ZEISS SMT Highlights aus dem Geschäftsjahr 2024/25

Vier SMT-Teams wurden bei den ZEISS Innovation Awards nominiert, zwei holten den ersten Platz! Das Team rund um die High-NA-EUV-Technologie gewann in der Kategorie „Leading Edge Technology“. Das NLX-Projektteam, ein Gemeinschaftsprojekt von SMT und RMS, gewann als „High Risk Project“. Alle eingereichten Projekte zeigten Teamarbeit, Innovationskraft und Effizienz.

Martin und Julia haben durch Job-Rotation neue Perspektiven gewonnen und konnten die SMT durch neuen Erfahrungen voranbringen. Julia arbeitete in den USA direkt mit Kunden an Photomasken-Reparatursystemen, während Martin im Supply Chain Management Kosten senkte. Ihr Rat: Mutig sein und neue Herausforderungen annehmen!

„Vielfältige Perspektiven fördern unsere Diversität und unsere Innovationskraft – sie sind der Schlüssel zu bahnbrechenden Lösungen. Die Vielfalt unseres SMT-Teams treibt uns voran: unterschiedliche Kompetenzen, Erfahrungen und Sichtweisen, die gemeinsam Großes bewegen.“

Das Wandeln zwischen Kulturen ist für Hans-Michael Solowan, Standortleiter in Aachen, nichts Neues. Nun wurde das ehemalige PES-Team in die SMT integriert. Das ist gelungen – durch standortübergreifenden Austausch und gemeinsame Veranstaltungen. Das Team arbeitet nun daran, die SMT in den Bereichen Betriebsmittelbau und Automatisierung voranzubringen.

Vielfältige Perspektiven stärken unsere Innovationskraft und bringen uns voran − davon sind wir überzeugt. Deshalb sucht das SMT-Management-Team regelmäßig den Austausch mit Euch – um Ideen und Sorgen direkt zu hören, sie zu diskutieren und gemeinsam in einen Dialog zu kommen. Denn nur gemeinsam bringen wir die SMT voran.

Wir müssen uns und die Organisation umfassend weiterentwickeln, wenn wir langfristig erfolgreich bleiben wollen. Daher gestaltet Transformation@SMT den Wandel bei ZEISS SMT, mit den Programmen BPT, Digital@SMT, SMT2030, EXCEL sowie Commonality. Ein Marathon; aber wichtige Meilensteine wurden bereits erreicht, Lücken identifiziert und Weichen für die Zukunft gestellt.

„ZEISS ist auf dem Weg hin zu einer daten- und prozessgetriebenen Organisation. Als SMT sind wir in den letzten Jahren stark gewachsen, um den Anforderungen des Halbleitermarkts gerecht zu werden. Jetzt gilt es, die neu geschaffenen Kapazitäten effektiv einzusetzen, unsere Performance zu steigern und gleichzeitig kostenbewusst zu handeln. Danke, dass ihr diese Veränderungen mittragt und aktiv an diesem Change teilhabt."

Der Herzschlag der Digitalisierung schlägt bei der SMT – deshalb gehen wir voran. Das Transformationsprogramm DIGITAL@SMT zielt darauf ab, Innovationen zu beschleunigen und Effizienzen zu steigern. In drei Handlungsfeldern; Digital Solutions & Services, Digital R&D, Manufacturing und Supply Chain, sowie Data; ist die gesamte Organisation gefragt, um die digitale Transformation voranzutreiben.

2024 hat das High-NA-EUV-Team Großartiges erreicht. Von den Auslieferungen zahlreicher POBs und Illus bis zu einem Weltrekord – jeder Erfolg ist ein Beweis für Engagement und Teamarbeit. Die Abnahme der ersten Optiken mit dem Endkunden-Feedback „well in spec“ motiviert das Team und treibt es an, weiterhin das Beste zu geben.

Ein Workshop mit Partnern bei ZEISS in Oberkochen im Jahr 1995 war ein wichtiger Meilenstein für die EUV-Lithographie und hat unser digitales Leben verändert. 2012 wurde die erste serienmäßige EUV-Optik von ZEISS (Starlith® 3300) an den strategischen Partner ASML ausgeliefert. 2018 waren dann die ersten Smartphones mit EUV-Mikrochips für Kunden erhältlich.

„Mit unseren Technologien finden wir Lösungen für scheinbar Unlösbares und sind der Herzschlag und Taktgeber der Digitalisierung. Die EUV-Lithographie war die Basis, auf der wir zusammen mit unserem starken Partnernetzwerk mit der High-NA-EUV-Lithographie bereits den nächsten Technologiesprung entwickelt haben, sodass Moore’s Law bis in die 2030er gelten wird. Auch arbeiten wir heute bereits an Hyper-NA-EUV-Lithographie und wollen damit wieder über die Grenzen des Machbaren hinauswachsen – wie in den vergangenen 30 Jahren.“

Seit Ende der 80er sind sie fester Bestandteil unseres Produktportfolios: die Objektive der I-Linie. Obwohl sie sich bewähren, ruht sich das Team nicht auf der Erfolgsgeschichte aus. Jetzt wurde ein neuer Meilenstein erreicht: Das erste Starlith® 260 Objektiv und das dazugehörige Beleuchtungssystem wurden an ASML ausgeliefert. Das Ziel: ein neues Marktsegment bedienen.

