Starlith® EUV-Optik (in Deutschland nicht vertrieben)

Im April 2012 wurde erstmals ein Gesamtsystem der ZEISS Starlith EUV-Optik an den strategischen Partner des ZEISS Unternehmensbereichs Semiconductor Manufacturing Technology, die niederländische Firma ASML, ausgeliefert und in einen Waferscanner integriert. Als Teil des Waferscanners zur Strukturierung von Mikrochips hat die Starlith EUV-Optik eine Performance für Auflösungen unter 30 Nanometern gezeigt.

ZEISS ist der weltweit führende Hersteller von Lithographie-Optiken mit EUV-Technologie.