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ZEISS Xradia 610 und 620 Versa
3D-Röntgenmikroskope für schnellere Bildgebung intakter Proben im Sub-Mikrometerbereich

Wenn aus einer Forschungsaufgabe eine Entdeckungsreise wird.
Nutzen Sie eine nie dagewesene Vielseitigkeit für Ihre wissenschaftliche und industrielle Forschung mit den modernsten 3D-Röntgenmikroskopen der Xradia Versa-Produktfamilie von ZEISS.
Mit der branchenweit besten Auflösung und exzellentem Kontrast erweitern die Xradia-Modelle 610 und 620 Versa von ZEISS Ihre Möglichkeiten in der zerstörungsfreien Bildgebung im Sub-Mikrometerbereich.
Highlights
Erweitert die Grenzen von CT-Lösungen im Mikro- und Nanometerbereich
- Zerstörungsfreie Mikroskopie intakter Proben im Sub-Mikrometerbereich
- Höherer Fluss und schnellere Scans ohne Kompromisse bei der Auflösung
- Echte räumliche Auflösung von 500 nm mit einer erreichbaren minimalen Voxelgröße von 40 nm
- Hohe Auflösung über ein breites Spektrum an Probenarten, -größen und Arbeitsabständen
- In-situ-Bildgebung für zerstörungsfreie Charakterisierung der Mikrostrukturen in kontrollierten Umgebungen und im zeitlichen Verlauf
- Aufrüstbar und erweiterbar mit künftigen Innovationen und Entwicklungen
Höchste Auflösung und höchster Fluss
Wo die herkömmliche Tomographie auf eine einstufige geometrische Vergrößerung setzt, bietet Xradia Versa eine Kombination aus einer einzigartigen zweistufigen Vergrößerungsoptik und einer Strahlenquelle mit hohem Fluss, um Bilder mit einer Auflösung im Sub-Mikrometerbreich schneller zu erzeugen. Die RaaD-Architektur (Resolution at a Distance) ermöglicht hochauflösende 3D-Bildgebung größerer, dichterer Objekte einschließlich intakter Komponenten und Geräte. Die optionale Flat-Panel-Erweiterung (FPX) ermöglicht schnelle Scans sehr großer Proben (bis zu 25 kg), wodurch Regions of Interest (ROIs) im Inneren schneller identifiziert werden können.
Neue Freiheitsgrade
Nutzen Sie die branchenweit umfassendste Lösung für 3D-Röntgenbildgebung in der wissenschaftlichen und industriellen Forschung: maximieren Sie Absorption und Phasenkontrast, um eine nie dagewesene Charakterisierung Ihrer Materialien und deren Eigenschaften zu erreichen. Erhalten Sie Zugang zu kristallografischen 3D-Informationen durch Beugungskontrast-Tomographie. Verbessern Sie die Scangeschwindigkeit und genauigkeit großer oder ungewöhnlicher Proben mit modernen Aufnahmetechniken. Wenden Sie Machine Learning-Algorithmen an, um die Nachverarbeitung und Segmentierung Ihrer Proben zu erleichtern.
Erstklassige 4D-/ In Situ Lösung
Die ZEISS Xradia Versa-Modelle der 600-Serie können zerstörungsfrei die 3D-Mikrostruktur von Materialien unter kontrollierten Einflüssen (in situ) charakterisieren und die Entwicklung von Strukturen im Zeitverlauf (4D) beobachten. Durch den wirksamen Einsatz von Resolution at a Distance liefert Xradia Versa bei großen Arbeitsabständen stets die höchste Auflösung; so werden Probe, Klimakammer und hochpräzise In-situ-Vorrichtungen aufgenommen, ohne Abstriche bei der Auflösung zu machen. Versa lässt sich nahtlos mit anderen ZEISS-Mikroskopen integrieren, um Herausforderungen korrelativer Bildgebung mit unterschiedlicher Skalierung zu lösen.
Anwendungsbeispiele
ZEISS Xradia 610 und 620 Versa im Einsatz
Lithium-Ionen-Batterien
Typische Aufgaben und Anwendungen
- Rezeptentwicklung und Lieferkettenkontrolle: Inspektion intakter Proben zur effektiven Zuliefererkontrolle, Aufdeckung von Änderungen am Rezept oder Kosteneinsparungen, die Leistung oder Lebensdauer beeinflussen können
- Sicherheits- und Qualitätsprüfung: Identifikation von Schmutz, Partikelbildung, Graten am elektrischen Kontakt oder Schäden am Polymer-Separator
- Lebensdauer und Alterungseffekt: Längsschnittstudien der Alterungseffekte




