Feldemissions-rem

ZEISS Sigma

Zuverlässige, hochauflösende Imaging- und Analysetechnik

ZEISS Sigma basiert auf der bewährten Gemini-Technologie von ZEISS. Das Gemini-Objektivlinsendesign kombiniert elektrostatische und magnetische Felder, um die optische Performance zu maximieren und gleichzeitig die Feldeinflüsse auf die Probe auf ein Minimum zu reduzieren. Das sorgt für ein ausgezeichnetes Imaging, auch bei schwierigen Proben wie magnetischen Materialien.

  • Präzise, reproduzierbare Resultate von jeder Probe
  • Schneller und einfacher Versuchsaufbau
  • Auf Grundlage der bewährten ZEISS Gemini-Technologie
  • Flexible Detektion für kristallklare Bilder
  • Sigma 560 verfügt über die beste EDX-Geometrie seiner Klasse

ZEISS Sigma für die Industrie

Erleben Sie eine neue Qualität bei der Prüfung Ihrer Proben

Mit der ZEISS Gemini-Detektionstechnologie können Sie alle Ihre Proben charakterisieren. Mit dem neuartigen ETSE-Detektor und dem Inlens-Detektor für Hochvakuum erfassen Sie topografische Informationen in hoher Auflösung. Im variablen Druckmodus mit VPSE- oder C2D-Detektor erhalten Sie gestochen scharfe Bilder. Mit dem STEM-Detektor erstellen Sie hochauflösende Transmissions­­bilder. Und mit dem HDBSD- oder YAG-Detektor schließlich untersuchen Sie die Zusammensetzung Ihrer Proben.

Anwendungsfelder auf einen Blick

  • Schadensanalysen von Materialien und gefertigten Bauteilen
  • Imaging und Analyse von Stählen und Metallen
  • Prüfen von medizinischen Geräten
  • Charakterisierung von elektronischen und Halbleitergeräten in der Prozesssteuerung und -diagnose
  • Ermittlung des chemischen Fingerabdrucks von Halbleitermaterialien und -geräten durch Identifizierung der einzigartigen Strukturen, die das Schwingungs- und Rotationsenergieniveau bestimmen
  • Hochauflösendes Imaging und Analysen neuer Nanomaterialien
  • Analysen von Beschichtungen und Dünnfilmen
  • Charakterisierung verschiedener Formen von Kohlenstoff und anderen 2D-Materialien
  • Imaging, Analyse und Differenzierung von Polymermaterialien
  • Durchführen von Batterieforschung, um Alterungseffekte und Qualitätsverbesserungen nachzuvollziehen

Automatisierte Partikelanalyse und multimodale korrelative Bildgebung

  • Korrelative automatische Partikelanalyse

    Mit Lösungen von ZEISS automatisieren Sie Ihren Workflow für die Partikelanalyse auf Elektronenmikroskopen und verbessern so die Reproduzierbarkeit. Die Einsatzmöglichkeiten reichen von der Einhaltung von Sauberkeitsrichtlinien in der Fertigung über die Prognose von Maschinenverschleiß, die Stahlproduktion und die additive Fertigung bis zum Umweltmanagement.

    Korrelierte Analyse über Licht- und Elektronenmikroskope hinweg in einem nahtlos integrierten Workflow

    • Profitieren Sie von automatischer, integrierter Berichterstellung für Licht- und Elektronenmikroskope
    • Lokalisieren Sie Kontaminationsquellen
    • Treffen Sie schneller fundierte Entscheidungen
    • Verbessern Sie kontinuierlich die Produktionsqualität
    • Erhalten Sie zügiger Ergebnisse dank der automatisierten Analyse und der schnelleren Partikelinspektion und -prüfung über integrierte ML-Algorithmen

     

  • Multimodale korrelative Bildgebung für die Mikropartikelanalyse

    ZEISS ZEN Intellesis ermöglicht die Partikelidentifizierung über Machine-Learning-Algorithmen. Die errechneten Ergebnisse können in der Software ZEISS ZEN Connect visualisiert werden. Die ML-Algorithmen von ZEISS ZEN Intellesis vollziehen automatisiert die Bildsegmentierung und die Objektklassifizierung, wodurch weitere Einblicke in die Partikelverteilung möglich werden.

