Sie haben schon mehrmals die EUV-Lithographie erwähnt. Warum ist sie so wichtig?
Die Lithographie ist ein Druckverfahren, das Ende der 1700er Jahren erfunden wurde. Sie kommt heute in vielen Bereichen zum Einsatz, unter anderem bei der Herstellung von Halbleitern.
Vor der Entwicklung der EUV-Lithographie arbeitete man mit der sogenannten 193-Nanometer-Lithographie. Ohne zu sehr in technische Details zu gehen, bedeutet das im Wesentlichen, dass wir jetzt Licht mit einer noch kleineren Wellenlänge verwenden können, um eine Struktur auf einen Wafer zu projizieren.
Um zu verstehen, warum das von Bedeutung ist, müssen wir uns den Motor der Produktivität ansehen, von dem die Welt in den vergangenen 50 Jahren profitierte: das Mooresche Gesetz. Es besagt, dass sich die Rechen- und Speicherleistung von Mikrochips etwa alle zwei Jahre verdoppelt. Dieses Gesetz gilt seit den 1970er Jahren und hat der Menschheit in dieser Zeit eine immer höhere Produktivität beschert. Aber das Mooresche Gesetz würde bald zum Stillstand kommen, wenn wir nicht die EUV-Lithographie entwickelt hätten. Ohne diese Technologie würde die Welt, wie wir sie kennen – mit neuen und leistungsfähigeren Computern alle zwei Jahre – ihr Ende erreichen.