Shalom SMT!

Sieben Standorte prägen die Zukunft der Halbleiterlithographie: SMT-Teams arbeiten in Jena, Wetzlar, Roßdorf und Oberkochen, in den USA in Dublin sowie in Danvers – und nicht zuletzt auch in Israel.

Israel ist eine der weltweit führenden Hightech-Regionen. Im „Global Startup Ecosystem Ranking 2021“ belegt das Land Platz sieben – nach dem Silicon Valley, aber noch vor Shanghai, Tokio und Seattle. In Israel wurde unter anderem der USB-Stick erfunden, die Gesichtserkennungssoftware von Apple entwickelt und Google-Algorithmen weiterentwickelt.

Im Jahr 2008 übernahm ZEISS das Start-up-Unternehmen Pixer Technology, das sich auf die Optimierung von Maskenparametern für Photolithographie spezialisiert hat. Seitdem forscht, entwickelt und produziert ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) am Standort Bar Lev nördlich von Haifa. Die Region ist von Hightech-Firmen geprägt und deshalb gibt es hier viele gut ausgebildete IT- und Hardware-Spezialisten. Darüber hinaus haben sich hier bekannte Gerätehersteller wie KLA (führend in der Prozesssteuerung) und Applied Materials (führend in der Werkstofftechnik) sowie weitere Softwarefirmen und Hardwareproduzenten angesiedelt.

Das ZEISS Team in Bar Lev besteht aus insgesamt 55 Mitarbeitenden mit unterschiedlichen Hintergründen – und diese Zahl wächst ständig. Durch Job-Rotation erhält das Team zudem regelmäßig Verstärkung aus anderen SMT-Standorten.

Die Maskentuning-Systeme aus Israel tragen den Namen ForTune und definieren die Möglichkeiten und Grenzen der Photolithographie immer wieder neu. Eine spezifische Laserbearbeitung der Photomaske ermöglicht die Optimierung von Maskenparametern. Dadurch werden Fehler während des Belichtungsprozesses reduziert. Genauer gesagt: ForTune-Systeme reduzieren das Wafer-On-Product-Overlay im DUV-Bereich und optimieren das Mix-and-Match-Overlay im EUV-Bereich. ForTune hilft damit Halbleiter-Herstellern, selbst anspruchsvolle Spezifikationen einzuhalten und reduziert die Wahrscheinlichkeit von Prozessdefekten während der Waferbelichtung.

Die SMT-Mitarbeitenden in Bar Lev haben große Pläne. Mittlerweile sind sie ein Global Player für die Halbleiterindustrie und die Auftragsbücher sind gut gefüllt. Zu ihren Kernzielgruppen gehören Maskenhäuser und Halbleiterfabriken. In Zukunft will das Team Software und Hardware für Maskentuning-Systeme weiter verbessern und neue Marktanteile gewinnen.

Eine Team-Aufgabe, die nur mit vereinten Kräften zu schaffen ist. Deshalb hat die Interaktion mit anderen Entwicklungs-Teams und Sales and Service Companies (SSCs) in der letzten Zeit stark zugenommen. Aber nicht nur die Kommunikation, auch die Aufgaben im Rahmen dieser Partnerschaften wachsen. Dazu zählen zum Beispiel die Weiterentwicklung des Maskentuning Portfolios sowie der Kompetenz-Ausbau im Bereich Plattformentwicklung. Dazu kommen erweiterte Produktionsmanagement-Aufgaben für andere ZEISS Produktbereiche – zum Beispiel für Metrology, Repair und Process Control Solutions. Mehr Aufgaben verlangen nach zusätzlichen klugen Köpfen und helfenden Händen.