imaging und das Mischen beider Signale. Der EsB Detektor mit Filtertechnologie ermöglicht hochauflösendes Selective Backscattered Electron (BSE) -Imaging bei niedrigen Spannungen, um bislang unsichtbare Bilddetails sichtbar zu machen.

    In Kombination mit dem optionalen AsB (Angle selective Backscattered electron) Detektor für die Darstellung von Materialien und die Abbildung von   Kristallausrichtungen liefert das FE-SEM ULTRA hochauflösende Informationen im Nanomaßstab gemeinsam mit Informationen über  Oberflächentopographie, Zusammensetzung, Kristallausrichtung und magnetische Domänen.

    Entdecken Sie MERLIN Compact und SIGMA HD - die neuen Erweiterungen unserer MERLIN und SIGMA Produktfamilien. MERLIN Compact und SIGMA HD ersetzen die FE-SEMs ULTRA und SUPRA.

    Fragen Sie Ihren lokalen ZEISS Vertriebskontakt nach ULTRA FE-SEM!

  • Highlights

    Die wichtigsten Vorteile von ULTRA FE-SEM

    • Designimmanente Bedienungsfreundlichkeit für hohe Verlässlichkeit in Umgebungen mit mehreren Benutzern
    • Vollintegrierter EsB-Detektor für Informationen über die Zusammensetzung
    • BSE-Imaging mit niedriger Spannung bei geringem Arbeitsabstand: BR = 1mm
    • Ultrastabiler hoher Strahlstrom für Analyseanwendungen bis 100 nA @ 0,2%/h
    • GEMINI-Technologie mit hocheffizientem In-lens-Detektor für kontrasteiche topographische Aufnahmen
    • Kein Magnetfeld auf Probenebene
    • Überragende Auflösung und Bildqualität bei hohen und niedrigen Betriebsspannungen
    • Extrem breiter Betriebsspannungsbereich ab 0,02-30kV
    • Strahlstrom bis 100 nA
    • Auflösung im Subnanometerbereich bei 15 kV
    • Lokaler Ladungskompensator in ULTRA PLUS für die Abbildung nicht leitender Proben


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  • ULTRA PLUS

    Ladungskompensation - Ihr PLUS für nicht leitende Proben

    ULTRA PLUS von ZEISS ist die essenzielle und konsequente Weiterentwicklung unserer ULTRA Serie. Das System vereint die einzigartigen Detektionskapazitäten von ULTRA55 mit einem revolutionären Charge Compensation (CC) System für die Abbildung anspruchsvollster nicht leitender Proben. Das macht das System zu einem hochwertigen FE-SEM für alle Anwendungen der Bereiche Materialwissenschaft, Life Science und Halbleiter.


    Der vollautomatische Ladungskompensator kann in Verbindung mit allen von ULTRA55 her bekannten integrierten Detektoren wie EsB, In-lens, AsB und dem in der Kammer installierten Everhart-Thornley Detektor verwendet werden. Dank der einmaligen Kapazität beider In-lens-Detektoren auch im Ladungskompensationsmodus ist ZEISS ULTRA PLUS ein dediziertes nanoanalytisches Werkzeug für hochauflösende Bildgebung und Materialanalyse.


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