Produkte von ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology

Unser Alltag wird immer digitaler, smarter, vernetzter – und die Rechenleistung immer höher. Das geht nur mit Mikrochips. Das Produktportfolio von ZEISS SMT deckt verschiedene Schlüsselprozesse bei der Herstellung von Mikrochips ab, unter anderem Halbleiterfertigungs-Optiken – darunter Lithographie-Optiken-, Photomaskensysteme sowie Prozesskontroll-Lösungen. So befähigen wir Chiphersteller auf der ganzen Welt und schaffen die Grundlage für immer kleinere, leistungsfähigere und energieeffizientere Mikrochips, weltweit.
Die damit ausgestatteten elektronischen Anwendungen ermöglichen globalen Fortschritt in verschiedenen Disziplinen. Mikrochips werden in Elektronikprodukten verbaut, stecken in nahezu jedem Haushaltsgerät, im Geschirrspüler oder der Kaffeemaschine. Endgeräte wie Smartphones, Computer oder Tablets funktionieren ohne sie nicht. Und technologische Innovationen wie Automatisierung, KI oder autonomes Fahren wären ohne sie gar nicht denkbar.
Damit gestaltet ZEISS SMT den technologischen Fortschritt. Und macht Dinge möglich, die wir heute noch gar nicht kennen.

Mehr Informationen über ZEISS SMT

ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) setzt sich aus drei strategischen Geschäftsbereichen (Strategic Business Units, SBUs) zusammen. Gemeinsam bilden sie das Produktportfolio von ZEISS SMT und liefern zentrale Technologien für die Mikrochip-Fertigung:

• SMO – Semiconductor Manufacturing Optics (Halbleiterfertigungsoptiken)
• SMS – Semiconductor Mask Solutions (Photomasken-Lösungen für die Halbleiterfertigung)
• PCS – Process Control Solutions (Prozesskontroll-Lösungen für Halbleiterstrukturen)
  

Innerhalb von ZEISS Semiconductor Manufacturing Optics (SMO)  entwickeln und fertigen wir hochpräzise optische Systeme und Technologien für die Halbleiterindustrie. Zum Portfolio gehören: Lithographie-Optiken (für DUV-, EUV- und High-NA-EUV-Lithographie) und Beleuchtungssysteme, Laseroptiken, optische Module für Wafer- und Maskeninspektion, sowie Synchrotron-Optiken und Röntgengitter für Forschungsanwendungen. Diese Lösungen ermöglichen Chipherstellern die Belichtung feinster Strukturen und sind entscheidend für die Herstellung von leistungsstarken Mikrochips.

Innerhalb von ZEISS Semiconductor Mask Solutions (SMS)  bieten wir High-End-Lösungen für die Herstellung von Photomasken. Zum Portfolio gehören Maskenmetrologie, Tuning-, Qualifizierungs- und Reparaturlösungen, die eine breite Palette an Maskentypen und Lithographietechniken im DUV- und EUV-Spektralbereich abdecken – für höchste Effizienz in der Halbleiterfertigung und maximale Ausbeute an fehlerfreien, funktionsfähigen Mikrochips pro Wafer.

Innerhalb von ZEISS Process Control Solutions (PCS)  bieten wir hochpräzise Systeme zur Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung. Zum Portfolio gehören die 3D Metrology and Inspection Workstation – eine FIB-SEM-Kombination für nanometergenaue Beprobung und 3D-Analysen, sowie das ZEISS MultiSEM – ein einzigartiges Multistrahl-Rasterelektronenmikroskop mit 91 parallelen Elektronenstrahlen für ultraschnelle 2D-Analysen. Diese Lösungen liefern entscheidende Informationen zur Analyse, Prozessoptimierung und Fehlersuche für die schnellere und effizientere Fertigung von feinsten Mikrochip-Strukturen.

Deutschland

• Oberkochen (Baden-Württemberg): Hauptsitz und zentraler Forschungs- und Entwicklungs-, sowie Produktionsstandort für Lithographie-Optiken (ZEISS SMO)
• Jena (Thüringen): Am ZEISS Gründungsstandort werden die optischen Maskensysteme entwickelt und die Maskenreparatur-, Qualifikations- und Metrologiesysteme der ZEISS SMS gefertigt
• Wetzlar (Hessen): Produktionsstandort für Lithographie-Optiken 
• Roßdorf (Hessen): Forschungs- und Entwicklungsstandort für die ZEISS SMS mit Schwerpunkt Maskenreparatur-Systeme
• Aachen (Nordrhein-Westfalen): Forschungs- und Entwicklungsstandort 
• Coswig (Sachsen): Standort zur Entwicklung und Produktion 

International

• Zürich (Schweiz): Standort zur Entwicklung und Produktion 
• Dublin (USA): Forschungs- und Entwicklungsstandort für ZEISS PCS
• Bar Lev (Israel): Forschungs- und Entwicklungsstandort für ZEISS SMS mit Schwerpunkt Maskentuning-Systeme

Hinzu kommen unsere Vertriebs- und Servicegesellschaften (SSCs) in den USA, China, Taiwan (Region), Südkorea und Japan: 

• USA: Dublin (SSC), Phoenix, Boise, Hillsboro (ZEISS SMS Servicestandorte)
• China: Shanghai (SSC), Jinan (ZEISS SMS Servicestandort)
• Taiwan (Region): Hsinchu (SSC), Tainan, Taichung (ZEISS SMS Servicestandorte)
• Südkorea: Seoul (SSC), DongTan, Pyeongtaek (ZEISS SMS Servicestandorte)
• Japan: Tokio (SSC)