ZEISS Crossbeam​

Angesichts der höheren Fertigungsqualität und modernster Technologien zur Oberflächenbearbeitung sind Defekte heute kleiner und seltener. Aus diesem Grund müssen Mikroskopierverfahren eingesetzt werden, um Oberflächenfehler zu finden, zu lokalisieren, zu präparieren, zu untersuchen und ihre Ursachen zu bestimmen. In dieser Broschüre wird ein korrelativer Ansatz zur effizienten mikroskopischen Untersuchung bei der Fehleranalyse vorgestellt.

Dabei werden Aufgaben der Lichtmikroskopie mit dem Digitalmikroskop ZEISS Smartzoom 5 und die Präparation und Untersuchung mit ZEISS Crossbeam laser durchgeführt. Die Korrelation beider Systeme zur präzisen Fehlerlokalisierung im FIB-SEM erfolgt über ZEISS ZEN Connect.

Die Suche nach der Ursache vereinzelter und kleiner Defekte auf großen Proben kann viel Zeit in Anspruch nehmen. Um bei der Fehleranalyse dennoch effizient zu bleiben, benötigen Sie einen Workflow, mit dem sich Bildbereiche komfortabel lokalisieren, dokumentieren, wiederauffinden, präparieren und untersuchen lassen.

Rasterelektronenmikroskope mit fokussiertem Ionenstrahl (FIB-SEM) überwinden die Einschränkungen der herkömmlichen materialografischen Probenvorbereitung. Da Elektronenmikroskope jedoch in der Regel ein begrenztes Sichtfeld haben, ist es manchmal einfacher, die Lokalisierung unter einem Lichtmikroskop durchzuführen. Aus diesem Grund benötigen Anwender ein System, mit dem sie den Bildbereich im Lichtmikroskop lokalisieren und anschließend im FIB-SEM abrufen können.

Genau das bietet die Softwarelösung ZEISS ZEN Connect in Kombination mit ZEISS ZEN Data Storage. Der neue Femtosekundenlaser der ZEISS Crossbeam Produktfamilie ermöglicht zudem die punktgenaue Präparation auch über große Bereiche. Sehen Sie sich das Beispiel oben an: Durch die Querschnitterstellung mit dem FIB, dem Polieren mit dem Femtosekundenlaser und die anschließende EDX-Analyse konnten Reste von Kohlenstofffasern als Ursache für die Oberflächendefekte ausgemacht werden.

Durch diese Form von korrelativer Mikroskopie können auch mehrere Bildbereiche hintereinander ganz effizient untersucht werden. Sämtliche Ergebnisse werden anschließend in einem gemeinsamen Projekt gespeichert. Mit der Softwareoption ZEISS ZEN Data Storage können Sie jederzeit vollständig auf diese Daten zugreifen und erneut für weitere Untersuchungen oder Berichte heranziehen.