Über uns

ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology Mit Präzision für die Zukunft

Ohne Mikrochips

steht die moderne Welt still

Unser Alltag wird immer digitaler, smarter, vernetzter – und die Rechenleistung immer höher. Das geht nur mit Mikrochips, die kleiner, leistungsfähiger und energieeffizienter werden. Gordon Moore, Mitbegründer von Intel, hat in dem nach ihm benannten Gesetz festgehalten, dass sich die Anzahl der Transistoren auf einem Computerchip alle zwei Jahre verdoppelt.

Ohne absolute Präzision

gelingt das nicht

ZEISS SMT schafft die Grundlage, dass das Moore’sche Gesetz weitergeschrieben wird. Mit unserem breiten Produktportfolio decken wir verschiedene Schlüsselprozesse bei der Herstellung von Mikrochips ab, unter anderem die optische Lithographie, die Prozesskontrolle und die Maskenoptimierung. So befähigen wir Chiphersteller auf der ganzen Welt.

Ohne Weitblick

wären wir nicht hier

Beispielsweise stecken in der innovativen EUV-Lithographie rund 25 Jahre Forschung und Entwicklung. Wir arbeiten schon am nächsten Technologiesprung in der Halbleitertechnik. An sieben Standorten und mit Partnern in Europa und weltweit. Für noch präzisere Prozesse. Für noch leistungsfähigere Smartphones. Für Industrie 4.0 und Autonomes Fahren. Für die Zukunft.

ZEISS SMT in Zahlen

6.000

Mitarbeitende ermöglichen wegweisende Innovationen für die Halbleiterindustrie – und das SMT-Team wächst weiter
2,757

Milliarden € Umsatz der SMT im Geschäftsjahr 2021/2022
2020

ZEISS, TRUMPF und das Fraunhofer Institut (IOF) werden mit dem Deutschen Zukunftspreis für die EUV-Lithographie ausgezeichnet
1.200

Internationale Partner im Entwicklungsverbund
2.000

Patente hält ZEISS im Bereich der EUV-Technologie

Meilensteine der SMT

Seit mehr als 50 Jahren Treiber der Digitalisierung

ZEISS blickt zurück auf mehr als 175 Jahre Erfahrung. Seit mehr als 50 Jahren ist die ZEISS SMT Enabler und Treiber für die Halbleitertechnologie.
1968

1968

Erste ZEISS Optik für Schaltkreisdrucker

Das Objektiv bildete Strukturen von 15 Mikrometern ab. Der Schaltkreisdrucker der Firma Telefunken war der Vorgänger von Wafersteppern und -scannern.
1977

1977

Erster Waferstepper mit ZEISS Optik

Im weltweit ersten Waferstepper der Firma David Mann (später GCA) kommt das Objektiv S-Planar® 10/0,28 mit 1 Mikrometer Auflösung zum Einsatz.
1994

1994

Gründung SMT

Die Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) wird als eigenständiger Unternehmensbereich von ZEISS gegründet.
1997

1997

Strategische Partnerschaft ASML

Start der strategischen Partnerschaft von ZEISS mit dem niederländischen Hersteller von Wafersteppern und -scannern ASM Lithography (heute ASML).
1998

1998

Erste 193-Nanometer-Optik

Die 193-Nanometer-Technologie von ZEISS ermöglicht den nächsten Leistungs- und Technologiesprung in der Halbleiterindustrie.
2002

2002

Spitzenposition

ASML und SMT werden Weltmarktführer in der Halbleitertechnik-Fertigung.
2005

2005

Portfolio-Erweiterung

Die NaWoTec GmbH Roßdorf wird Teil der ZEISS SMT. Damit bietet ZEISS auch Systeme zur Maskenreparatur.
2008

2008

Portfolio-Erweiterung

Pixer Technology in Israel wird Teil der SMT und ergänzt das Portfolio um Maskentuning-Lösungen.
2016

2016

Vertiefung der Zusammenarbeit

ASML wird Minderheitseigentümer der ZEISS SMT.
2017

2017

Neugeschäft

Gründung ZEISS Process Control Solutions: Prozesskontroll-Lösungen für Halbleiterkunden gehören nun zum Portfolio der ZEISS SMT.
2018

2018

Jubiläum

ZEISS SMT feiert den 50. Geburtstag.
2019

2019

EUV in Smartphones

Die ersten mit EUV-Lithographie gefertigten Chips kommen in den neuen Smartphone-Generationen auf den Massenmarkt.
2020

2020

Auszeichnung

Die EUV-Lithographie wird mit dem Deutschen Zukunftspreis ausgezeichnet.
2022

2022

Jubiläum

Strategische Partnerschaft zwischen ASML und ZEISS SMT

Halbleitertechnologie von ZEISS

Den technologischen Fortschritt gestalten

ZEISS SMT Unternehmensstruktur mit allen Business Units

Unternehmensstruktur der ZEISS SMT in den Sparten SMS, PCS und SMO

Mit unserem Produktportfolio und weltweit führendem Know-how decken wir verschiedene Schlüsselprozesse bei der Herstellung von Mikrochips ab. Zu unseren Produkten zählen Halbleiterfertigungs-Optiken – darunter Lithographie-Optiken –, Photomaskensysteme sowie Prozesskontroll-Lösungen für die Halbleiterindustrie. Dank der ZEISS Technologien werden Mikrochips zunehmend kleiner, leistungsfähiger, energieeffizienter – und preiswerter. Die damit ausgestatteten elektronischen Anwendungen ermöglichen globalen Fortschritt in verschiedenen Disziplinen, darunter Technologie, Elektronik, Kommunikation, Unterhaltung, Mobilität und Energie. Der Hauptsitz von Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) ist Oberkochen. Weitere Standorte sind Jena, Roßdorf und Wetzlar in Deutschland sowie Bar Lev (Israel), Dublin und Danvers (USA).

