Deutscher Zukunftspreis / Ansgar Pudenz
ZEISS AIMS™ 1x-193i
Präziser, schneller und benutzerfreundlicher
Das AIMS™ 1x-193i ist ein einzigartiges Qualifizierungssystem, welches Photomaskenhersteller zum Prüfen von Defekten sowie zur Verifikation von Reparaturen einsetzen. Es kann für alle Maskentypen eingesetzt werden und ermöglicht, die optische Performance von Masken unter Belichtungsbedingungen wie im Scanner zu analysieren.
