Semiconductor Manufacturing Technology
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Ein Mitarbeiter arbeitet an einem EUV-Beleuchtungssystem der ZEISS SMT
Semiconductor Manufacturing Optics (SMO)

Halbleiterfertigungsoptiken

Optiksysteme für das Licht der Zukunft

Ohne Optiken keine Lithographie. Ohne Lithographie keine Halbleiter. Ohne Halbleiter keine Mikrochips, ohne Mikrochips keine Computer – keine Hightechprodukte. ZEISS befähigt als OEM-Lieferant (Original Equipment Manufacturer) die Halbleiterindustrie weltweit mit Optiken und weiteren optischen Modulen.

  • Für optische Präzision in der Halbleiterfertigung
  • Für den technologischen Vorsprung unserer Kunden
  • Für die Technologie der Zukunft

  • Lithographie-Optiken Optische Präzision für die Halbleiterfertigung

    Einblicke in die Laseroptiken von ZEISS SMT

    Dank der ZEISS Lithographie-Optiken (kein Vertrieb in Deutschland) können Chiphersteller weltweit ihre Wafer mit Nanometer-Präzision belichten – die Basis für die Fertigung von extrem leistungsfähigen Mikrochips. Güte und Form des Beleuchtungssystems sowie das Auflösungsvermögen der Projektionsoptik bestimmen mit darüber, wie klein die Strukturen auf einem Mikrochip sein können.

    Technologien

    • Deep Ultraviolet Light (DUV-Licht)
    • Extreme Ultraviolet Light (EUV-Licht)
    • High-NA-EUV-Technologie
    • Mirrorblocks
    Inspiring Technology

  • Optics Modules

    Optische Komponenten und Module
    Mitarbeiterin von ZEISS SMT arbeitet an Optiksystemen

    Optische Komponenten und Module (kein Vertrieb in Deutschland) hoher Güte für Lithographie-Laser und spezielle Mikroskop-Objektive für die Waferinspektion: Damit befähigt ZEISS als OEM-Lieferant (Original Equipment Manufacturer) seine langjährigen Partner in der Halbleiterindustrie.

    Technologien

    • Laserkomponenten und -module
    • Optiken und Module für Waferinspektion
    Optics Modules

  • Synchrotron-Optiken

    Brillante Optiken für die Forschung
    Synchrotron-Optiken werden von einem Mitarbeiter gereinigt

    ZEISS befähigt seit mehr als 30 Jahren Forschungsinstitute weltweit mit präzisen Synchrotron-Optiken und Röntgengittern. Für Strukturanalysen und die Anwendung in Monochromatoren.

    Technologien

    • Synchrotron-Optiken
    • Röntgengitter
    Synchrotron-Optiken

Zahlen, Daten, Fakten

  • 384.400km

    Das ist die Entfernung von der Erde zum Mond. Über diese Strecke kann ein umgelenkter Laserstrahl mithilfe eines Spiegels von ZEISS einen Golfball treffen.

  • 2020

    Deutscher Zukunftspreis für hochinnovative EUV-Technologie

  • >50

    Jahre Entwicklungserfahrung für Lithographie-Optiken

  • 1,35

    Numerische Apertur des Bestseller-Immersionsobjektivs Starlith® 1900i

  • >2.000

    Neue Hochtechnologiearbeitsplätze bei ZEISS SMT seit dem Start der EUV-Entwicklung 1995

Optics Modules

Optische Komponenten und Module
Mitarbeiterin arbeitet an einem Optiksystem von ZEISS SMT

Laserkomponenten und -module

DUV-Lithographie-Laser arbeiten mit hohen Lichtintensitäten und sehr geringen Wellenlängen von 193 und 248 Nanometern. Das Portfolio von ZEISS SMT umfasst Kalziumfluoridkomponenten, Messmodule (Metrologiemodule) für Excimerlaser und Module zur Bandbreitenreduktion.

Mitarbeiterin arbeitet an einem Optiksystem von ZEISS SMT

Optiken und Komponenten für die Waferinspektion

Wenn Mikrochips immer kleiner, kompakter und damit auch komplexer werden, dann steigen auch die Anforderungen an die Qualitäts- und Defektkontrolle.  ZEISS fertigt für die automatische optische Waferinspektion und Prozessüberwachung Optiken für spezielle Mikroskope (kein Vertrieb in Deutschland).

Mann sitzt am Küchentisch und liest Publikationen der ZEISS SMT auf seinem Tablet

Publikationen & Vorträge

Einblick in unsere Forschung

Regelmäßig publizieren wir Fachartikel und Vorträge zu unserer Forschung und Entwicklung.

Alles ist denkbar – vieles ist möglich

ZEISS befähigt die Halbleiterindustrie weltweit mit Hochleistungsoptiken. Dabei ist es uns möglich, mit leistungsfähigen sowie hochpräzisen Mess- und Fertigungstechniken optische Komponenten höchster Güte anzubieten. ZEISS SMT arbeitet ständig daran, die Grenzen des physikalisch Machbaren weiter zu verschieben: Für den technologischen Vorsprung unserer Kunden. Für die Technologie der Zukunft.
Kontaktieren Sie gerne unsere Expertinnen und Experten.

  

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