Das Herz der Digitalisierung schlägt bei der SMT

Wenn sich Leidenschaft mit Präzision verbindet und wir über die Grenzen des Machbaren hinauswachsen: Dann schlägt das Herz der Digitalisierung. Hier. Bei ZEISS. Bei der SMT. In Oberkochen, Wetzlar, Jena, Roßdorf, Danvers, Dublin und Bar Lev. Wie wir heute schon die Technologien von morgen ermöglichen? Sehen Sie selbst und spüren ihn – den Herzschlag der Digitalisierung!

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ZEISS SMT Standorte

in Oberkochen, Jena, Wetzlar, Roßdorf, Danvers, Dublin und Bar Lev

Jena

Carl-Zeiss-Promenade 10
07745 Jena
Germany

Tel.: +49 3641 64-2563
Fax: +49 3641 64-2938
info.smt@zeiss.com

Bar Lev

HaDolev 3, P.O. Box 32
Bar Lev Industrial Park
D.N. Misgav 2015600
Israel

Tel.: +972 4 9088 602
Fax: +972 4 9088 666
info.smt@zeiss.com

Roßdorf

Gebäude am Standort der ZEISS SMT in Rossdorf

Industriestraße 1
64380 Rossdorf
Germany

Tel.: +49 6154 8038-0
Fax: +49 6154 8038-80
info.smt@zeiss.com

Wetzlar

Gloelstrasse 3-5
35576 Wetzlar
Germany

Tel.: +49 6441 404-0
Fax: +49 6441 404-203
info.smt@zeiss.com

Oberkochen

Rudolf-Eber-Strasse 2
73447 Oberkochen
Germany

Tel.: +49 7364 20-0
Fax: +49 7364 20-6808
info.smt@zeiss.com

Danvers

Carl Zeiss SMT, Inc.
75 Sylvan St., Suite 101
Danvers, MA 01923

info.smt@zeiss.com

Dublin

ZEISS Innovation Center California
5300 Central Parkway
Dublin, CA 94568

info.smt@zeiss.com

Andreas Pecher

Mitglied im ZEISS Vorstand | President & Chief Executive Officer

Der Diplom-Physiker mit Masterabschlüssen in Physik, Business Administration und Engineering Management ist seit Januar 2022 Vorsitzender der Geschäftsführung von ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT). Er ist ebenfalls Vorstandsmitglied der Carl Zeiss AG.
Torsten Reitze

Chief Financial Officer

Seit 2018 ist der Diplom-Kaufmann Mitglied der Geschäftsführung von ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) in der Position als kaufmännischer Leiter. Zuvor war er in derselben Funktion bereits in den Bereichen der Industriellen Messtechnik bei ZEISS und der ZEISS Semiconductor Manufacturing Optics (SMO) tätig.
Christoph Hensche

Chief Operating Officer & Digital Transformation Officer

Der Diplom-Ingenieur mit MBA-Abschluss ist seit 2022 Chief Operating Officer & Digital Transformation Officer bei der ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT). Zuvor war er Leiter der ZEISS Semiconductor Mask Solutions (SMS). Christoph Hensche hat 2005 als Projektmanager verschiedener R&D-Projekte bei ZEISS SMT begonnen, ab 2010 den Bereich Sales der Lithographie-Optik verantwortet und im Anschluss das Field of Business DUV der ZEISS Semiconductor Manufacturing Optics (SMO) geleitet.
Dr. Frank Rohmund

President ZEISS Semiconductor Manufacturing Optics

Der promovierte Physiker leitet seit 2022 den Bereich ZEISS Semiconductor Manufacturing Optics (SMO). Zuvor hatte er die Leitung des Field of Business EUV des Bereichs SMO inne. Im Jahr 2001 begann Frank Rohmund als wissenschaftlicher Mitarbeiter bei ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT).
Dr. Clemens Neuenhahn

Leiter ZEISS Semiconductor Mask Solutions

Als studierter Physiker ist Dr. Clemens Neuenhahn als Leiter des Geschäftsbereiches ZEISS Semiconductor Mask Solutions (SMS) bei der ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) tätig. Zuvor leitete er seit Januar 2021 die strategische Geschäftsentwicklung der SMT.
Dr. Stefan Preuss

Leiter ZEISS Process Control Solutions

Seit 2020 leitet der promovierte Chemiker den Geschäftsbereich ZEISS Process Control Solutions (PCS). Im Jahr 2012 kam er als Leiter der strategischen Geschäftsentwicklung zu ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT). Zuvor war er als Unternehmensberater unter anderem für ZEISS SMT und ZEISS Meditec tätig.
Dr. Thomas Stammler

Chief Technology Officer

Der promovierte Physiker ist seit 2021 Chief Technology Officer (CTO) und Head of Product Strategy der ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT). Thomas Stammler ist bereits seit 1998 bei ZEISS SMT in verschiedenen Positionen tätig, zuletzt als Head of Design & Technology.
Dr. Jens Werner

Leiter Human Resources

Seit 2017 ist Jens Werner Head of Human Resources der ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT). Der promovierte Jurist kam 2004 zu ZEISS und hatte bereits verschiedene leitende Positionen im Bereich Personal inne.