Prozesskontroll-Lösungen

ZEISS betritt neuen Markt mit Prozesskontroll-Lösungen für Halbleiterkunden

OBERKOCHEN, PLEASANTON/California/USA , 10. Juli 2017.

ZEISS setzt seine Wachstumsstrategie mit der Erschließung eines neuen Marktes innerhalb der Halbleiterindustrie fort: Mit seinen einzigartigen Kerntechnologien und Netzwerken adressiert ZEISS die Bedürfnisse von Kunden der Halbleiterindustrie. Der neu gegründete Geschäftsbereich Process Control Solutions (PCS), der Teil des ZEISS Unternehmensbereichs Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) ist, nutzt dafür bewährte Innovationen aus dem Bereich Mikroskopie, für die der Optikkonzern bekannt ist.

“Wir sehen in der Halbleiterindustrie einen starken Trend hin zu komplexen 3D-Chipstrukturen und neuen Materialien”, erklärt Dr. Karl Lamprecht, Leiter des Unternehmensbereichs SMT. “Existierende Prozesskontroll-Lösungen sind hier wenig effektiv. Hinzu kommt: Die Entwicklungszyklen werden immer länger und die damit verbundenen Kosten steigen stetig. Unsere Halbleiterkunden brauchen daher Lösungen zur effizienten Prozesskontrolle, die ganzheitliche und nachvollziehbare Informationen liefern, um Fehler bei der Chipherstellung schneller beheben und so die Produktion beschleunigen zu können. ZEISS verfügt über die Technologien und das Know-how, um diese Kundenherausforderungen zu erfüllen.“

Durch die fortschreitende Miniaturisierung von Chipstrukturen, immer komplexere Designs und die Vielzahl einzelner Arbeitsschritte wird der Halbleiterherstellungsprozess stets anspruchsvoller. Schnelle und kosteneffiziente Prozesskontroll-Lösungen spielen daher eine wesentliche Rolle, um die Funktionsfähigkeit von Halbleiterbausteinen sicherzustellen. Mit einem breiten Produktportfolio deckt ZEISS als führender Systemanbieter im Markt bereits verschiedene Schlüsselprozesse bei der Herstellung von Mikrochips ab. Zum Produktportfolio zählen Halbleiterfertigungs-Optiken – darunter Lithographie-Optiken und Systeme zur Vermessung und Reparatur von Photomasken. Sein weltweit führendes Know-how als Lieferant von Halbleiterfertigungsequipment bringt das Unternehmen jetzt auch in den Markt für Prozesskontroll-Lösungen für die Halbleiterindustrie ein.

Der Geschäftsbereich PCS nutzt dafür das vorhandene Portfolio, inklusive eigener Kerntechnologien von ZEISS basierend auf Mikroskopie-Produkten und entwickelt diese weiter, um Bedarfe von Forschungseinrichtungen („Labs“) und Industriekunden („Fabs“) aus dem Halbleiterbereich abzudecken. Die angebotenen Schlüsselprodukte basieren auf den Elektronenmikroskopie-Technologien ZEISS Crossbeam und ZEISS MultiSEM (Multi-Scanning Electron Microscope), der Ionenstrahl-Technologie ZEISS ORION NanoFab sowie auf ZEISS Xradia Versa und ZEISS Xradia Ultra Röntgenmikroskopie-Systemen zur zerstörungsfreien 3D-Abbildung und -Analyse. Prozesskontroll-Lösungen werden für das gesamte Spektrum der Prozessschritte im Chipherstellungsprozess angeboten, inklusive Front-End-of-Line (FEOL), Back-End-of-Line (BEOL), Packaging und Montage.

“Unsere Anwendungen im Bereich Prozesskontrolle bieten ganzheitliche Lösungen inklusive der notwendigen strukturellen, chemischen wie auch elektronischen Informationen. Mit der Gründung des Geschäftsbereiches PCS haben unsere Kunden aus der Halbleitertechnik nun einen Ansprechpartner, um ihre Anforderungen in Sachen Prozesskontrolle nahtlos mit integrierten Technologien zu meistern. Damit unterstützen wir sie dabei, ihre Produkte schneller auf den Markt zu bringen“, sagt Dr. Raj Jammy, der den Geschäftsbereich PCS bei ZEISS am Standort Pleasanton leitet.

