Objektivsysteme für die Bildaufnahme

Zu unserem Leistungsspektrum gehört die Fertigung von Optiken für die Verwendung mit UV-Licht für alle Wellenlängen bis 193 nm.

Objektivsysteme für die Bildaufnahme

Dafür beherrschen wir die Prozesskette, angefangen beim Design bis hin zur Fertigung, Optikbeschichtung und Justage. Haben unsere Kunden besonders anspruchsvolle Aufgabenstellungen, kombinieren wir klassische Linsen und mikrostrukturierte Elemente, sogenannte diffraktive Strukturen. Damit können auch hoch aufgelöste Bilder aufgenommen werden, beispielsweise die sogenannten OPC-Maskenstrukturen (Optical Proximity Corrections).

 

Für die speziellen Anforderungen bei der Montage dieser Objektive haben wir neuartige Lösungen entwickelt. Zum Beispiel sind die großen Durchmesser der Frontlinsen besonders empfindlich gegenüber induzierten mechanischen Spannungen. Eine besondere Herausforderung ist die Verwendung von Hybridobjektiven, mit der die Standardbaulänge von 45 mm für Mikroskope realisiert werden kann.

Beispiel für ein Objektivsystem für die Bildaufnahme

Arbeitsabstand
7,8 mm
Arbeitswellenlänge
193 ± 0,5 nm
Vergrößerung 50 x
Numerische Apertur
0,65
Baugröße 45 mm
Linsenmaterial
Silica