Elektronik- und Halbleiterkomponenten
Typische Aufgaben und Anwendungen
- Durchführung von Struktur- und Schadensanalysen zur Prozessentwicklung, Ausbeuteverbesserung und Konstruktionsanalyse von modernen Halbleiter-Packages, einschließlich 2,5-/3D- und Fan-Out-Packages
- Analyse von Leiterplatten für Reverse Engineering und Hardware-Sicherheit
- Zerstörungsfreie Bildgebung über mehrere Längenskalierungen von Modul über Package bis zur Verbindung für die Charakterisierung von Schäden in Sub-Mikrometerauflösung in Geschwindigkeiten, die physikalische Querschnittsbildung ergänzen können
- Besseres Verständnis von Defektpositionen und -verteilungen durch Anzeige unbegrenzter virtueller Querschnitts- und Draufsichtbilder aus allen gewünschten Winkeln




Additive Fertigung
Typische Aufgaben und Anwendungen
- Detaillierte Form-, Größen- und Volumenverteilungsanalyse von Partikeln im Additive Manufacturing (AM)-Pulverbett zur Bestimmung korrekter Prozessparameter
- Hochauflösende, zerstörungsfreie Bildgebung für die mikrostrukturelle Analyse von AM-Teilen
- 3D-Bildgebung zum Vergleich mit CAD-Darstellung des Sollzustands
- Erkennung nicht geschmolzener Partikel, Hoch-Z-Einschlüsse und Lücken
- Analyse der Oberflächenrauigkeit innerer Strukturen, auf die mit anderen Methoden nicht zugegriffen werden kann




Materialforschung
Typische Aufgaben und Anwendungen
- Charakterisierung dreidimensionaler Strukturen
- Beobachtung von Fehlermechanismen, Degradationserscheinungen und internen Defekten
- Untersuchung von Eigenschaften bei unterschiedlichen Längenskalierungen
- Quantifizierung mikrostruktureller Entwicklung
- Durchführung von In-situ- und 4D-Studien (zeitabhängige Studien), um die Auswirkungen von Erwärmung, Abkühlung, Trocknung, Befeuchtung, Zug, Druck, Imbibition, Entwässerung und anderen simulierten Umwelteinflüssen zu verstehen




Rohstoffe
Typische Aufgaben und Anwendungen
- Durchführung von Multiskalenanalysen von Porenstruktur und Flüssigkeitsströmung
- Direkte Messung der Flüssigkeitsströmung auf Porenskala mithilfe von In-situ-Flussgeräten
- Analyse von Kristallstrukturen mithilfe von LabDCT Pro
- Partikelanalyse mit vollständiger 3D-Rekonstruktion
- Bergbauprozesse voranbringen: Analyse von Abraum zur Produktionsoptimierung im Bergbau; Durchführung thermodynamischer Auslaugprüfungen; Durchführung von QA-/QS-Analysen an Bergbauprodukten wie Eisenerz-Pellets
- Verständnis von der Orientierung von Körnern in Stahl und anderen Metallen




Biowissenschaften
Typische Aufgaben und Anwendungen
- 3D-Bildgebung biologischer Proben in ihren natürlichen Umgebungen
- Bildgebung von Pflanzenwurzeln in ihrer ursprünglichen Erde ohne spezielle Probenvorbereitung
- Bildgebung von empfindlichen Tieren und Pflanzen, gänzlich ohne Probenvorbereitung und -schnitt
- Bildgebung im Sub-Mikrometerbereich von festen Strukturen wie ganzen Samen