  • Die Korrelation der beiden Verfahren führt bei der Analyse zum größtmöglichen Informationsgehalt – insbesondere bei Polymerpartikeln. In ZEN Connect können die REM-Bilder mit anderen Bildern überlagert werden: für die Standardanalyse mit denen der Raman-Spektroskopie und für die automatische Klassifizierung mit denen aus ZEN Intellesis. Das Reporting-Tool dient der automatischen, vorlagenbasierten Berichterstellung (4) in ZEN core, für Berichte im pdf- oder doc-Format.

    Die Korrelation der beiden Verfahren führt bei der Analyse zum größtmöglichen Informationsgehalt – insbesondere bei Polymerpartikeln. In ZEN Connect können die REM-Bilder mit anderen Bildern überlagert werden: für die Standardanalyse mit denen der Raman-Spektroskopie und für die automatische Klassifizierung mit denen aus ZEN Intellesis. Das Reporting-Tool dient der automatischen, vorlagenbasierten Berichterstellung (4) in ZEN core, für Berichte im pdf- oder doc-Format.

    Auf einem REM-Bild (1) wird wird eine Bildanalyse durchgeführt, um alle Partikel zu segmentieren (2) und ausgewählte Parameter zu messen. Die Ergebnisse der Messungen können z. B. in Form einer Größenverteilung grafisch dargestellt werden. Nun können mithilfe von „Object Classification“ von ZEN Intellesis die segmentierten Partikel weiter klassifiziert und in Unterklassen eingeteilt werden (3). Anhand dieser Informationen kann die Partikelzählung pro Klasse durchgeführt werden. Die Objektklassifizierung wird durchgeführt für übliche Nano- und Mikroplastikpartikel (Polystyren [PS] – hellblau; Polyethylen [PE] – grün; Polyamid­nylon 6 [PA] – dunkelblau; Polyvinylchlorid [PVC] – rot) auf einem Polycarbonatfilter, der mit ZEISS Sigma abgebildet wurde. Diese korrelative Untersuchung führt die hohe Auf­lösung eines Elektronenmikroskops mit den Analyse­möglichkeiten eines Raman-Mikroskops zusammen.

ZEISS SmartPI

ZEISS SmartPI wurde für Routine-Analysen großer Proben­mengen in der Fertigung entwickelt und sorgt für reproduzierbare Ergebnisse. Mit der Möglichkeit, Verunreinigungen zu erkennen, zu analysieren und in Ergebnisberichten darzustellen, eröffnen sich neue Ansätze für die Prozesssteuerung. Profitieren Sie von den erheblichen Fortschritten in der vollautomatischen Partikelanalyse und -klassifikation auf REMs. Steigern Sie mit ZEISS SmartPI Ihre Produktivität, verbessern Sie die Qualität Ihrer Ergebnisse und reduzieren Sie durch verunreinigte Bauteile verursachte Kosten. ZEISS SmartPI erkennt, misst, zählt und klassifiziert Partikel automatisch anhand deren Morphologie und Elementzusammensetzung.

Automatische Erstellung von Berichten nach Industrienormen, z. B. VDA 19.1 oder ISO 16232

Vollintegriert und kompatibel mit EDX-Systemen von Bruker und Oxford Instruments

Erfahren Sie mehr in unseren Videos über ZEISS Sigma

  • Die Entwicklung der ZEISS Gemini-Optik

    ZEISS Gemini Technologie für die Industrie. ZEISS bietet für jede Anwendung die richtige Lösung. Sehen Sie sich das Video an, um die Entwicklung und die Vorteile der Gemini-Technologie zu entdecken.

SEM Broschüre herunterladen

  • ZEISS SEM Brochure A4 DE PDF

    Seiten: 19
    Dateigröße: 32 MB

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