MCS FLEX UV-NIR

Mehrkanal-Spektrometer

MCS FLEX UV-NIR

Flexibles Mehrkanal-Spektrometer

  • Einführung

    Das MCS-FLEX-System wurde für mobile Hochleistungsmessungen entwickelt. Es liefert im Labor ebenso wie in der Prozessüberwachung präzise Resultate. Durch seine flexible Bauweise eignet es sich für zahlreiche Anwendungen und kann direkt in At-line-, On-line- und In-line-Inspektionsprozesse integriert werden. Je nach Anwendung sind verschiedene Designs des Zentralkörpers erhältlich. Querschnittswandler und Detektoren sind auf Anfrage problemlos anpassbar.

     

    Komponenten der MCS-FLEX-Familie

    • Faserquerschnittswandler bzw. Spalt als optischer Eingang
    • Abbildendes, aberrationskorrigiertes Gitter
    • Photodiodenarray bzw. Back-thinned-CCD als opto-elektronischer Ausgang, mit dem Zentralkörper verklebt
    • Schnittstellen, Verarbeitungssoftware und Support

     

  • Highlights

    Nutzen

    • Kompaktes Design
    • Bemerkenswert geringes Gewicht
    • Unempfindlichkeit gegenüber externen Einflüssen
    • Flexible Modulplatzierung
    • Geringe temperaturbedingte Drift
    • Wenig Streulicht
  • Aufbau
    • Silizium-Photodiodenarray S3904-1024Q von Hamamatsu (MCS FLEX PDA)
    • Zur Unterdrückung von Beugungen höherer Ordnung ist das Diodenarray direkt mit einem dielektrischen Kantenfilter beschichtet
    • Back-thinned-CCD S7301-1006Q von Hamamatsu für ausgezeichnete direkte Empfindlichkeit gegenüber UV-Licht (MCS FLEX CCD)
    • Integriertes Peltierelement zur Reduzierung des Dunkelstroms
    • Zentralkörper aus spezieller Aluminiumlegierung
    • Aberrationskorrigiertes Gitter, Querschnittswandler bzw. mechanischer Spalt und Detektor sind für Robustheit und hervorragende Stabilität direkt mit dem Gehäuse verbunden
    • Holografisch geblazte Flat-Field-Gitter
    • Holografische Aberrationskorrektur der Gitter für ebene Spektren über eine Länge von 25 nm
    • Diffraktionseffizienz der Gitter durch reaktives Ionenstrahlätzen (RIBE) optimiert
    • Lichtwellenleiter mit numerischen Aperturen bis 0,22 als optischer Eingang verwendbar
    • Faserbündel-Querschnittswandler zur Umwandlung eines Strahlenbündels mit kreisförmigem Querschnitt in eines mit spaltförmigem Querschnitt
    • Gesamtgröße des Spalts an die Pixelgröße des verwendeten Diodenarrays und an die Abbildungs- und Dispersionseigenschaften des Flat-Field-Gitters angepasst
    • Lüftergekühlter Kühlkörper
  • Video
  • Technische Daten
      MCS FLEX PDA MCS FLEX CCD
    Optischer Eingang Querschnittswandler Querschnittswandler
    Eingang rund Durchmesser = 0,5 mm NA = 0,22 (muss für Einhaltung des Angabewerts gefüllt sein), gefasst in SMA-Kupplung Durchmesser = 0,5 mm NA = 0,22 (muss für Einhaltung des Angabewerts gefüllt sein), gefasst in SMA-Kupplung
    Gitter Flat-Field-Korrektur 248 l/mm (im Zentrum), geblazt auf ca. 250 nm UV-Version 750 nm NIR-Version Flat-Field-Korrektur 248 l/mm (im Zentrum), geblazt auf ca. 250 nm
    Diodenarray Hamamatsu S 3904-1024Q; 1.024 Pixel Hamamatsu S 7031-1006; 1.044 x 64 Pixel
    Spektralbereich 190–1.015 nm (andere Optionen erhältlich) 190–980 nm (andere Optionen erhältlich)
    Wellenlängenrichtigkeit 0,3 nm 0,5 nm
    Temperaturbedingte Drift < 0,009 nm/K < 0,009 nm/K
    Mittlerer spektraler Pixelabstand Δ λ Pixel ≈ 0,8 nm Δ λ Pixel ≈ 0,8 nm
    Auflösung Δ λ FWHM ≈ 3–4 nm Δ λ FWHM ≈ 3–4 nm 
    Streulicht 0,1 % gemessen bei 340 nm mit Deuteriumlampe (Transmission von NaNO2-Lösung, 50 g/l, 1 cm) 0,1 % gemessen bei 340 nm mit Deuteriumlampe (Transmission von NaNO2-Lösung, 50 g/l, 1 cm)
    Abmessungen 160,3 x 62 x 122,2 mm³ 198 x 68 x 122 mm³ (langer Querschnittswandler)
     
    160,3 x 68 x 122 mm³ (kurzer Querschnittswandler)               
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