![Ein Mitarbeiter arbeitet an einem EUV-Beleuchtungssystem der ZEISS SMT]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.100.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.360.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.768.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.1024.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1280.1280.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1333.1333.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1333.1333.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg"} "Semiconductor Manufacturing Optics")
Halbleiterfertigungsoptiken
Optiksysteme für das Licht der Zukunft
Ohne Optiken keine Lithographie. Ohne Lithographie keine Halbleiter. Ohne Halbleiter keine Mikrochips, ohne Mikrochips keine Computer – keine Hightechprodukte. ZEISS befähigt als OEM-Lieferant (Original Equipment Manufacturer) die Halbleiterindustrie weltweit mit Optiken und weiteren optischen Modulen.
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Lithographie-Optiken Optische Präzision für die Halbleiterfertigung
Dank der ZEISS Lithographie-Optiken (kein Vertrieb in Deutschland) können Chiphersteller weltweit ihre Wafer mit Nanometer-Präzision belichten – die Basis für die Fertigung von extrem leistungsfähigen Mikrochips. Güte und Form des Beleuchtungssystems sowie das Auflösungsvermögen der Projektionsoptik bestimmen mit darüber, wie klein die Strukturen auf einem Mikrochip sein können.
Technologien
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Optics Modules
Optische Komponenten und Module
Optische Komponenten und Module (kein Vertrieb in Deutschland) hoher Güte für Lithographie-Laser und spezielle Mikroskop-Objektive für die Waferinspektion: Damit befähigt ZEISS als OEM-Lieferant (Original Equipment Manufacturer) seine langjährigen Partner in der Halbleiterindustrie.
Technologien
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Synchrotron-Optiken
Brillante Optiken für die Forschung
ZEISS befähigt seit mehr als 30 Jahren Forschungsinstitute weltweit mit präzisen Synchrotron-Optiken und Röntgengittern. Für Strukturanalysen und die Anwendung in Monochromatoren.
Technologien
![Einblicke in die Laseroptiken von ZEISS SMT]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/inspiring-technology-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.75.459,57,1280,675.file/inspiring-technology-smt.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/inspiring-technology-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.270.459,57,1280,675.file/inspiring-technology-smt.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/inspiring-technology-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.576.459,57,1280,675.file/inspiring-technology-smt.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/inspiring-technology-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.821.616.459,57,1280,675.file/inspiring-technology-smt.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/inspiring-technology-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.821.616.459,57,1280,675.file/inspiring-technology-smt.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/inspiring-technology-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.821.616.459,57,1280,675.file/inspiring-technology-smt.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/inspiring-technology-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.821.616.459,57,1280,675.file/inspiring-technology-smt.jpg"} "Inspriring Technology ZEISS SMT")
![Mitarbeiterin von ZEISS SMT arbeitet an Optiksystemen]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.75.0,500,1333,1500.file/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.270.0,500,1333,1500.file/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.576.0,500,1333,1500.file/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.768.0,500,1333,1500.file/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1280.960.0,500,1333,1500.file/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1333.1000.0,500,1333,1500.file/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1333.1000.0,500,1333,1500.file/cmo3-optiksysteme-zeiss-smt.jpg"} "Optiksysteme ZEISS SMT")
![Synchrotron-Optiken werden von einem Mitarbeiter gereinigt]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.75.72,0,1228,867.file/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.270.72,0,1228,867.file/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.576.72,0,1228,867.file/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.768.72,0,1228,867.file/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1156.867.72,0,1228,867.file/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1156.867.72,0,1228,867.file/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1156.867.72,0,1228,867.file/smt-synchrotron-wet-cleaning-x-ray_mirror.jpg"} "Synchrotronoptiken von ZEISS SMT")
Zahlen, Daten, Fakten
Optics Modules
Optische Komponenten und Module
![Mitarbeiterin arbeitet an einem Optiksystem von ZEISS SMT]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.100.0,0,1334,1334.file/optikkomponente-om-smt.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.360.0,0,1334,1334.file/optikkomponente-om-smt.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.768.0,0,1334,1334.file/optikkomponente-om-smt.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.1024.0,0,1334,1334.file/optikkomponente-om-smt.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1280.1280.0,0,1334,1334.file/optikkomponente-om-smt.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1334.1334.0,0,1334,1334.file/optikkomponente-om-smt.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1334.1334.0,0,1334,1334.file/optikkomponente-om-smt.jpg"} "Optiksysteme von ZEISS SMT")
Laserkomponenten und -module
DUV-Lithographie-Laser arbeiten mit hohen Lichtintensitäten und sehr geringen Wellenlängen von 193 und 248 Nanometern. Das Portfolio von ZEISS SMT umfasst Kalziumfluoridkomponenten, Messmodule (Metrologiemodule) für Excimerlaser und Module zur Bandbreitenreduktion.
![Mitarbeiterin arbeitet an einem Optiksystem von ZEISS SMT]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.100.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.360.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.768.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.1024.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1280.1280.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1333.1333.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1333.1333.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg"} "Optiksysteme von ZEISS SMT")
Optiken und Komponenten für die Waferinspektion
Wenn Mikrochips immer kleiner, kompakter und damit auch komplexer werden, dann steigen auch die Anforderungen an die Qualitäts- und Defektkontrolle. ZEISS fertigt für die automatische optische Waferinspektion und Prozessüberwachung Optiken für spezielle Mikroskope (kein Vertrieb in Deutschland).
![Mann sitzt am Küchentisch und liest Publikationen der ZEISS SMT auf seinem Tablet]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.100.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.360.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.768.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.1024.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1280.1280.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1334.1334.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/z/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1334.1334.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg"} "Publikationen ZEISS SMT")
Publikationen & Vorträge
Einblick in unsere Forschung
Regelmäßig publizieren wir Fachartikel und Vorträge zu unserer Forschung und Entwicklung.