Illumination-System High-NA-EUV-Lithographie

SMT Magazin

Nachhaltigkeit von Anfang an: Von der Optik bis zum Campus

22. April 2026 5 Min. Lesedauer

Nachhaltigkeit präzise messen – um langfristig erfolgreich zu sein

ZEISS ist ein Stiftungsunternehmen und hat die Zukunft fest im Blick – sowohl in wirtschaftlicher Sicht als auch in Bezug auf gesellschaftliche Verantwortung. Nachhaltigkeit ist ein wichtiger Erfolgsfaktor, und wir leisten unseren Beitrag dazu. Unser Ziel: Klimaneutralität bis 2045. Wir wollen unseren Einfluss aber in allen ESG‑Bereichen – Umwelt, Soziales und Governance – systematisch verbessern und bauen dafür eine immer feinere, belastbare Datenbasis auf. Emissionen, Verbräuche und weitere Kennzahlen erfassen wir so, dass Fortschritte messbar werden und Nachhaltigkeit unsere unternehmerischen Entscheidungen mitbestimmt. Wie auch bei unseren Produkten legen wir hier Wert auf Präzision und wollen die Grenzen des (vermeintlich) Machbaren immer wieder verschieben.

Zum ZEISS Nachhaltigkeitsbericht 2024/25

Innovative Produkte: Nachhaltigkeit im Design verankern

Der größte Hebel für mehr Nachhaltigkeit bei ZEISS SMT sind unsere Produkte. Deshalb betrachten wir ihren CO₂‑Fußabdruck über den gesamten Lebenszyklus. Nachhaltigkeitsexpertinnen und -experten stehen unseren Entwicklungsteams beratend zur Seite. Ein Beispiel im Bereich EUV-Lithographie ist das Beleuchtungssystem (Illumination System, kurz Illu) des Starlith® 4200. Als wir das Vorgängermodell genauer analysierten, wurde schnell klar: Ein Großteil des CO₂‑Fußabdrucks steckt in der großen mechanischen Rahmenstruktur, dem Illu Frame. Für die neue Generation hat unser Team deshalb genau dort angesetzt, bestimmte Fertigungsmaterialien ersetz und neues Material, Design und Fertigung eng aufeinander abgestimmt – bei unverändert hohen Qualitätsanforderungen. Das Ergebnis lässt sich klar beziffern: Im Vergleich zur vorherigen Produktgeneration konnten wir den CO₂‑Fußabdruck des Illu Frame um rund zwei Drittel reduzieren und am Ende sogar noch Kosten langfristig senken.

Nachhaltigkeit fließt bereits in einer sehr frühen Phase der Produktentstehung ein und nicht erst als Add-on am Ende.

Tobias Berndt Teamlead Sustainability bei ZEISS SMT

Kennzahlen Nachhaltigkeit ZEISS SMT — SMO, kurz für den strategischen Geschäftsbereich ZEISS Semiconductor Manufacturing Optics

Service und Refurbishment: Jede zusätzliche Betriebsstunde zählt

Nachhaltigkeit hängt nicht nur von neu designten Produkten ab, sondern ebenso davon, wie lange bestehende Systeme zuverlässig in Betrieb bleiben. Rund 95 Prozent aller jemals von uns gelieferten Lithographie-Systeme, ein wesentlicher Großteil davon DUV-Lithographie-Systeme, sind weiterhin im Einsatz, viele seit 15 bis 25 Jahren. Diese Langlebigkeit ist kein Zufall: Im Service ist es unser Ziel, defekte Produkte zu reparieren und so die Lebensdauer hochkomplexer Maschinen zu verlängern.

Dafür prüfen unsere Spezialistinnen und Spezialisten genau, welche Komponenten sich wiederverwenden oder aufbereiten lassen. Bauteile werden so konstruiert, dass Serviceteams sie besser erreichen, Reparaturen vor Ort nehmen zu, und Komponenten in bestehenden EUV-Systemen werden für eine zweite Nutzung aufbereitet. Refurbishment, Reuse, Serviceability – das sind wesentliche Kriterien schon bei der Produktentwicklung. Damit senken wir Abfallmengen, schonen Ressourcen in der gesamten Lieferkette und reduzieren zugleich die Kosten für unsere Kunden. In Zukunft werden uns Data Monitoring, Predictive Maintenance und auch KI noch stärker dabei helfen, Probleme frühzeitig zu erkennen, um Ausfälle zu vermeiden.