Ihr Einblick in die Technik dahinter
Zerstörungsfreie Bildgebung mit der branchenweit besten Auflösung und mit exzellentem Kontrast
Höchste Auflösung ohne Kompromisse
Übliche Röntgen-Computertomographie (CT) ist durch die geometrische Natur der Vergrößerung auf kleine Probengrößen beschränkt, wenn in hoher Auflösung abgebildet wird. Eine hohe Auflösung bei größeren Proben zu bewahren ist unmöglich, da mit längeren Arbeitsabständen gearbeitet werden muss. Hochauflösende Bildgebung erfordert bei CT-Systemen auch einen geringen Röntgenfluss, wodurch der Durchsatz der Messung reduziert wird. Dadurch wird die praktische Anwendbarkeit der maximalen Auflösung, die von den meisten CT-Herstellern angegeben wird, eingeschränkt.
ZEISS Xradia Versa der 600-Serie überwinden diese Kompromisse durch die Integration einer zweistufigen Vergrößerungsarchitektur, bei der eine Strahlenquellentechnologie mit hohem Fluss genutzt wird.
ZEISS gibt die wahre räumliche Auflösung an und bringt ein Standardmaß der Mikroskopleistung in die 3D-Röntgenmessung ein. Räumliche Auflösung bezieht sich auf den Mindestabstand, bei dem zwei Eigenschaften durch ein Bildgebungssystem aufgelöst werden können. ZEISS Xradia Versa-Systeme der 600-Serie bieten eine echte räumliche Auflösung von 500 nm mit einer erreichbaren minimalen Voxelgröße von 40 nm.

Strahlenquelle mit hohem Fluss
Zahlreiche Vorteile
Die ZEISS Xradia Versa-Modelle der 600-Serie führen eine bahnbrechende Strahlenquellentechnologie mit hoher Leistung (25 W) ein, die im Vergleich zu ihren Vorgängermodellen einen signifikant höheren Röntgenfluss liefern kann. Die neue Quelle erweitert die Leistungsgrenzen mit verbessertem Wärmemanagement sowie erhöhtem Fluss und Durchsatz, während gleichzeitig die Auflösungsleistung erhalten bleibt. Ein neues System zur Kontrolle der Strahlenquelle verbessert die Reaktionsfähigkeit, wodurch die Scaneinrichtung beschleunigt wird.
Die Vorteile auf einen Blick:
- Schnellere Tomographiescans
- Höherer Probendurchsatz
- Mehr Regions of Interest
- Verbessertes Kontrast-Rausch-Verhältnis
- Stärkere Beugungsmuster
- Möglichkeit von langen bzw. Multi-Scan-Arbeitsprozessen (in situ, DSCoVer, Stitching, DCT)

ZEISS Röntgenmikroskope
RaaD bietet viele Vorteile
ZEISS Xradia Versa verwendet eine zweistufige Vergrößerungsarchitektur, die für unterschiedlichste Probengrößen und -arten eine Bildgebungsauflösung im Sub-Mikrometerbereich bei großen Arbeitsabständen ermöglicht (Resolution at a Distance). Bilder werden zunächst wie bei konventionellem microCT mit geometrischer Projektion vergrößert. Das projizierte Bild wird anschließend auf einen Szintillator geworfen, der die Röntgenstrahlen in sichtbares Licht umwandelt. Dieses wird vor der Aufnahme durch einen CCD-Detektor mit Mikroskopoptik optisch vergrößert..
Dank mehr verfügbarer Röntgenphotonen liefert die ZEISS Xradia Versa 600-Serie Ergebnisse in kürzerer Zeit. Und das für eine breite Palette an Probengrößen/ arten und ohne Abstriche bei der Auflösung.

Konventionelle microCT-Architektur

ZEISS XRM – zweistufige Vergrößerungsarchitektur

Zubehör
Erweitern Sie die Möglichkeiten fortschrittlicher Materialcharakterisierung in 3D
LabDCT Pro
Entschlüsselung kristallographischer Informationen
LabDCT Pro (Beugungskontrast-Tomographie) ist ausschließlich auf dem Xradia 620 Versa verfügbar und ermöglicht zerstörungsfreies Mapping von Ausrichtung und Mikrostruktur in 3D. Direkte Visualisierung dreidimensionaler kristallografischer Korn-Orientierung eröffnet eine neue Dimension bei der Charakterisierung von polykristallinen Materialien wie Metalllegierungen, Geomaterialien, Keramiken oder Pharmaka.
- LabDCT Pro unterstützt jetzt Proben mit Kristallstrukturen von hoher kubischer Symmetrie bis hin zu Systemen mit geringerer Symmetrie, wie z.B. monokline Materialien.
- Erfassen Sie hochauflösende kristallografische Informationen mit dem speziellen 4X DCT-Objektiv. Für noch größere Proben können Sie mit der Flat Panel Extension (FPX) großflächiges Mapping durchführen und Ihren Durchsatz erhöhen.
- Umfassende 3D-Mikrostrukturanalyse anhand größerer repräsentativer Volumina und vielfältiger Probengeometrien
- Untersuchung der mikrostrukturellen Entwicklung mit 4D-Bildgebungsexperimenten.
- Kombination von kristallografischen 3D-Informationen mit 3D-Mikrostruktureigenschaften.
- Kombination von Modalitäten zum Verständnis der Beziehungen von Struktureigenschaften.