Unter dem Motto Challenging the Limits of our Business tauschten wir uns bei der diesjährigen Technologiekonferenz zu den neusten Innovationen und Entwicklungen der Halbleiterbranche aus. In drei Keynotes, 70 Fachvorträgen und 270 Posterpräsentationen erhielten wir Einblicke in aktuelle Projekte. Dirk Zeidler, Peter Graf und Michael Klasna wurden für ihre herausragenden Leistungen ausgezeichnet.

„Die Halbleiterindustrie entwickelt sich rasant – mit KI-getriebenen Innovationen, neuen Packaging-Technologien und wachsender Komplexität. Um unsere Position als Technologie- und Marktführer zu behaupten, müssen wir unsere Ansätze kontinuierlich weiterentwickeln: mit Lösungen für feinste Strukturen, kundenzentrierten Innovationen, neuen Skalierungsmöglichkeiten und mutigen Schritten in der Photonik-Integration.“

Es läuft. Das SMS-Team in China legt ein Rekordtempo hin: 21 Installationen bei Kunden aus der chinesischen Halbleiterbranche – Rekord! Und die Installationszeit wurde um 33 Prozent gesenkt. Statt 26 nur noch 18 Wochen. Ebenfalls Rekord! Mit voller Energie gestalten sie die Zukunft und zeigen, was mit Teamgeist und Ehrgeiz möglich ist – und werden mit zahlreichen Awards belohnt.

Unsere Kunden verlassen sich auf ein zuverlässiges Service-Netzwerk, um ihre Produktionsziele zu erreichen. Ein neuer Hub als Ersatzteilzentrum in Indiana, USA, trägt dazu bei. Kurze Reparaturzeiten aufgrund der verbesserten Verfügbarkeit von Ersatzteilen und unsere spezialisierten Serviceteams sind für Einsätze vor Ort. Ziel ist, die Effizienz und damit die Zufriedenheit der Kunden zu erhöhen.

Mit neuen Reinraumflächen schlägt ZEISS SMS in Roßdorf ein weiteres Kapitel in seiner 20-jährigen Erfolgsgeschichte auf. Am Standort werden Maskenreparatursysteme erforscht und entwickelt. Zur kleinen Eröffnungsfeier kam auch Hessens Ministerpräsident Boris Rhein, ein starkes Signal für die Bedeutung des Standorts.

„Internationalität ist für die SMS ein zentraler Erfolgsfaktor. Die globale Präsenz unserer Kunden und Partner verlangt nicht nur technologisch führende Lösungen auch global verzahnte, skalierbare Prozesse und Strukturen. Mit einem starken Service-Netzwerk und internationaler Zusammenarbeit schaffen wir die Basis für Effizienz, Innovationskraft und nachhaltiges Wachstum."

Beim ersten PCS Technology Afternoon versammelten sich etwa 150 Teilnehmende zum Networking und zum Austausch von Ideen. Kolleginnen und Kollegen konnten ihre neuesten Entwicklungen und Erfolge präsentieren und gemeinsam diskutieren. Höhepunkte waren 34 beeindruckende Poster von MultiSEM GmbH, 3D Tomo und dem Competence Center Systems sowie eine inspirierende Rede von Karoline Piegdon.

„Es reicht nicht, nur die beste Technologie zu haben – entscheidend ist, dass sie ein konkretes Problem unserer Kunden löst. Deshalb hören wir unseren Kunden genau zu, verstehen ihre Herausforderungen und übersetzen ihr Feedback in unsere Produkt-Roadmaps. Dann können wir komplexe Technologien in anspruchsvollen Produktionsumgebungen zur Anwendung bringen und schaffen stolze Leistungen auf allen Seiten!"

Das Sprichwort „Wenn der Berg nicht zum Propheten kommt, muss der Prophet zum Berg kommen“ haben wir wörtlich genommen. Anstatt die tonnenschwere Präzisionsoptik zu bewegen, bewegt sich der viel leichtere Mensch. Dazu wurde der Herstellungsprozess der POB optimiert. Statt einer teuren, höhenverstellbaren Anlage wird nun auf Ergonomie gesetzt. Das spart Kosten und Platz im Reinraum.

Lieferzeiten straffen und gleichzeitig Kosten senken? Klingt fast so, als wolle man den gordischen Knoten lösen. Gelungen ist dies bei der Entwicklung der neuen Photomasken-Reparaturlösung MeRiT® MG neo von ZEISS SMS. Zwei Dinge waren entscheidend: ein starkes Projektteam, das offen, lösungsorientiert und mutig agiert hat und ein klarer Kompass.

„Um weiterhin Markt- und Technologieführer zu bleiben, müssen wir auch bei den Kosten wettbewerbsfähig werden. Ziel ist es, Kostenbewusstsein als Teil unserer Unternehmenskultur zu stärken, und – neben Innovation – in der DNA der SMT zu verankern. Die Cultural Journey mit den Leitthemen „FRED & Friends“ dient uns dabei als Kompass und fokussiert darauf, unternehmerisches Handeln als Mindset in den Köpfen der Mitarbeitenden zu stärken."

Heute schon etwas Nachhaltiges gemacht? Eher nicht? Könnte mehr sein? Keine Sorge – geht uns allen so. Aber kleine Ideen können einen großen Unterschied machen. Das zeigen Eure Ideen – aber auch eine simple Idee aus dem Reinraum, die 3,3 Gwh Energie einspart – das größte Einsparpotenzial, das die SMT jemals in Deutschland realisiert hat. Deswegen: einfach mal „out of the box“ denken. Jeder kleine Beitrag ist wichtig!