MCS UV-NIR

Mehrkanal-Spektrometer

MCS UV-NIR

Mehrkanal-Spektrometer

  • Einführung

    Die Spektrometer der MCS-Familie verbinden Robustheit mit hoher Reproduzierbarkeit und außergewöhnlich gutem Auflösungsvermögen. Die Geräte eignen sich für zahlreiche Anwendungen und bieten effiziente Leistung ebenso im Labor wie in der Prozessanalyse. Sie lassen sich direkt in At-line-, On-line- und In-line-Kontrollprozesse integrieren. Sie liefern schnelle und präzise Resultate bei Fluoreszenz- oder Schichtdickenmessungen und in der Plasmaspektroskopie. Die CCD- oder PDA-Sensoren bieten höchste Empfindlichkeit im UV- bis NIR-Bereich und sind besonders empfindlich in der Detektion bei geringer Lichtstärke.

     

    Komponenten der MCS-Familie

    • Faserquerschnittswandler bzw. Spalt als optischer Eingang
    • Abbildendes, aberrationskorrigiertes Gitter
    • Fotodiodenarray bzw. Back-thinned-CCD als optoelektronischer Ausgang, mit dem Zentralkörper verklebt
    • Schnittstellen, Verarbeitungssoftware und Support

     

  • Highlights

    Nutzen

    • Unempfindlich gegenüber externen Einflüssen
    • Präzise Messungen
    • Extrem geringe temperaturbedingte Drift
    • Wenig Falschlicht
    • Kompakte und robuste Bauweise

     

  • Aufbau
    • Silizium-Fotodiodenarray S3904-512Q oder 1024Q Detektor von Hamamatsu (PDA)
    • Das Diodenarray ist direkt mit einem dielektrischen Kantenfilter beschichtet
    • Back-thinned-CCDs S7301-0906Q oder 1006Q von Hamamatsu (CCD) für ausgezeichnete direkte Empfindlichkeit gegenüber UV-Licht
    • Integriertes Peltierelement zur Reduzierung des Dunkelstroms
    • Keramikgehäuse
    • Aberrationskorrigiertes Gitter, Querschnittswandler bzw. mechanischer Spalt und Detektor sind direkt mit dem Gehäuse verbunden
    • Holografisch optimierte Flat-Field-Gitter
    • Holografische Aberrationskorrektur der Gitter für ebene Spektren über eine Länge von 25 nm
    • Lichtwellenleiter mit numerischen Aperturen bis 0,22 als optischer Eingang
    • Faserbündel-Querschnittswandler zur Umwandlung eines Strahlenbündels mit kreisförmigem Querschnitt in eines mit spaltförmigem Querschnitt
    • Lüftergekühlter Kühlkörper
  • Technische Daten
      MCS PDA MCS CCD
    Optischer Eingang Querschnittswandler Querschnittswandler
    Eingang rund Durchmesser = 0,5 mm, NA = 0,22-SMA-Anschluss
     
                         
    Durchmesser = 0,5 mm, NA = 0,22-SMA-Anschluss
    Ausgang linear 70 µm x 2.400 µm 70 µm x 1.400 µm
    Gitter Flat-Field, optimiert auf ca.
     
        250 nm (UV-Version)
     
        450 nm (VIS-Version)
     
        750 nm (NIR-Version)
     
       
    Flat-Field, optimiert auf ca.
     
        250 nm (UV-Version)
     
                         
     
                         
    Spektralbereich 190–1.015 nm (andere Optionen erhältlich)
     
                         
    190-980 nm (andere Optionen erhältlich)
     
                         
    Wellenlängenrichtigkeit 0,3 nm 0,5 nm
    Temperaturbedingter Drift < 0,005 nm/K < 0,01 nm/K
    Mittlerer spektraler Pixelabstand Δ λ Pixel ≈ 0,8 nm Δ λ Pixel ≈ 0,8 nm
    Auflösung Δλ FWHM ≈ 3 nm (UV-Version)

    Δλ FWHM ≈ 3–4 nm (UV-NIR-Version)
     
                         
    Δλ FWHM ≈ 3 nm (UV-Version)

    Δλ FWHM ≈ 3–4 nm (UV-NIR-Version)
     
                         
    Falschlicht ≤ 0,1 % gemessen bei 340 nm mit Deuteriumlampe (Transmission von NaNO2-Lösung, 50 g/l, 1 cm) ≤ 0,1 % gemessen bei 340 nm mit Deuteriumlampe (Transmission von NaNO2-Lösung, 50 g/l, 1 cm)
    Abmessungen 140 x 105 x 75 mm³
     
                       
    177 x 178 x 75 mm³
     
               
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