ZEISS Semiconductor Manufacturing Optics
innovationMADE BY ZEISS
Neue Wege beschreiten – für die Mikrochips von Morgen. Semiconductor Manufacturing Optics
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Halbleiterfertigungs-Optiken (teilweise in Deutschland nicht vertrieben)

Lithographie ist einer der wichtigsten Schlüsselprozesse bei der Herstellung von Mikrochips. Dank der ZEISS Lithographie-Optiken können Chiphersteller weltweit ihre Wafer mit Nanometer-Präzision belichten – die Basis für die Fertigung von extrem leistungsfähigen Mikrochips.

Lithographie-Optiken leisten einen entscheidenden Beitrag: Die Güte und Form des Beleuchtungssystems sowie das Auflösungsvermögen der Projektionsoptik bestimmen mit darüber, wie klein die Strukturen auf einem Mikrochip sein können. Neben Lithographie-Optiken gehören auch Mirrorblocks zum ZEISS Produktangebot. Mithilfe dieser Komponenten wird der Wafer während des Belichtungsvorgangs im Waferscanner gehalten und exakt positioniert.

Das ZEISS Halbleiterfertigungs-Portfolio wird durch verschiedene weitere optische Module ergänzt, die ebenfalls im Bereich der Halbleiterherstellung zum Einsatz kommen.

 

Lithographie bei 13,5 Nanometern (EUV)

Die Lithographie mit EUV-Licht (Extreme Ultraviolet) bei einer Wellenlänge von 13,5 Nanometern ermöglicht den nächsten Technologiesprung im Bereich der Nanoelektronik.

Lithographie bei 193 Nanometern (ArF)

Lithographie-Optiken für die Lichtwellenlänge 193 Nanometer – mit und ohne Immersion – bei Verwendung eines Excimerlasers mit Argonfluorid (ArF) sind weltweit im Einsatz.

Lithographie bei 248 Nanometern (KrF)

Eine weitere Gruppe sind Lithographie-Optiken, die bei einer Lichtwellenlänge von 248 Nanometern betrieben werden. Das Licht wird von Kryptonfluorid-(KrF)-Excimerlasern erzeugt.

Lithographie bei 365 Nanometern (I-Line)

Der Unternehmensbereich Semiconductor Manufacturing Technology bietet ebenfalls Lithographie-Optiken für die Wellenlänge 365 Nanometer.

OEM-Optiksysteme

ZEISS entwickelt und fertigt optische Komponenten und Module für international führende OEM-Spezialisten der Halbleiterindustrie.

Synchrotronoptik

Mit den individuell auf Kundenbedürfnisse zugeschnittenen Synchrotronoptiken arbeiten verschiedene Forschungsinstitute weltweit.

Publikationen

Forschung und Innovationen: Die Weiterentwicklung unserer Hightech-Produkte ist für uns essenziell. Lesen Sie hier Veröffentlichungen und zentrale Forschungsarbeiten aus dem Bereich Halbleiterfertigungs-Equipment.