Dr. Jammy, der seit mehr als 20 Jahren in der Halbleiterindustrie tätig ist, stieg im Februar 2016 bei ZEISS ein. Der promovierte Elektrotechniker startete seine Karriere bei IBM in New York und war danach bei SEMATECH, einem internationalen Konsortium von Chipherstellern und -lieferanten, und bei Intramolecular, einem Unternehmen mit Fokus auf spezialisierte Prozesstechnologien. Dr. Jammy und sein Team werden in den Bereichen Halbleiterkontrolle und -prüfung, Fehleranalyse, Defekterkennung, 3D-Tomographie sowie Prozesscharakterisierung und -analyse sehr eng mit den Kunden weltweit zusammenarbeiten.

Zu diesem Zweck hat ZEISS Mitte Juni das neue Customer Center Bay Area in Pleasanton (Kalifornien) eröffnet. Unweit des Silicon Valley steht in diesem Kundencenter das gesamte Portfolio aus Licht-, Ionen-, Elektronen- und Röntgenmikroskopie, die in der Halbleiterindustrie zur Anwendung kommen, zur Verfügung – für Produktdemonstrationen, zur Anwendungsentwicklung und für Schulungen.

Vom 11. bis 13. Juli präsentiert ZEISS seine neuesten Mikroskopie-Anwendungen und Lösungen für die Halbleiterherstellung auf der Messe SEMICON West, im Moscone Convention Center in San Francisco, Kalifornien. Interessierte Messebesucher können ZEISS am Messestand #5214 in Halle Nord besuchen.

Mehr Informationen finden Sie hier.


Im Customer Center Bay Area in Pleasanton (USA), steht das gesamte Portfolio aus Licht-, Ionen-, Elektronen- und Röntgenmikroskopie, die in der Halbleiterindustrie zur Anwendung kommen, zur Verfügung – für Produktdemonstrationen, zur Anwendungsentwicklung und für Schulungen

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Ansprechpartner für die Presse

Ilka Hauswald
Semiconductor Manufacturing Technology
Tel.: +49 7364 20-9231
ilka .hauswald @zeiss .com





Über ZEISS

ZEISS ist ein weltweit tätiger Technologiekonzern der optischen und optoelektronischen Industrie. Die ZEISS Gruppe entwickelt, produziert und vertreibt Messtechnik, Mikroskope, Medizintechnik, Brillengläser sowie Foto- und Filmobjektive, Ferngläser und Halbleiterfertigungs-Equipment. Mit seinen Lösungen bringt der Konzern die Welt der Optik weiter voran und gestaltet den technologischen Fortschritt mit. ZEISS ist in die vier Sparten Research & Quality Technology, Medical Technology, Vision Care/Consumer Products und Semiconductor Manufacturing Technology gegliedert. Die ZEISS Gruppe ist in über 40 Ländern vertreten und hat weltweit mehr als 50 Vertriebs- und Servicestandorte, über 30 Produktionsstandorte sowie rund 25 Forschungs- und Entwicklungsstandorte.

Im Geschäftsjahr 2015/16 erzielte der Konzern mit über 25.000 Mitarbeitern einen Umsatz von rund 4,9 Milliarden Euro. Sitz des 1846 in Jena gegründeten Unternehmens ist Oberkochen. Die Carl Zeiss AG führt die ZEISS Gruppe als strategische Management-Holding. Alleinige Eigentümerin der Gesellschaft ist die Carl-Zeiss-Stiftung.


Weitere Informationen unter www.zeiss.de






Semiconductor Manufacturing Technology

Die Sparte Semiconductor Manufacturing Technology deckt mit einem breiten Produktportfolio und weltweit führendem Know-how verschiedene Schlüsselprozesse bei der Herstellung von Mikrochips ab. Zu den Produkten des Bereichs zählen Halbleiterfertigungs-Optiken – darunter Lithographie-Optiken –, Photomasken-Systeme sowie Prozesskontroll-Lösungen für die Halbleiterindustrie. Dank der ZEISS Technologien werden Mikrochips zunehmend leistungsfähiger, energieeffizienter und preiswerter. Die damit ausgestatteten elektronischen Anwendungen ermöglichen globalen Fortschritt in verschiedenen Disziplinen, darunter Technologie, Elektronik, Kommunikation, Unterhaltung, Mobilität und Energie.

Hauptsitz von Semiconductor Manufacturing Technology ist Oberkochen. Weitere Standorte der Sparte sind Jena, Roßdorf und Wetzlar in Deutschland sowie Karmiel (Israel) und Pleasanton (USA). Im Geschäftsjahr 2015/16 erzielte die Sparte einen Umsatz von 972 Millionen Euro und beschäftigte rund 2.700 Mitarbeiter.






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