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Die Zukunft der Mikrochip-Herstellung gestalten

Erik Loopstra und Vadim Banine für den Europäischen Erfinderpreis 2018 nominiert

APR 24, 2018 · 2 Min. Lesedauer

München/Deutschland, Oberkochen/Deutschland | ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology

Das Europäische Patentamt nominiert Erik Loopstra und Vadim Banine für ihre Beiträge zur Entwicklung der Extreme Ultraviolet Lithographie (EUV). Erik Loopstra, ursprünglich bei ASML tätig, arbeitet seit Jahren am ZEISS Standort Oberkochen im Unternehmensbereich Semiconductor Manufacturing Technology eng mit ASML- und ZEISS Mitarbeitern zusammen. Vadim Banine ist Director of Research beim Halbleiter-Equipment-Hersteller ASML.

Der Ingenieur Erik Loopstra und der Physiker Vadim Banine wurden vom Europäischen Patentamt in der Kategorie „Industrie“ für den Europäischen Erfinderpreis nominiert. Beide haben gemeinsam mit ihren Ingenieurs- und Forscherteams bahnbrechende Erfindungen für die Extreme Ultraviolet Lithography (EUV) entwickelt. EUV-Lithographie ermöglicht, geometrische Strukturen auf sogenannte Wafer, welche die Basis für Mikrochips bilden, in nie gekannter Präzision aufzubringen. Dadurch wird nicht nur Moores Law weitergetrieben, sondern es können künftig auch Mikrochips hergestellt werden, deren Detailstrukturen 8 Nanometer groß sein werden – das entspricht 8 Millionstel Millimeter.

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    Vadim Banine (links), Director Research bei ASML, und Systemingenieur Erik Loopstra, vor einem Model eines ASML Lithographiesystems.
      

Dies ist für den Halbleiterausrüstungshersteller ASML und seinen strategischen Partner Carl Zeiss SMT GmbH ein Durchbruch nach zwei Jahrzehnten enger Forschungskooperation aus Wissenschaftlern und Lieferanten. Die EUV-Technologie erreichte damit 2017 Marktreife. Nun kann eine neue Generation von Chips hergestellt werden, die gegenüber älteren Herstellungsmethoden schneller und einfacher produziert wird. Die neue Technologie spart nicht nur Chipherstellern Zeit und Kosten ein, sondern wird vor allem Innovationen in den Bereichen Heimelektronik, Gesundheit, Unterhaltung, Autonomes Fahren, Robotik und Künstliche Intelligenz antreiben.

Moderne Computerchips müssen bei stetig steigender Funktionalität in immer höherem Tempo immer größere Datenmengen verarbeiten. Gleichzeitig sollen weder Energieverbrauch noch Fertigungskosten pro Chip steigen. Diese Entwicklung kann nur dann fortgeführt werden, wenn die Anzahl der integrierten Schaltkreise, die auf einem Mikrochip Platz finden, immer weiter steigt. Genau dies erlaubt die EUV-Lithographie“, sagt Dr. Karl Lamprecht, Mitglied des Vorstands der ZEISS Gruppe und Vorsitzender der Geschäftsführung der Carl Zeiss SMT GmbH. „Indem Erik Loopstra und Vadim Banine ihre Fähigkeiten als Ingenieur und Physiker miteinander kombiniert haben, konnten sie signifikant dazu beitragen, eine Technologie zu entwickeln, die es ermöglichen wird, die nächste Generation von Mikrochips herzustellen“, fügt der Präsident des Europäischen Patentamts, Benoît Battistelli, hinzu.

Wer von den Nominierten zu den Gewinnern des Europäischen Erfinderpreises zählt, wird am 7. Juni 2018 in Paris Saint-Germain-en-Laye bekannt gegeben. Der Europäische Erfinderpreis ist einer der wichtigsten Innovationspreise in Europa. Er wird seit 2006 jährlich vom Europäischen Patentamt verliehen. Mit dem Preis werden einzelne Erfinder und Teams von Erfindern ausgezeichnet, die mit ihren Entwicklungen dazu beitragen, technische Antworten auf die zentralen Herausforderungen unserer Zeit zu finden.

Über ZEISS

ZEISS ist ein weltweit führendes Technologieunternehmen der optischen und optoelektronischen Industrie. In den vier Sparten Semiconductor Manufacturing Technology, Industrial Quality & Research, Medical Technology und Consumer Markets erwirtschaftete die ZEISS Gruppe zuletzt einen Jahresumsatz von über 6,4 Milliarden Euro (Stand: 30.9.2019).

ZEISS entwickelt, produziert und vertreibt für seine Kunden hochinnovative Lösungen für die industrielle Messtechnik und Qualitätssicherung, Mikroskopielösungen für Lebenswissenschaften und Materialforschung sowie Medizintechniklösungen für Diagnostik und Therapie in der Augenheilkunde und der Mikrochirurgie. ZEISS steht auch für die weltweit führende Lithographieoptik, die zur Herstellung von Halbleiterbauelementen von der Chipindustrie verwendet wird. ZEISS Markenprodukte wie Brillengläser, Fotoobjektive und Ferngläser sind weltweit begehrt und Trendsetter.

Mit diesem auf Wachstumsfelder der Zukunft wie Digitalisierung, Gesundheit und Industrie 4.0 ausgerichteten Portfolio und einer starken Marke gestaltet ZEISS den technologischen Fortschritt mit und bringt mit seinen Lösungen die Welt der Optik und angrenzende Bereiche weiter voran. Grundlage für den Erfolg und den weiteren kontinuierlichen Ausbau der Technologie- und Marktführerschaft von ZEISS sind die nachhaltig hohen Aufwendungen für Forschung und Entwicklung.

Mit über 31.000 Mitarbeitern ist ZEISS in fast 50 Ländern mit rund 30 Produktionsstandorten, 60 Vertriebs- und Servicestandorten sowie 25 Forschungs- und Entwicklungsstandorten weltweit aktiv. Hauptstandort des 1846 in Jena gegründeten Unternehmens ist Oberkochen, Deutschland. Alleinige Eigentümerin der Dachgesellschaft, der Carl Zeiss AG, ist die Carl-Zeiss-Stiftung, eine der größten deutschen Stiftungen zur Förderung der Wissenschaft.

Semiconductor Manufacturing Technology

Die Sparte Semiconductor Manufacturing Technology deckt mit ihrem Produktportfolio und weltweit führendem Know-how verschiedene Schlüsselprozesse bei der Herstellung von Mikrochips ab. Zu den Produkten des Bereichs zählen Halbleiterfertigungs-Optiken – darunter Lithographie-Optiken –, Photomaskensysteme sowie Prozesskontroll-Lösungen für die Halbleiterindustrie. Dank der Technologien werden Mikrochips zunehmend kleiner, leistungsfähiger, energieeffizienter und preiswerter. Die damit ausgestatteten elektronischen Anwendungen ermöglichen globalen Fortschritt in verschiedenen Disziplinen, darunter Technologie, Elektronik, Kommunikation, Unterhaltung, Mobilität und Energie. Hauptsitz von Semiconductor Manufacturing Technology ist Oberkochen. Weitere Standorte der Sparte sind Jena, Roßdorf und Wetzlar in Deutschland sowie Bar Lev (Israel), Dublin und Peabody (USA).

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