
Revolution der Geschwindigkeit
Das schnellste Rasterelektronenmikroskop der Welt
Weltweit einzigartig
High-End Technologie für die Halbleiterindustrie
Ob Hirnforschung oder Mikrochipfertigung: Das ZEISS MultiSEM ermöglicht einzigartige Einblicke und Analysen.

Arbeiten im Nanometerbereich
In Industrielaboren geht es um Präzision und Schnelligkeit. Dank der innovativen Multistrahl-Bildgebung arbeitet das MultiSEM unfassbar schnell und hochauflösend im Nanometerbereich. Es wird daher zur Untersuchung von Mikrochips mit Strukturgrößen im Nanometerbereich eingesetzt.
Produkt-Highlights
MultiSEM 506 von ZEISS

Multistrahl-Bildgebung
Herzstück des MultiSEM ist die Multistrahl-Bildgebung: 91 parallele Elektronenstrahlen visualisieren zeitgleich und vollautomatisiert komplexe 2D-Strukturen in einer unvergleichbar hohen Aufnahmegeschwindigkeit. Für eine Fläche von einem Quadratzentimeter benötigt das MultiSEM 506 von ZEISS SMT bei einer Pixelgröße von 3,5 Nanometern rund sechs Stunden. Das entspricht einer Datenrate von etwa 1,5 Terabyte pro Stunde.

Kontrastreich, rauscharm und detailreich
Das Ergebnis sind kontrastreiche Bilder mit sehr geringem Rauschen dank hocheffizienter Detektion von Sekundärelektronen. Automatisierte Aufnahmeprotokolle machen großflächige, detaillierte Abbildungen mit hoher Auflösung im Nanometerbereich möglich. Winzige Details werden im makroskopischen Kontext zugänglich.
So funktioniert das MultiSEM
Parallel. Schnell. Leistungsfähig.
ZEISS MultiSEM erreicht seine hohe Abbildungsgeschwindigkeit durch den parallelen Einsatz mehrerer Elektronenstrahlen und den jeweils zugeordneten Detektoren. Alle Strahlen rastern die Probenoberfläche synchron ab. Die dabei erzeugten, hexagonal angeordneten Teilbilder, werden danach zum Gesamtbildfeld zusammengefügt. Die hohe Abbildungsgeschwindigkeit und eine parallel geschaltete Serverarchitektur sorgen dabei für eine schnelle Datenaufzeichnung. Bilderfassung und Mikroskop-Steuerung sind im MultiSEM-System perfekt aufeinander abgestimmt, um jederzeit volle Leistungsfähigkeit zu gewährleisten.
ZEISS MultiSEM 506

91 Elektronenstrahlen im Einsatz
ZEISS MultiSEM 506 arbeitet mit 91 parallelen Strahlen und einer Datenrate von über einem Terabyte pro Stunde. Pro Scandurchgang wird ein sehr großer Bereich abgetastet, was zu diesem hohen Datendurchsatz führt.