Mikrooptik

Mikrooptik

Bei den modernen optischen Anwendungen wird der Bedarf an mikrostrukturierten optischen Komponenten immer größer. Die zunehmende Komplexität der Systeme verlangt oft nach sehr spezifischen Lösungen, welche mit klassischen Ansätzen oftmals nicht zu erreichen sind. Dies betrifft die verschiedensten Anwendungsfelder, beispielsweise:

  • Strahlformer oder Strahlteiler für komplexe Beleuchtungssysteme in der Lithografieoptik oder in der Mikroskopie
  • Dispersive Elemente wie z.B. optischen Beugungsgitter auf einer konkaven Oberfläche zur funktionellen Integration der Abbildung und der Beugung in einem einzigen optischen Element. Diese Kombination ermöglicht z.B. die Miniaturisierung von spektroskopischen Systemen.

 

Außerdem bieten Mikro- und Nanostrukturen im Subwellenlängenbereich alternative Möglichkeiten für Antireflexeigenschaften und Polarisationsmanagement.

Neben den höchsten Ansprüchen an die Funktionalität dieser mikrostrukturierten Komponenten sind in zunehmendem Maße auch Aspekte wie Defektfreiheit, Oberflächenrauhigkeit, Streulichtarmut, Lebensdauer und Klima- und Umweltbeständigkeit von Bedeutung.

  • Spezifikationen
    • Wellenlänge: 193 nm < λ <2µm
    • Material: Photolack, Glass, Quarz, Si, CaF2  , …
    • Substratdimensionen: von 0,5mm bis 152,4mm
    • Substratdicke: von 1mm bis 10mm
    • Strukturierungstyp: einseitig und doppelseitig
    • Minimale Ortsauflösung: 0,8µm
    • Optionen: Antireflex Beschichtung, Metallisierung und geeignete mechanische Halterungen
  • Applikationen
    • Maskenbeleuchtung
    • Laserstrahlformer / Homogenizer
    • Lasermaterialverarbeitung
    • Medizinische Anwendungen
    • Mikroskopische Anwendungen
    • Messtechnik
  • Standardprodukte

    Strahlformer

    • Fernfeld: Top-hat, Gauss, Linie, Quadrupole, kundenspezifisch
    • FWHM Streuwinkel: von 1mrad bis 100mrad
    • Effizienz: > 90 %
    • Nullte Beugungsordnung: < 0,1 %

    Mikrolinsenarrays

    • Arraytyp: konvex, konkav
    • Fernfeld:  Top-hat, Gauss, Linie, kundenspezifisch
    • Mikrolinsendurchmesser: von einigen µm bis 2000 µm
    • Sag: 0,2µm … 10µm
    • Mikrolinsenprofil: sphärisch, asphärisch, zylindrisch, parabolisch,  ...
    • Array Uniformität: <4 % (rms)
    • Füllfaktor: >99%
    • Rauhigkeit: <2nm
    • Effizienz: > 90 %
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