Einführung in SmartShield
Schützen Sie Ihre Probe, um den Versuchsaufbau zu optimieren
SmartShield ist eine Lösung, die Ihre Probe und Ihr Mikroskop schützt. Dieses automatische Kollisionsschutzsystem arbeitet innerhalb des Scout and Scan Control Systems. Es ermöglicht Ihnen, Xradia Versa sicherer als je zuvor zu navigieren. Wie es funktioniert - mit einem Knopfdruck erzeugt SmartShield eine Schutzschicht auf der Grundlage der Abmessungen Ihrer Probe.
Mit dem optionalen SmartShield profitieren Sie von:
- Verbesserte Bearbeitungseffizienz durch ein rationalisiertes Proben-Setup
- Verbesserte Benutzerfreundlichkeit nicht nur für Anfänger, sondern auch für erfahrene Benutzer
- Schützen Sie Ihre wertvollen Proben und Ihre Investition
- Keine Kompromisse bei der Qualität Ihrer Scans
Metrology Extension
Adding Measurement Accuracy to X-ray Microscopy
With the Metrology Extension (MTX) you turn your Xradia 620 Versa into a verified measurement accuracy system far beyond the limits of conventional CT technology. This is essential for academic and industrial labs where miniaturization and integration of components drive a growing demand for high-resolution metrology. Benefit from high resolution X-ray imaging combined with high-precision metrology.

Reveal Smallest Dimensions
Measure them Most Accurately
- Leading CT metrology accuracy: Calibrated with MTX, ZEISS Xradia Versa provides a market-leading maximum permissible error value of MPESD = (1.9 + L/100) μm for measurements in small-scale volumes, where L is the measured length in mm.
- Small volumes at high resolution: MTX enables measurements with high dimensional accuracy within small reconstructed volumes of 125 mm3.
- Simple calibration workflow: The MTX package provides an integrated user-guided calibration workflow.
- Once the calibration routine has been executed, you perform precise measurements and make the data available to standard metrology software for further processing.

Flat-Panel-Erweiterung
Abbildung noch größerer Proben mit hohem Durchsatz

Die optionale Flat-Panel-Erweiterung (FPX) ermöglicht Scans von großen Proben mit hohem Durchsatz und der herausragenden Bildqualität von ZEISS. FPX verbessert die Bildgebungsflexibilität und steigert die Effizienz Ihrer Arbeitsprozesse mit einem umfassenden System für industrielle und wissenschaftliche Forschung.
Scout-and-Zoom ist eine einzigartige Fähigkeit der Röntgenmikroskope von ZEISS, die FPX wirksam einsetzen, um explorative "Scout"-Scans über ein großes Sehfeld durchzuführen. So werden innere Regions of Interest identifiziert, bei denen ohne komplexe Probenvorbereitung hochauflösende "Zoom"-Scans durchgeführt werden können.
FPX ermöglicht außerdem einen hohen Durchsatz und großflächige Mapping-Funktionen für LabDCT Pro.
In Situ Experimente
Die Grenzen des wissenschaftlichen Fortschritts werden neu gesetzt
ZEISS Xradia Versa ist die branchenführende 3D-Bildgebungslösung für die verschiedensten In-situ-Vorrichtungen von Hochdruck-Flusszellen bis hin zu Spannungs-, Kompressions- und Thermo-Stages.
Der Einsatz unterschiedlicher Arten von In-situ-Vorrichtungen erfordert, Proben für solche Experimente weiter von der Strahlenquelle entfernt zu befestigen. Bei herkömmlichen microCT-Systemen schränkt das die Auflösung, die bei solchen Messungen erreicht werden kann, erheblich ein. Nur ZEISS Röntgenmikroskope verfügen über die einzigartige RaaD-Technologie (Resolution at a Distance), mit der die beste Abbildungstreue von 3D-Strukturinformationen bei der In-situ-Bildgebung erreicht wird.