Energie sparen: Vom Reinraum bis zur PV-Anlage

Energie ist eine der größten Stellschrauben für mehr Nachhaltigkeit – gerade in der Halbleiterfertigung mit ihren energieintensiven Reinräumen. Deshalb hinterfragen wir eingespielte Prozesse und setzen dort an, wo schon kleine Änderungen große Wirkung haben. In zwei Hallen im Bereich EUV haben wir ungenutzte Abluftkanäle stillgelegt, sodass nicht länger mehr Reinraumluft abgesaugt wird als nötig – das spart spürbar Energie, CO₂ und somit Kosten. Im Bereich High‑NA‑EUV-Technolgie werden Reserve‑Vakuumpumpen der Messtechnik nur noch zugeschaltet, wenn sie wirklich gebraucht werden, der Leerlaufverbrauch entfällt.

In einer Halle am Standort Oberkochen sind wir von Leuchtstoffröhren auf ein LED‑System mit Human Centric Lighting umgestiegen, das den Strombedarf deutlich senkt und zugleich den Schlaf‑Wach‑Rhythmus der Mitarbeitenden im Schichtbetrieb unterstützt. Auch erneuerbare Energien spielen eine wachsende Rolle: Eine neue PV‑Anlage auf einem Bürogebäude in Oberkochen liefert so viel Grünstrom, wie rund siebzig Haushalte im Jahr verbrauchen.

Soziales Engagement: Verantwortung über den Campus hinaus

Nachhaltigkeit bei ZEISS SMT endet nicht an der Werkstorgrenze und der CO2-Reduktion. Ein Beispiel ist das Social‑Engagement‑Programm, ein Baustein unserer Corporate Social Responsibility (CSR). Alle Projekte in diesem Programm basieren auf Ideen, die SMT‑Mitarbeitende eingereicht haben – von der Wunschbaumaktion „Gift of Joy“ über Stipendien für internationale MINT‑Studierende bis hin zu Schulprojekten wie Drone Soccer oder Kooperationen mit sozialen Einrichtungen. Der Fokus liegt auf der Förderung von MINT-Bildung, Forschung, Digitalisierung, Gesundheit und Umwelt. Zweimal jährlich initiiert ZEISS SMT eine Müllsammelaktion an verschiedenen Standorten. Die Botschaft: Wir alle tragen die Verantwortung, unsere natürlichen Ressourcen zu schonen und die Lebensqualität zukünftiger Generationen zu sichern.

Biodiversität: Natur macht das Arbeitsumfeld attraktiver

Von Biodiversität profitieren nicht nur Pflanzen und Tiere, sondern auch unsere Mitarbeitenden: Pausenplätze im Schatten, Blüten und Vogelgezwitscher senken das Stresslevel und stärken die mentale Gesundheit. Natur schlägt Betonfläche. Am Campus in Oberkochen gestalten wir deshalb Flächen, Fassaden und Dächer gezielt um, etwa mit Trockenflussbett, Miniwald, naturnahen Pflanzkonzepten nach NABU‑Empfehlung, begrünter Parkhausfassade und aufgewerteten Pausenbereichen. Hochbeete – sogenannte Bienenarchen – bieten Insekten Nahrung und Lebensraum. Mit Teamevents binden wir unsere Mitarbeitenden in Aktionen für mehr Biodiversität ein, etwa am Standort Jena, wo SMT‑Teams im Naturschutzgebiet Rothenstein gemeinsam mit dem NABU Wiesen pflegten.

Nachhaltigkeit für uns nicht nur eine Kennzahl in einem Bericht. Wenn wir nachhaltig arbeiten, sind wir effizienter und dadurch auch in Zukunft erfolgreich – und übernehmen Verantwortung für uns, unsere Gesellschaft und unsere Umwelt.