MGS-FLEX-Multi-Channel-Spektrometer für industrielle Anwendungen im UV-NIR-Wellenlängenbereich

Einführung

Das MCS-FLEX-System wurde für mobile Hochleistungsmessungen entwickelt. Es liefert im Labor ebenso wie in der Prozessüberwachung präzise Resultate. Durch seine flexible Bauweise eignet es sich für zahlreiche Anwendungen und kann direkt in At-line-, On-line- und In-line-Inspektionsprozesse integriert werden. Je nach Anwendung sind verschiedene Designs des Zentralkörpers erhältlich. Querschnittswandler und Detektoren sind auf Anfrage problemlos anpassbar.

Komponenten der MCS-FLEX-Familie

Faserquerschnittswandler bzw. Spalt als optischer Eingang
Abbildendes, aberrationskorrigiertes Gitter
Fotodiodenarray bzw. Back-thinned-CCD als optoelektronischer Ausgang, mit dem Zentralkörper verklebt
Schnittstellen, Verarbeitungssoftware und Support

Highlights

Nutzen

Kompaktes Design
Bemerkenswert geringes Gewicht
Unempfindlichkeit gegenüber externen Einflüssen
Flexible Modulplatzierung
Geringe temperaturbedingte Drift
Wenig Falschlicht

Aufbau

Silizium-Fotodiodenarray S3904-1024Q von Hamamatsu (MCS FLEX PDA)
Zur Unterdrückung von Beugungen höherer Ordnung ist das Diodenarray direkt mit einem dielektrischen Kantenfilter beschichtet
Back-thinned-CCD S7301-1006Q von Hamamatsu für ausgezeichnete direkte Empfindlichkeit gegenüber UV-Licht (MCS FLEX CCD)
Integriertes Peltierelement zur Reduzierung des Dunkelstroms
Zentralkörper aus spezieller Aluminiumlegierung
Aberrationskorrigiertes Gitter, Querschnittswandler bzw. mechanischer Spalt und Detektor sind für Robustheit und hervorragende Stabilität direkt mit dem Gehäuse verbunden
Holografisch optimierte Flat-Field-Gitter
Holografische Aberrationskorrektur der Gitter für ebene Spektren über eine Länge von 25 nm
Diffraktionseffizienz der Gitter durch reaktives Ionenstrahlätzen (RIBE) optimiert
Lichtwellenleiter mit numerischen Aperturen bis 0,22 als optischer Eingang verwendbar
Faserbündel-Querschnittswandler zur Umwandlung eines Strahlenbündels mit kreisförmigem Querschnitt in eines mit spaltförmigem Querschnitt
Gesamtgröße des Spalts an die Pixelgröße des verwendeten Diodenarrays und an die Abbildungs- und Dispersionseigenschaften des Flat-Field-Gitters angepasst
Lüftergekühlter Kühlkörper

Video

Technische Daten

	MCS FLEX PDA	MCS FLEX CCD
Optischer Eingang	Querschnittswandler	Querschnittswandler
Eingang rund	Durchmesser = 0,5 mm NA = 0,22 (muss für Einhaltung des Angabewerts gefüllt sein), gefasst in SMA-Kupplung	Durchmesser = 0,5 mm NA = 0,22 (muss für Einhaltung des Angabewerts gefüllt sein), gefasst in SMA-Kupplung
Gitter	Flat-Field-Korrektur 248 l/mm (im Zentrum), optimiert auf ca. 250 nm 750 nm (NIR-Version)	Flat-Field-Korrektur 248 l/mm (im Zentrum), optimiert auf ca. 250 nm
Diodenarray	Hamamatsu S 3904-1024Q; 1.024 Pixel	Hamamatsu S 7031-1006; 1.044 x 64 Pixel
Spektralbereich	190–1.015 nm (andere Optionen erhältlich)	190-980 nm (andere Optionen erhältlich)
Wellenlängenrichtigkeit	0,3 nm	0,5 nm
Temperaturbedingter Drift	< 0,009 nm/K	< 0,009 nm/K
Mittlerer spektraler Pixelabstand	Δ λ Pixel ≈ 0,8 nm	Δ λ Pixel ≈ 0,8 nm
Auflösung	Δ λ FWHM ≈ 3–4 nm	Δ λ FWHM ≈ 3–4 nm
Falschlicht	≤ 0,1 % gemessen bei 340 nm mit Deuteriumlampe (Transmission von NaNO₂-Lösung, 50 g/l, 1 cm)	≤ 0,1 % gemessen bei 340 nm mit Deuteriumlampe (Transmission von NaNO₂-Lösung, 50 g/l, 1 cm)
Abmessungen	160,3 x 62 x 122,2 mm³	198 x 68 x 122 mm³ (langer Querschnittswandler) 160,3 x 68 x 122 mm³ (kurzer Querschnittswandler)