ZEISS European
Autumn School
Lithography Optics
29th & 30th November 2019 |
Oberkochen, Germany
ZEISS Prozessgas Analysator
Prozesskontrolle für verschiedene Anwendungen in Echtzeit
Das kompakte und hoch sensitive Ionenfallen-Massenspektrometer detektiert selbst kleinste Verunreinigung sowie empfindlichste Prozessparameter in Echtzeit. Es ist ein ideales Gerät zur Prozesskontrolle, Kontaminationsmessung, Forschung und Entwicklung sowie für die Fertigung.
ZEISS AIMS™ 1x-193i
Präziser, schneller und benutzerfreundlicher
Das AIMS™ 1x-193i ist ein einzigartiges Qualifizierungssystem, welches Photomaskenhersteller zum Prüfen von Defekten sowie zur Verifikation von Reparaturen einsetzen. Es kann für alle Maskentypen eingesetzt werden und ermöglicht, die optische Performance von Masken unter Belichtungsbedingungen wie im Scanner zu analysieren.
