Optische Lithographie von ZEISS SMT

In unserem Alltag spielen Mikrochips eine entscheidende Rolle. Denn die meisten Geräte, die wir täglich verwenden, enthalten mindestens einen Mikroprozessor: Computer, Smartphones, Autos sogar bis hin zum Kühlschrank. Eine entscheidende Rolle für die Herstellung der Mikrochips spielen Licht und die Lithographie-Optiken von ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT).

Mikrochips, die immer kleiner, leistungsfähiger und energieeffizienter sind: Das ist die Grundlage für die Digitalisierung. Um das zu erreichen, müssen Chipstrukturen immer feiner werden. Das gelingt nur, indem die Wellenlänge des verwendeten Lichts immer kürzer, die verwendeten optischen Systeme und Komponenten immer präziser werden. Eine Herausforderung, der sich ZEISS SMT mit seinen Lithographie-Optiken seit mehr als 50 Jahren stellt.

Bis heute folgt die Entwicklung in der optischen Lithographie diesem Gesetz – und ein Ende ist noch nicht in Sicht. ZEISS ist seit den 1960er Jahren einer der Taktgeber, wenn es darum geht, die Grenzen des technologisch Machbaren immer weiter zu verschieben. Das Gesetz von Gordon Moore weiterzuschreiben und gemeinsam mit dem strategischen Partner ASML die Chiphersteller weltweit zu befähigen, heute Technologien von Morgen zu entwickeln.

Mit dieser Formel lässt sich die erzielbare Auflösung von Optiken mit Linsen und Spiegeln berechnen. Sie macht deutlich: Je kürzer die Wellenlänge des verwendeten Lichts, desto besser die Auflösung. Je höher die numerische Apertur, desto feiner die Strukturen. Um Wellenlängen von bis zu 193 Nanometern bei der DUV- und 13,5 Nanometern bei der EUV-Technologie zu erreichen, braucht es hochpräzise Belichtungssysteme von ZEISS SMT.