Autoloader
Mehr Effizienz beim Handling von Proben

Maximieren Sie die Nutzung Ihres Systems mit dem optional erhältlichen Autolader, der für alle Modelle der ZEISS Xradia Versa-Reihe erhältlich ist. Reduzieren Sie die Häufigkeit von Nutzerinteraktionen und erhöhen Sie die Produktivität, indem Sie mehrere Aufgaben in eine Warteschlange stellen. Laden Sie bis zu 14 Probenstationen, die bis zu 70 Proben unterstützen, und lassen Sie die Bearbeitung über Nacht oder über mehrere Tage hinweg laufen. Beispiellose mechanische Stabilität ermöglicht hochvolumiges, quantitatives und repetitives Scannen gleichartiger Proben.
Weitfeldmodus
Größere Proben flexibel abbilden

Mit dem Weitfeldmodus (WFM) können Abbildungen über ein erweitertes laterales Sehfeld erstellt werden. Das breite laterale Sehfeld bietet ein bis zu 3-fach größeres 3D-Volumen bei großen Proben oder eine höhere Voxeldichte bei einem Standardsehfeld. Alle Xradia Versa-Systeme unterstützen WFM mit dem 0,4-fach-Objektiv. Das Xradia 620 Versa-System verfügt zudem über WFM mit dem 4-fach-Objektiv. Zusammen mit Vertical Stitching können mit WFM größere Proben in ungewöhnlich hoher Auflösung abgebildet werden.
Automatischer Filterwechsler
Einfachere Untersuchung schwieriger Proben

Mit Neutraldichtefiltern für die Strahlenquelle wird das Röntgenenergiespektrum auf den jeweils optimalen Kontrast eingestellt, der von den spezifischen Materialeigenschaften der Probe abhängig ist. Jedes ZEISS Xradia Versa ist standardmäßig mit einem Satz von 12 Filtern ausgestattet. Das ZEISS Xradia 610 Versa ist mit einem einzelnen Filtereinschub ausgestattet, über den ein manueller Filterwechsel möglich ist. ZEISS Xradia 620 Versa-Systeme enthalten einen automatischen Filterwechsler, der die Nutzung vereinfacht und den nahtlosen Wechsel von Filtern zur einfachen Untersuchung unbekannter Proben ermöglicht.
Die Xradia Versa 600-Serie
ZEISS Xradia 610 Versa | ZEISS Xradia 620 Versa | |
---|---|---|
Räumliche Auflösunga |
500 nm |
500 nm |
Resolution at a Distance (RaaD™)a,b |
1.0 μm |
1.0 μm |
Erzielbare Voxel-Mindestgrößec |
40 nm |
40 nm |
Spannungsbereich der Elektronenquelle |
30–160 kV |
30–160 kV |
Maximale Leistung der Elektronenquelle |
25 W |
25 W |
Scout-and-Scan™ Kontrollsystem |
✓ |
✓ |
Scout-and-Zoom |
✓ |
✓ |
SmartShield |
✓ |
✓ |
Vertical Stitch |
✓ |
✓ |
XRM Python API |
✓ |
✓ |
Automatischer Filterwechsler (AFC) |
|
✓ |
High Aspect Ratio Tomography (HART) |
|
✓ |
Dual Scan Contrast Visualizer (DSCoVer) |
|
✓ |
Weitfeldmodus |
0,4-fach |
0,4-fach und 4-fach |
ZEISS LabDCT Pro für Beugungskontrasttomographie |
|
Optional |
ZEISS Autoloader |
Optional |
Optional |
In Situ Verbindungskit |
Optional |
Optional |
ZEISS OptiRecon |
Optional |
Optional |
ZEISS ZEN Intellesis |
Optional |
Optional |
ORS Dragonfly Pro |
Optional |
Optional |
ZEISS Metrology Extension (MTX) |
|
Optional |
a Räumliche Auflösung gemessen mit ZEISS Xradia 2D Sollauflösung, Normalfeldmodus, optionales 40-fach-Objektiv.
b RaaD™-Arbeitsabstand definiert als Freiraum um die Drehachse.
c Voxel ist ein Begriff aus der Geometrie, der zur Auflösung beiträgt, diese aber nicht bestimmt, und wird hier nur als Vergleich angegeben. ZEISS gibt die Auflösung über die räumliche Auflösung an, die tatsächliche Gesamtangabe der Auflösung eines Instruments.
Schützen Sie Ihre Investition
ZEISS Röntgenmikroskope können aufgerüstet und mit künftigen Innovationen und Entwicklungen erweitert werden. Auf diese Weise können Sie auch zukünftig auf Ihrem System von den Fortschritten modernster Mikroskoptechnologie profitieren. Vom ZEISS Xradia Context microCT zum ZEISS Xradia 510/520 Versa und nun mit den neuen ZEISS Xradia 610/620 Versa-Modellen. So können Anwender ihre im Betrieb befindlichen Systeme auf die neueste Röntgenmikroskop-Technologie aktualisieren.

