MCS Gerät
Spektrometer-Module

ZEISS MCS Serie

Flexibles High-Performance-Spektrometer

MCS UV-NIR bietet ein bemerkenswertes Leistungsniveau im Spektralbereich von 190 - 1015 nm mit großer Flexibilität dank verschiedener optischer Eingangs- und Gehäusedesigns und Detektoroptionen für außergewöhnliches Signal/Rauschen oder höchste Empfindlichkeit.

  • Hohe Auflösung
  • Schnelles Auslesen
  • Langzeitkalibriert
  • Große NA (0,22)
  • Wiederholpräzision
MCS Gerät Seitenansicht

MCS Spektrometer-Design

Eigenschaften

Das ZEISS MCS mit hohen Lichtdurchsatz bei einer NA von 0,22 verfügt über einen fasergekoppelten SMA-Querschnittswandler und variablen Spalt als optischen Eingang. Aberrationskorrigierte holografische Gitter von ZEISS sorgen für ein flaches spektrales Bild von 25 mm. Es werden verschiedene Materialien (Keramik/Aluminium) und Gehäuseformen angeboten. MCS Module sind mit PDA-Arrays für höchste SNR>11.000 oder BT-CCD-Detektoren für Anwendungen bei schwachem Licht erhältlich.

MCS FLEX Gerät

MCS Kundenspezifische Optionen

Ihr Partner für OEM-Anwendungen

  • Optical input: SMA-Querschnittswandler/FC-Anschluss und/oder kundenspezifischer Spalt 20/40/50/70 μm
  • ZEISS Gitter mit verschiedenen Blaze-Wellenlängen (200/250/300/750 nm)
  • Kundenspezifischer Spektralbereich von 190 - 1100 nm
  • TE-gekühlte/ungekühlte BT-CCD oder PDA-Detektoroptionen
  • Betriebselektronik mit USB 2.0/3.0/Ethernet-Interface
  • ZEISS Aspect Software oder SDK
  • Hohe Skalierbarkeit für Serienproduktion
MCS Spektrometer-Modul neben der Plasmakammer im Reinraum

MCS Anwendungen

ZEISS Hochleistungs-Allrounder

  • Dickenmessung: Displays, Photoresists, dielektrische Schichten, Beschichtungen
  • Halbleiter: Plasmaüberwachung, Messung kritischer Dimensionen, CMP, Scheibeninspektion
  • Pharma: Komponentenanalyse, Hochdruckflüssigkeitschromatographie
  • Umweltsensoren: Überwachung der Umweltverschmutzung, kontinuierliche Emissionsüberwachungssysteme
  • Nahrungsmittel und Landwirtschaft: Obstsortierung, Fleisch und Milchprodukte, Überwachung der Pflanzengesundheit

Spezifikationen

MCS CCD Hohe (UV-)Empfindlichkeit, Gehäuse aus Keramik
MCS FLEX CCD Hohe (UV-)Empfindlichkeit, Gehäuse aus Aluminiumlegierung
MCS PDA Außergewöhnliches SNR,
Keramikgehäuse  
MCS FLEX PDA Außergewöhnliches SNR, Gehäuse aus Aluminiumlegierung

Allgemeines

Spektralbereich

190 - 980 nm

190 - 1015 nm

Auflösung (FWHM)

3 nm

3 nm

Streulicht

< 0,1 % (@340 nm, Deuteriumlampe, NaNO2 50 g/l, 1 cm)

< 0,1 % (@340 nm, Deuteriumlampe, NaNO2 50 g/l, 1 cm)

Wellenlängengenauigkeit

≤ 0,5 nm

≤ 0,3 nm

Temperaturdrift

< 0,01 nm/K

< 0,009 nm/K

< 0,005 nm/K

< 0,009 nm/K

Optischer Eingang

SMA mit Querschnittswandler (Ø 0,5 mm Eingang, 70 x 1400 μm Ausgang), optionaler Spalt (20/40/50/70 μm)

SMA mit Querschnittswandler (Ø 0,5 mm Eingang, 70 x 2400 μm Ausgang), optionaler Spalt (20/40/50/70 μm)

Numerische Apertur

0,22

0,22

Gitter

248 l/mm geblazed für 250/750 nm

248 l/mm geblazed für 250 nm

248 l/mm, geblazed für 200/250/750 nm

248 l/mm geblazed für 250 nm

Detektor

Detektortyp

Hamamatsu BT-CCD S7031-1006 (1044 x 64 px)

Hamamatsu NMOS S3904-1024Q (1024 px)

Pixelgröße

24 x 24 μm

25 x 2500 μm

Signal/Rauschen

1000

12000

Elektronik (optional)

Digitalisierung

16-bit ADC

16-bit ADC

Integrationszeit

> 3 ms

> 1,1 ms

Schnittstelle

USB 2.0, 3.0 / Ethernet

USB 2.0, 3.0 / Ethernet

Umweltanforderungen / Sonstiges

Betriebstemperatur

0... 65 °C (nicht kondensierend)

0... 65 °C (nicht kondensierend)

Abmessungen L x W x H

177 x 75 x 128 mm³

160 x 68 x 122 mm³ (Kurzfaser-Konverter), 198 x 68 x 122 mm³ (Langfaser-Konverter)

159 x 75 x 108 mm³

160 x 62 x 122 mm³

MCS UV-NIR Varianten Auswahl nach Spektralbereich

  • Spektralbereich
    Detektor

    MCS CCD UV-NIR

    190 - 980 nm

    Hamamatsu BT-CCD S7031-1006 (1044x64 px), TE-gekühlt

    MCS CCD NIR

    600 - 980 nm

    Hamamatsu BT-CCD S7031-0906 (532x64 px), TE-gekühlt

  • Spektralbereich
    Detektor

    MCS FLEX CCD UV-NIR

    190 - 980 nm

    Hamamatsu BT-CCD S7031-1006 (1044x64 px), TE-gekühlt

  • Spektralbereich
    Detektor

    MCS PDA UV

    200 - 620 nm

    Hamamatsu NMOS S3904-512Q (512 px)

    MCS PDA UV-VIS

    300 - 720 nm

    Hamamatsu NMOS S3904-512Q (512 px)

    MCS PDA UV-NIR

    190 - 1015 nm

    Hamamatsu NMOS S3904-1024Q (1024 px)

    MCS PDA VIS

    360 - 780 nm

    Hamamatsu NMOS S3904-512Q (512 px)

    MCS PDA NIR

    695 - 1100 nm

    Hamamatsu NMOS S3904-512Q (512 px)

  • Spektralbereich
    Detektor

    MCS FLEX PDA UV-NIR

    190 - 1015 nm

    Hamamatsu NMOS S3904-1024Q (1024 px)

Downloads

ZEISS MCS Spektrometer-Serie

    • ZEISS Spektrometermodule

      Kompendium Produkte, elektronische Komponenten und Softwarelösungen

      Seiten: 27
      Dateigröße: 2 MB
    • ZEISS OEM Spectrometers for Semiconductor Process Control

      Semiconductor Process Control

      Seiten: 3
      Dateigröße: 1 MB
    • ZEISS MCS Dimensions

      Seiten: 1
      Dateigröße: 2 MB
    • ZEISS MCS FLEX Dimensions

      Seiten: 1
      Dateigröße: 1 MB

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