ZEISS SMT eröffnet neue Reinräume am Standort Roßdorf

• Die Sparte ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) hat ihren Forschungs- und Entwicklungsstandort Roßdorf ausgebaut.
• 300 Quadratmeter Reinraumfläche sind neu hinzugekommen.
• Hessens Ministerpräsident Boris Rhein: „Ein starkes Zeichen für unseren Wirtschaftsstandort“.

Die ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) hat an ihrem Forschungs- und Entwicklungsstandort im südhessischen Roßdorf 300 Quadratmeter zusätzliche Reinraumfläche in Betrieb genommen – ein Flächenzuwachs von 80 Prozent. Damit stärkt das Unternehmen seine Position in einem hochspezialisierten Bereich der Halbleiterproduktion: der Entwicklung hochpräziser Maskenreparatursysteme. Die Maßnahme ist Teil eines größeren Investitionspakets mit einem Gesamtvolumen von mehr als 20 Millionen Euro. „Die Halbleiterindustrie ist von zentraler Bedeutung für nahezu alle Zukunftstechnologien – vom autonomen Fahren bis zur künstlichen Intelligenz. Dass ein Unternehmen wie ZEISS gerade in Hessen investiert, ist ein starkes Zeichen für unseren Wirtschaftsstandort“, sagt Hessens Ministerpräsident Boris Rhein. Er nahm an einer kleinen Eröffnungsfeier am 17. September 2025 in Roßdorf teil und besichtigte bei dieser Gelegenheit auch den Standort. Rund 280 Mitarbeitende des strategischen Geschäftsbereichs ZEISS Semiconductor Mask Solutions (SMS) sind in Roßdorf beschäftigt.

Mit den neuen Reinräumen schafft ZEISS SMT nicht nur optimale Bedingungen für Präzisionsarbeit im Nanometerbereich – sauber, vibrationsfrei und kontrolliert –, sondern auch dringend benötigten Raum: Die Erweiterung bietet Platz für vier zusätzliche Tools, hochspezialisierte Anlagen, die die Herstellung defektfreier High-End-Photomasken ermöglichen. „Die Inbetriebnahme ist ein Meilenstein für unseren Geschäftsbereich“, sagt Dr. Clemens Neuenhahn, Leiter ZEISS SMS. „Wir erweitern gezielt unsere Forschungs- und Entwicklungskapazitäten, um der steigenden technologischen Komplexität in der Maskenreparatur gerecht zu werden. ZEISS investiert traditionell in Forschung und Infrastruktur – das ist eine zentrale Voraussetzung, um auch in Zukunft Technologieführer zu bleiben.“ Roßdorf ist seit 2005 ein Standort von ZEISS SMT – damals hatte ZEISS die NaWoTec GmbH, ein Spin-off der Deutschen Telekom, übernommen. „In den vergangenen 20 Jahren ist unser Team stark gewachsen: 2015 waren wir rund 80 Mitarbeitende, heute rund 280. Diese Entwicklung zeigt, was mit Start-up-DNA, dem Rückhalt eines globalen Technologiekonzerns und dem Tech-Ökosystem rund um Darmstadt möglich ist“, sagt Dr. Patrick Villwock, Entwicklungs- und Standortleiter ZEISS SMT in Roßdorf.

Roßdorf bietet als Standort gleich mehrere Vorteile: Die Lage in der Metropolregion Rhein-Main sorgt für eine exzellente Verkehrsanbindung – mit dem Frankfurter Flughafen als internationales Logistik- und Reisedrehkreuz. Auch die Nähe zur Wissenschaftsstadt Darmstadt, deren Technischen Universität und Forschungseinrichtungen ist ein entscheidender Pluspunkt. ZEISS pflegt intensive Netzwerke mit Studierenden und Lehrenden und profitiert von der Nähe zu akademischen Talenten. Darüber hinaus besteht eine Forschungskooperation mit dem ZEISS Innovation Hub @ KIT in Karlsruhe – einem interdisziplinären Entwicklungszentrum an der Schnittstelle von Wissenschaft und Industrie.

Photomasken dienen in der Mikrochipfertigung als optische Vorlage, mit der feinste Nanostrukturen auf Silizium-Wafer belichtet werden – vergleichbar mit einem extrem präzisen Dia. Schon kleinste Defekte auf diesen Masken können zu Ausschuss führen und damit Qualität und Wirtschaftlichkeit der Produktion beeinträchtigen. Die am Standort Roßdorf entwickelten MERiT®-Systeme von ZEISS SMT beheben solche Fehler berührungslos, mit Elektronenstrahltechnologie und Nanometer-Präzision – ohne die Masken zu beschädigen. Sie tragen dazu bei, die Ausbeute in der Produktion zu sichern und die Qualität moderner Mikrochips zu gewährleisten. Alle großen Halbleiterhersteller weltweit setzen die Systeme von ZEISS SMT ein, um Photomasken zuverlässig zu reparieren. Weil Mikrochips immer kleiner, leistungsfähiger und energieeffizienter werden, steigen auch die Anforderungen an die Reparaturverfahren. Deshalb wird die Technologie in Roßdorf kontinuierlich weiterentwickelt.