Produktionsprozess von Spiegeln in der Lithographie-Optik
Semiconductor Manufacturing Technology

Mirror Routing Assistent

Anpassbare und nachhaltige Software für sich verändernde Anforderungen

Der Mirror Routing Assistent (MiRA) unterstützt den Produktionsprozess von Spiegeln, die in Lithographie-Optiken von ZEISS bei der Herstellung modernster Computerchips zum Einsatz kommen. Die Software visualisiert die komplexen Mess- und Analysedaten der Spiegel in den verschiedenen Produktionsstufen. Der Benutzer ist jederzeit über den aktuellen Qualitätszustand eines solchen Spiegels informiert und kann dessen Freigabe-Workflow steuern.

Hochpräzisionsoptik in der Halbleiterindustrie
Hochpräzisionsoptik in der Halbleiterindustrie

Aufgabenfeld der ZEISS Digital Innovation

ZEISS Digital Innovation entwickelt eine Software, die den Fertigungs- und Bewertungsprozess für ein optisches Bauteil in Maschinen der Halbleiterfertigung unterstützt. Dies dient sowohl der Produktion von Bauteilen neuester Technologien als auch den damit einhergehenden neuen Prozessen. Die neugestaltete Anwendung (MiRA) wird die Funktionalität der bisher genutzten Software bieten und für zukünftige Anforderungen unkompliziert anpassbar und erweiterbar sein. Der Endanwender soll dabei effektiv und effizient bei der Visualisierung von komplexen Bewertungsgrößen und den daraus resultierenden Interaktionen unterstützt werden. Somit stellt neben der Umsetzung einer zukunftsfähigen technologischen Basis auch die Usability und die damit verbundene nutzerzentrierte Gestaltung der UI einen Schwerpunkt des Projektes dar.

Da die Prozesse, die mit der Anwendung der ZEISS Digital Innovation unterstützt werden, gerade erst entstehen, wird die Lösung auf sich stark ändernden, noch nicht feststehenden Grundlagen aufgebaut. Die Software soll durch externe Entwicklungsteams Frontend- und Backend-seitig dynamisch durch Plugins erweitert werden können. Die eigentliche Software bleibt dabei unangetastet. Es erfolgen keine Code-Änderungen und kein Eingriff in die laufende Applikation.

Thomas Krauss Modulverantwortlicher und Architekt MiRA GUI - ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology

Durch eine sehr enge und intensive Zusammenarbeit zwischen den Entwicklungsteams von ZEISS Digital Innovation und den Stakeholdern wurde in einem komplexen Umfeld mit vielen Unbekannten eine herausragende Softwarelösung entwickelt. Über den agilen und inkrementellen Ansatz konnte dabei schon sehr früh eine erste Version produktiv bereitgestellt und regelmäßig um neue Funktionen erweitert werden. Dabei wurde kontinuierlich auf eine hohe Qualität der Software sowie der zugehörigen Artefakte geachtet.

Erbrachte Leistungen

  • Planung und Anforderungsmanagement
  • Stakeholder-Koordination
  • Konzeptentwicklung und Entwurf der Architektur
  • Implementierung von Backend und Frontend
  • UI/UX-Design
  • Testautomatisierung
  • Qualitätssicherung & Dokumentation
  • Lifecycle Management
  • Unterstützung beim Betrieb und der laufenden Weiterentwicklung der Anwendung
     
Simon Rittmeyer Architekt Bewertungsprozesse - ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology

Die bei der ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology entwickelten high-end Produktionsprozesse erzeugen eine Vielzahl komplexer Daten. Unser Partner, die ZEISS Digital Innovation, hat durch ihre Kompetenzen in den Bereichen Visualisierung, User Experience und Webapplikationsentwicklung dazu beigetragen, diese komplexen Strukturen für Nutzer aufzubereiten und intuitiv nutz- und navigierbar zu machen. Bei der Entwicklung der MiRA UI hat sich insbesondere das agile, nutzerorientierte und gemeinschaftliche Vorgehen unseres Partners als großer Vorteil erwiesen.

Projektvorgehen

Diese Anforderung stellte eine erhebliche technologische Herausforderung dar. Der Start des Projektes erfolgte daher mit einem ZEISS Digital Innovation Team aus Requirements Engineer, UX Designer, Architekten, Entwicklern und einem Scrum Master. Im Sommer 2022 wurde das Team um ein zweites Projektteam ergänzt. Beide Teams bearbeiten verschiedene Produktfamilien in der Software. Die Planung und Durchführung des gesamten Projektes erfolgt agil, auf Scrum basierend.

Im Verlauf des Projektes werden den Anwendern regelmäßig neue Versionen zur Verfügung gestellt. Die zukünftigen Benutzer haben in der Produktions- und Preview-Umgebung Zugriff auf die neuen Versionen der Software. Ihr Feedback dazu wird direkt in unser Produkt-Backlog eingearbeitet. Die Festlegung der Meilensteine erfolgt maßgeblich durch den Product Owner, der vom Kunden gestellt wird, in Abstimmung mit den Stakeholdern und in Zusammenarbeit mit dem Entwicklungsteam.

Das UI/UX-Team des Projektes besteht aus Mitarbeitenden des Kunden und der ZEISS Digital Innovation. Das UI-Feindesign verantwortet der Kunde. Sowohl ZEISS Digital Innovation als auch der Kunde profitieren von den neu erlangten Erkenntnissen, z. B. über die dafür vorgesehenen Plattformen innerhalb der Fachbereiche.

Technisches Umfeld

  • Frontend: Angular 13, RxJs, Nx, Cypress (E2E-Test), Karma (Frontend Unittests), NgRx, ZUi WebComponents, paper.js, Syncfusion
  • Backend: C# / .NET 6, ASP.NET Core, REST, GraphQL
  • Infrastruktur: Docker, Kubernetes, Oracle, Liquibase
  • Azure DevOps
  • Bereiche RE/UX/UI: Azure DevOps, Axure RP, FIGMA, MS Office
     

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