Spektrometer-Module

ZEISS MCS Serie

Flexibles High-Performance-Spektrometer

MCS UV-NIR bietet ein bemerkenswertes Leistungsniveau im Spektralbereich von 190 - 1015 nm mit großer Flexibilität dank verschiedener optischer Eingangs- und Gehäusedesigns und Detektoroptionen für außergewöhnliches Signal/Rauschen oder höchste Empfindlichkeit.

Hohe Auflösung
Schnelles Auslesen
Langzeitkalibriert
Große NA (0,22)
Wiederholpräzision

MCS Spektrometer-Design

Eigenschaften

Das ZEISS MCS mit hohen Lichtdurchsatz bei einer NA von 0,22 verfügt über einen fasergekoppelten SMA-Querschnittswandler und variablen Spalt als optischen Eingang. Aberrationskorrigierte holografische Gitter von ZEISS sorgen für ein flaches spektrales Bild von 25 mm. Es werden verschiedene Materialien (Keramik/Aluminium) und Gehäuseformen angeboten. MCS Module sind mit PDA-Arrays für höchste SNR>11.000 oder BT-CCD-Detektoren für Anwendungen bei schwachem Licht erhältlich.

MCS Kundenspezifische Optionen

Ihr Partner für OEM-Anwendungen

Optical input: SMA-Querschnittswandler/FC-Anschluss und/oder kundenspezifischer Spalt 20/40/50/70 μm
ZEISS Gitter mit verschiedenen Blaze-Wellenlängen (200/250/300/750 nm)
Kundenspezifischer Spektralbereich von 190 - 1100 nm
TE-gekühlte/ungekühlte BT-CCD oder PDA-Detektoroptionen
Betriebselektronik mit USB 2.0/3.0/Ethernet-Interface
ZEISS Aspect Software oder SDK
Hohe Skalierbarkeit für Serienproduktion

MCS Spektrometer-Modul neben der Plasmakammer im Reinraum

MCS Anwendungen

ZEISS Hochleistungs-Allrounder

Dickenmessung: Displays, Photoresists, dielektrische Schichten, Beschichtungen
Halbleiter: Plasmaüberwachung, Messung kritischer Dimensionen, CMP, Scheibeninspektion
Pharma: Komponentenanalyse, Hochdruckflüssigkeitschromatographie
Umweltsensoren: Überwachung der Umweltverschmutzung, kontinuierliche Emissionsüberwachungssysteme
Nahrungsmittel und Landwirtschaft: Obstsortierung, Fleisch und Milchprodukte, Überwachung der Pflanzengesundheit

Spezifikationen

	MCS CCD Hohe (UV-)Empfindlichkeit, Gehäuse aus Keramik	MCS FLEX CCD Hohe (UV-)Empfindlichkeit, Gehäuse aus Aluminiumlegierung	MCS PDA Außergewöhnliches SNR, Keramikgehäuse	MCS FLEX PDA Außergewöhnliches SNR, Gehäuse aus Aluminiumlegierung
Allgemeines
Spektralbereich	190 - 980 nm		190 - 1015 nm
Auflösung (FWHM)	3 nm		3 nm
Streulicht	< 0,1 % (@340 nm, Deuteriumlampe, NaNO₂ 50 g/l, 1 cm)		< 0,1 % (@340 nm, Deuteriumlampe, NaNO₂ 50 g/l, 1 cm)
Wellenlängengenauigkeit	≤ 0,5 nm		≤ 0,3 nm
Temperaturdrift	< 0,01 nm/K	< 0,009 nm/K	< 0,005 nm/K	< 0,009 nm/K
Optischer Eingang	SMA mit Querschnittswandler (Ø 0,5 mm Eingang, 70 x 1400 μm Ausgang), optionaler Spalt (20/40/50/70 μm)		SMA mit Querschnittswandler (Ø 0,5 mm Eingang, 70 x 2400 μm Ausgang), optionaler Spalt (20/40/50/70 μm)
Numerische Apertur	0,22		0,22
Gitter	248 l/mm geblazed für 250/750 nm	248 l/mm geblazed für 250 nm	248 l/mm, geblazed für 200/250/750 nm	248 l/mm geblazed für 250 nm
Detektor
Detektortyp	Hamamatsu BT-CCD S7031-1006 (1044 x 64 px)		Hamamatsu NMOS S3904-1024Q (1024 px)
Pixelgröße	24 x 24 μm		25 x 2500 μm
Signal/Rauschen	1000		12000
Elektronik (optional)
Digitalisierung	16-bit ADC		16-bit ADC
Integrationszeit	> 3 ms		> 1,1 ms
Schnittstelle	USB 2.0, 3.0 / Ethernet		USB 2.0, 3.0 / Ethernet
Umweltanforderungen / Sonstiges
Betriebstemperatur	0... 65 °C (nicht kondensierend)		0... 65 °C (nicht kondensierend)
Abmessungen L x W x H	177 x 75 x 128 mm³	160 x 68 x 122 mm³ (Kurzfaser-Konverter), 198 x 68 x 122 mm³ (Langfaser-Konverter)	159 x 75 x 108 mm³	160 x 62 x 122 mm³

MCS UV-NIR Varianten Auswahl nach Spektralbereich

	Spektralbereich	Detektor
MCS CCD UV-NIR	190 - 980 nm	Hamamatsu BT-CCD S7031-1006 (1044x64 px), TE-gekühlt
MCS CCD NIR	600 - 980 nm	Hamamatsu BT-CCD S7031-0906 (532x64 px), TE-gekühlt

	Spektralbereich	Detektor
MCS FLEX CCD UV-NIR	190 - 980 nm	Hamamatsu BT-CCD S7031-1006 (1044x64 px), TE-gekühlt

	Spektralbereich	Detektor
MCS PDA UV	200 - 620 nm	Hamamatsu NMOS S3904-512Q (512 px)
MCS PDA UV-VIS	300 - 720 nm	Hamamatsu NMOS S3904-512Q (512 px)
MCS PDA UV-NIR	190 - 1015 nm	Hamamatsu NMOS S3904-1024Q (1024 px)
MCS PDA VIS	360 - 780 nm	Hamamatsu NMOS S3904-512Q (512 px)
MCS PDA NIR	695 - 1100 nm	Hamamatsu NMOS S3904-512Q (512 px)

	Spektralbereich	Detektor
MCS FLEX PDA UV-NIR	190 - 1015 nm	Hamamatsu NMOS S3904-1024Q (1024 px)

Downloads

ZEISS MCS Spektrometer-Serie

ZEISS Spektrometermodule

Kompendium Produkte, elektronische Komponenten und Softwarelösungen

Seiten: 27

Dateigröße: 2 MB

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ZEISS OEM Spectrometers for Semiconductor Process Control

Semiconductor Process Control

Seiten: 3

Dateigröße: 1 MB

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ZEISS MCS Dimensions

Seiten: 1

Dateigröße: 2 MB

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ZEISS MCS FLEX Dimensions

Seiten: 1

Dateigröße: 1 MB

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