Software
Erstellen Sie effiziente Arbeitsabläufe mit Hilfe des einfachen Steuerungssystems
Einfaches Auffinden einer Region of Interest und Spezifizieren von Scan-Parametern innerhalb des Scout-and-Scan-Kontrollsystems. Nutzen Sie die Vorteile des einfach zu bedienenden Systems in Ihrem Zentrallabor, in dem die Benutzer unterschiedliche Vorkenntnisse haben können.
Profitieren Sie von:
- Interne Kamera zur Probenbetrachtung
- Programmsteuerung (setzen, speichern, abrufen)
- Unterschiedliche Energiequellen
- Verschiedene Proben mit Autoloader-Option
- Mikropositionierung mit einem einfachen Mausklick


Visualisierungs- und Analyse-Software
ZEISS empfiehlt Dragonfly Pro von Object Research Systems (ORS)
Die erweiterte Analyse-und Visualisierungs-Software für Ihre 3D Datensätze aus verschiedensten Technologien einschließlich Röntgenmikroskopie, FIB-SEM, SEM und Helium-Ionen-Mikroskopie.
Dragonfly Pro, ehemals Visual SI Advanced benannt, bietet eine High-Definition Visualisierungstechnik und branchenführende Graphik. Dragonfly Pro unterstützt eine Anpassung durch einfaches Python-Scripting. Anwender haben nun die totale Kontrolle über ihre 3D-Datennachbearbeitung und Workflows.
Downloads
3D Imaging Systems
Your Guide to the Widest Selection of Optical Sectioning, Electron Microscopy and X-ray Microscopy Techniques.
Seiten: 68
Dateigröße: 5952 kB
ZEISS Xradia 610 and 620 Versa
Your 3D X-ray Microscopes for Faster Sub-Micron Imaging of Intact Samples
Seiten: 41
Dateigröße: 11338 kB
Flyer: ZEISS DeepRecon Pro for Electronics and Failure Analysis
Faster 3D X-ray data acquisition and superior imaging quality for electronics failure analysis
Seiten: 2
Dateigröße: 1063 kB
Metrology Extensionfor ZEISS Xradia Versa
Adding measurement accuracy to X-ray microscopy.
Seiten: 4
Dateigröße: 812 kB
ZEISS DeepRecon
Faster throughput, superior image qualityfor industry
Seiten: 2
Dateigröße: 1780 kB
ZEISS Mineralogic 3D
The next dimension in automated mineralogy
Seiten: 2
Dateigröße: 1482 kB
ZEISS Mineralogic 3D for Mining - Flyer
Your geometallurgy goals realized with maximum efficiency
Seiten: 2
Dateigröße: 677 kB
ZEISS ORS Dragonfly
Outstanding 3D visualization with best-in-class graphics
Seiten: 2
Dateigröße: 689 kB
ZEISS PhaseEvolve
Reveal contrast that has never been seen before
Seiten: 2
Dateigröße: 2110 kB
ZEISS Xradia Versa with FPX
Larger samples, higher throughput
Seiten: 2
Dateigröße: 1729 kB
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